[發明專利]干燥裝置及干燥方法

在審

• 申請號: 202111093055.8
• 申請日: 2021-09-17
• 公開（公告）號: CN114251935A
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: 魯承旭
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: F26B13/10
• 分類號: F26B13/10;F26B23/06;F26B25/22;B41F23/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 崔今花;周艷玲

1.一種干燥裝置，包括：

載物臺，用于支撐基板，并且包括對所述基板進行加熱的多個加熱塊；以及

干燥上板，設置在所述載物臺的上部，并且包括在多個位置檢測從所述基板產生的溶劑蒸氣的濃度的多個溶劑傳感器。

2.根據權利要求1所述的干燥裝置，其中，

所述多個位置包括第一位置及第二位置，

所述多個溶劑傳感器包括：第一溶劑傳感器，用于在所述第一位置檢測所述溶劑蒸氣的第一濃度；以及第二溶劑傳感器，用于在所述第二位置檢測所述溶劑蒸氣的第二濃度，

所述多個加熱塊包括與所述第一位置對應的第一加熱塊及與所述第二位置對應的第二加熱塊，

在所述第一濃度高于所述第二濃度的情況下，所述第一加熱塊的加熱溫度被設定為高于所述第二加熱塊的加熱溫度。

3.根據權利要求2所述的干燥裝置，其中，

在所述第一濃度低于所述第二濃度的情況下，所述第一加熱塊的加熱溫度被設定為低于所述第二加熱塊的加熱溫度。

4.根據權利要求1所述的干燥裝置，其中，

所述多個溶劑傳感器在所述干燥上板上沿對角線設置，或者在所述干燥上板上以X字形設置，或者在所述干燥上板上以十字形設置。

5.根據權利要求1所述的干燥裝置，其中，

所述多個加熱塊在所述載物臺上以陣列形設置，或者在所述載物臺上以同心四邊形設置，或者在所述載物臺上以同心圓形設置。

6.根據權利要求1所述的干燥裝置，

進一步包括與真空泵連接以排出所述溶劑蒸氣的真空管路。

7.一種干燥裝置，包括：

用于對基板進行加熱的多個加熱塊；

多個溶劑傳感器，用于在多個位置檢測從所述基板產生的溶劑蒸氣的濃度；以及

干燥速度控制裝置，根據由所述多個溶劑傳感器測量出的所述濃度來控制所述多個加熱塊的加熱溫度，從而調節所述基板的干燥速度。

8.根據權利要求7所述的干燥裝置，其中，

所述多個位置包括第一位置及第二位置，

所述多個溶劑傳感器包括：第一溶劑傳感器，用于在所述第一位置檢測所述溶劑蒸氣的第一濃度；以及第二溶劑傳感器，用于在所述第二位置檢測所述溶劑蒸氣的第二濃度，

所述多個加熱塊包括與所述第一位置對應的第一加熱塊及與所述第二位置對應的第二加熱塊，

在所述第一濃度高于所述第二濃度的情況下，所述干燥速度控制裝置以所述第一加熱塊的加熱溫度高于所述第二加熱塊的加熱溫度的方式進行設定，

在所述第一濃度低于所述第二濃度的情況下，所述干燥速度控制裝置以所述第一加熱塊的加熱溫度低于所述第二加熱塊的加熱溫度的方式進行設定。

9.根據權利要求7所述的干燥裝置，其中，

所述干燥速度控制裝置包括第一接口及第二接口，所述第一接口用于接收由所述多個溶劑傳感器檢測的濃度數據，所述第二接口用于發送用于設定所述多個加熱塊的加熱溫度的指令，

所述干燥速度控制裝置包括處理器，所述處理器接收由所述多個溶劑傳感器檢測的濃度數據的輸入并計算所述多個加熱塊的加熱溫度。

10.根據權利要求7所述的干燥裝置，

進一步包括與真空泵連接以排出所述溶劑蒸氣的真空管路。

11.一種干燥方法，包括以下步驟：

向包括多個加熱塊的載物臺提供基板；

向所述載物臺的上部提供包括多個溶劑傳感器的干燥上板；

利用所述多個溶劑傳感器，在多個位置檢測從所述基板產生的溶劑蒸氣的濃度；以及

根據由所述多個溶劑傳感器測量出的所述濃度來控制所述多個加熱塊的加熱溫度，從而調節所述基板的干燥速度。