[發明專利]探針臺

在審

• 申請號: 202111092707.6
• 申請日: 2021-09-17
• 公開（公告）號: CN114252664A
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: 李赫柱
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/26;G01B11/00
• 代理公司: 上海和躍知識產權代理事務所(普通合伙) 31239
• 代理人: 侯聰

1.一種探針臺，其包括：

卡盤，所述卡盤被構造成支撐基板；

探針卡，所述探針卡設置在所述卡盤的上方并且被構造成對形成在所述基板上的半導體器件進行電測試；

相機單元，所述相機單元設置在所述卡盤的上方并且被構造成對所述基板進行成像；以及

相機驅動部件，所述相機驅動部件被構造成在水平方向上移動所述相機單元，

其中所述相機驅動部件包括制動單元，所述制動單元用于使用渦流制動力使所述相機單元停止在預定位置處。

2.根據權利要求1所述的探針臺，其中所述相機驅動部件還包括：

驅動單元，其用于在所述水平方向上移動所述相機單元；以及

可移動構件，其被構造成可由所述驅動單元在所述水平方向上移動，并且所述相機單元安裝在所述可移動構件上。

3.根據權利要求2所述的探針臺，其還包括：

柱，所述驅動單元的兩個側部安裝在所述柱上。

4.根據權利要求3所述的探針臺，其中所述制動單元包括：

制動板，其安裝在所述可移動構件上并且由導電材料制成；以及

磁場生成單元，其安裝在所述柱中的一個上并且被構造成生成磁場，

其中所述制動板和所述磁場生成單元被布置成使得當所述可移動構件移動到靠近所述柱中的一個的位置時，由所述磁場生成所述渦流制動力。

5.根據權利要求4所述的探針臺，其中所述磁場生成單元包括安裝在所述柱中的一個的側表面上的多個永磁體。

6.一種探針臺，其包括：

卡盤，所述卡盤被構造成支撐基板；

探針卡，所述探針卡設置在所述卡盤的上方并且被構造成對形成在所述基板上的半導體器件進行電測試；

頂板，所述探針卡安裝在所述頂板上；

多個支撐柱，所述支撐柱被構造成支撐所述頂板；

相機單元，所述相機單元設置在所述卡盤和所述頂板之間并且被構造成對所述基板進行成像；

相機驅動部件，所述相機驅動部件被構造成在水平方向上移動所述相機單元；以及

中間柱，所述中間柱設置在所述支撐柱之間，

其中所述相機驅動部件安裝在所述支撐柱中的一個和所述中間柱上并且包括制動單元，所述制動單元用于使用渦流制動力使所述相機單元停止在預定位置處。

7.根據權利要求6所述的探針臺，其中所述相機驅動部件還包括：

驅動單元，其用于在所述水平方向上移動所述相機單元；以及

可移動構件，其被構造成可由所述驅動單元在所述水平方向上移動，并且所述相機單元安裝在所述可移動構件上，

其中所述驅動單元的兩個側部分別安裝在所述支撐柱中的一個和所述中間柱上。

8.根據權利要求7所述的探針臺，其中所述制動單元包括：

制動板，其安裝在所述可移動構件上并且由導電材料制成；以及

磁場生成單元，其安裝在所述中間柱上并且被構造成生成磁場，

其中所述制動板和所述磁場生成單元被布置成使得當所述可移動構件移動到靠近所述中間柱的位置時，由所述磁場生成所述渦流制動力。

9.根據權利要求8所述的探針臺，其中所述磁場生成單元包括安裝在所述中間柱的側表面上的多個永磁體。

10.根據權利要求9所述的探針臺，其中所述永磁體被布置成使得極性在所述水平方向上交替。

11.根據權利要求8所述的探針臺，其中所述磁場生成單元包括：

安裝在所述中間柱的側表面上的多個第一永磁體；以及

設置成面對所述第一永磁體的多個第二永磁體，

其中所述制動板安裝在所述可移動構件上，以便能通過所述驅動單元在所述第一永磁體和所述第二永磁體之間移動。