[發明專利]探針臺

在審

• 申請號: 202111092707.6
• 申請日: 2021-09-17
• 公開（公告）號: CN114252664A
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: 李赫柱
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/26;G01B11/00
• 代理公司: 上海和躍知識產權代理事務所(普通合伙) 31239
• 代理人: 侯聰

一種探針臺包括卡盤，其被構造成支撐基板；探針卡，其設置在所述卡盤的上方并且被構造成對形成在所述基板上的半導體器件進行電測試；相機單元，其設置在所述卡盤的上方并且被構造成對所述基板進行成像；以及相機驅動部件，其被構造成在水平方向上移動所述相機單元。所述相機驅動部件包括制動單元，其用于使用渦流制動力使所述相機單元停止在預定位置處。

技術領域

本發明涉及一種探針臺。更具體地，本發明涉及一種用于使用探針卡對形成在基板上的半導體器件進行電測試的探針臺。

背景技術

可以通過重復執行一系列制造工藝在基板，諸如硅晶片上形成半導體器件。例如，為了制造半導體器件，可以在晶片上執行各種制造工藝，諸如用于在晶片上形成薄層的沉積工藝，用于使薄層圖案化以形成電路的蝕刻工藝，用于使薄層平坦化的平坦化工藝等。

在形成半導體器件之后，可以執行用于檢查半導體器件的電特性的電測試工藝。測試工藝可以由探針臺執行，該探針臺包括具有多個探針的探針卡，以及向半導體器件提供電信號并且分析源于半導體器件的輸出信號以檢查半導體器件的電特性的測試頭可以與探針卡連接。

探針臺可以包括用于支撐基板的卡盤，并且探針卡可以設置在卡盤的上方。卡盤可以被構造成可在水平方向上移動以實現在基板和探針卡之間的對齊，并且可以被構造成可在豎直方向上移動以實現在基板和探針卡之間的電連接。

用于對探針卡的探針進行成像的下相機單元可以設置在卡盤的一側上，并且用于對基板進行成像的上相機單元可以設置在卡盤的上方。相機單元可以用于基板和探針卡之間的對齊。上相機單元可以由驅動單元水平移動，該驅動單元是以橋形構造的。例如，上相機單元可以移動到預定位置以對基板進行成像，并且卡盤可以由卡盤驅動單元移動，使得由上相機單元對基板的多個點進行成像。

驅動單元可以包括止動構件，使得上相機單元停止在預定位置處。然而，當上相機單元的移動被止動構件停止時，可能會發生由于碰撞而導致的震動和振動，并且由于去除振動需要相當長的時間，可能會大大延遲針對基板的測試工藝。此外，探針臺的內部結構可能會因碰撞和振動而發生微小的變形，并且因此可能降低在基板和探針卡之間的接觸精度。

發明內容

本發明的實施例提供了一種探針臺，其能夠減少當用于對基板進行成像的相機單元停止時生成的震動和振動。

根據本發明的一個方面，一種探針臺可以包括卡盤，其被構造成支撐基板；探針卡，其設置在卡盤的上方并且被構造成對形成在基板上的半導體器件進行電測試；相機單元，其設置在卡盤的上方并且被構造成對基板進行成像；以及相機驅動部件，其被構造成在水平方向上移動相機單元。特別地，相機驅動部件可以包括制動單元，其用于使用渦流制動力使相機單元停止在預定位置處。

根據本發明的一些實施例，相機驅動部件還可以包括用于在水平方向上移動相機單元的驅動單元；以及可移動構件，其被構造成可由驅動單元在水平方向上移動，并且相機單元安裝在可移動構件上。

根據本發明的一些實施例，探針臺還可以包括柱，驅動單元的兩個側部安裝在柱上。

根據本發明的一些實施例，制動單元可以包括制動板，其安裝在可移動構件上并且由導電材料制成；以及磁場生成單元，其安裝在柱中的一個上并且被構造成生成磁場。在這種情況下，制動板和磁場生成單元可以被布置成使得當可移動構件移動到靠近柱中的一個的位置時，由磁場生成渦流制動力。

根據本發明的一些實施例，磁場生成單元可以包括安裝在柱中的一個的側表面上的多個永磁體。