[發明專利]用于半導體設備的安裝位檢測裝置

有效

• 申請號: 202111090774.4
• 申請日: 2021-09-17
• 公開（公告）號: CN113739762B
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發明（設計）人: 王迪杏;王寧;王金裕
• 申請（專利權）人: 無錫迪淵特科技有限公司
• 主分類號: G01C9/00
• 分類號: G01C9/00;G01C9/02;G01B5/24;G01R31/26;G01R1/04
• 代理公司: 無錫蘇元專利代理事務所(普通合伙) 32471
• 代理人: 王清偉

1.用于半導體設備的安裝位檢測裝置，包括有待檢測組件(1)，半導體設備上安裝有待檢測組件(1)，其特征是，所述待檢測組件(1)上固定安裝有雙軌底架(21)，所述雙軌底架(21)上滑動式連接有異型開槽支撐架(22)，所述異型開槽支撐架(22)能夠在所述雙軌底架(21)上直線運動，所述異型開槽支撐架(22)上設置有推動下壓組件(3)，所述推動下壓組件(3)能夠獲知晶片位置并控制設備的運動軌跡，所述異型開槽支撐架(22)上對稱設置有水平度檢測組件(4)，所述水平度檢測組件(4)能夠通過運動的方式對晶片的水平度進行檢測；

所述待檢測組件(1)包括有安裝滑軌架(11)、承載臺(12)、滑動套一(13)、邊緣環一(14)、棘條(15)、第一復位彈簧(16)、滑動套二(17)和邊緣環二(18)，半導體設備上固定安裝有安裝滑軌架(11)，所述安裝滑軌架(11)上固接有所述雙軌底架(21)，所述安裝滑軌架(11)上固定安裝有用以支撐晶片的承載臺(12)，所述安裝滑軌架(11)上對稱滑動式連接有滑動套一(13)，所述滑動套一(13)上豎直滑動式連接有邊緣環一(14)，所述邊緣環一(14)用以將晶片卡住，所述滑動套一(13)上對稱滑動式連接有棘條(15)，所述邊緣環一(14)與棘條(15)相互接觸，所述棘條(15)用以將所述邊緣環一(14)卡住，所述棘條(15)與滑動套一(13)之間連接有一對第一復位彈簧(16)，所述安裝滑軌架(11)上對稱滑動式連接有滑動套二(17)，所述滑動套二(17)上通過螺紋連接的方式連接有邊緣環二(18)，所述邊緣環二(18)用以將晶片卡住；

所述推動下壓組件(3)包括有氣缸(31)、異型滑軌架(32)、第二復位彈簧(33)、下壓楔形架(34)、第三復位彈簧(35)、開槽連接架(36)、矩形開孔架(37)、測量桿(38)和第一回位彈簧(39)，所述異型開槽支撐架(22)上設置有用以伸縮驅動的兩氣缸(31)，所述異型開槽支撐架(22)上以可升降的方式連接有異型滑軌架(32)，所述異型滑軌架(32)與異型開槽支撐架(22)之間連接有第二復位彈簧(33)，所述異型滑軌架(32)上滑動式連接有下壓楔形架(34)，所述異型滑軌架(32)用于對所述下壓楔形架(34)進行導向，所述氣缸(31)用可伸縮的方式驅動所述下壓楔形架(34)，所述下壓楔形架(34)與異型滑軌架(32)之間連接有第三復位彈簧(35)，所述下壓楔形架(34)底面固接有兩開槽連接架(36)，兩所述開槽連接架(36)上共同通過緊固件連接的方式連接有矩形開孔架(37)，所述矩形開孔架(37)上呈均勻排列的方式滑動連接有測量桿(38)，所述測量桿(38)通過運動的方式對晶片進行檢測，所述測量桿(38)上固定連接有第一回位彈簧(39)，所述第一回位彈簧(39)一端與矩形開孔架(37)聯接；

所述水平度檢測組件(4)包括有滑動開槽架(41)、第二回位彈簧(42)、L型開槽滑架(43)、楔形固定架(45)、楔形檢測板(46)、第一歸位彈簧(47)、雙頭開孔架(48)、轉軸(49)、第一小齒輪(410)、開孔齒條架(411)、第二歸位彈簧(412)、滑動桿(413)、第三歸位彈簧(414)、第一大齒輪(415)和固定齒條架(416)，所述異型開槽支撐架(22)上對稱滑動式連接有滑動開槽架(41)，所述滑動開槽架(41)與異型開槽支撐架(22)之間連接有第二回位彈簧(42)，所述滑動開槽架(41)上滑動式連接L型開槽滑架(43)，所述異型開槽支撐架(22)上對稱焊接有楔形固定架(45)，所述L型開槽滑架(43)上滑動式連接有楔形檢測板(46)，所述楔形檢測板(46)用以檢測所述邊緣環一(14)和所述邊緣環二(18)的安裝位是否水平，所述楔形檢測板(46)與L型開槽滑架(43)之間連接有第一歸位彈簧(47)，所述滑動開槽架(41)頂面固定連接有雙頭開孔架(48)，所述雙頭開孔架(48)上轉動式連接有轉軸(49)，所述轉軸(49)上固接有第一小齒輪(410)，所述雙頭開孔架(48)上滑動式連接有開孔齒條架(411)，所述第一小齒輪(410)與開孔齒條架(411)相互嚙合，所述開孔齒條架(411)與雙頭開孔架(48)之間連接有第二歸位彈簧(412)，所述開孔齒條架(411)上滑動式連接有滑動桿(413)，所述滑動桿(413)與楔形固定架(45)相互接觸，所述楔形固定架(45)用以推動所述滑動桿(413)相向運動，所述滑動桿(413)與開孔齒條架(411)之間連接有第三歸位彈簧(414)，所述轉軸(49)上固接有第一大齒輪(415)，所述固定齒條架(416)固接于L型開槽滑架(43)上，所述第一大齒輪(415)與固定齒條架(416)相互嚙合；

通過觀察楔形檢測板(46)是否被測量桿(38)擋住而判斷晶片的水平度，從而得知邊緣環一(14)及邊緣環二(18)的水平度。