[發明專利]近場探頭的校準方法、裝置、系統、設備及存儲介質

在審

• 申請號: 202111083991.0
• 申請日: 2021-09-14
• 公開（公告）號: CN113900058A
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 邵偉恒;黃權;方文嘯;王磊;黃云;路國光;易志強
• 申請（專利權）人: 中國電子產品可靠性與環境試驗研究所（（工業和信息化部電子第五研究所）（中國賽寶實驗室））
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00;G01R15/00;G01R31/28;G01R1/067
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 王天慶

本公開涉及一種近場探頭的校準方法、裝置、系統、設備及存儲介質，方法包括對所述近場探頭施加近場，獲取所述近場探頭在第一角度條件下的所述近場的第一特征參數，以及所述近場探頭的第一總輸出信號和第二總輸出信號；將所述第一總輸出信號和第二總輸出信號通過校準矩陣、所述第一特征參數進行表征，構建第一傳遞模型；獲取所述近場探頭在第二角度條件下的所述近場的第二特征參數，以及所述近場探頭的第三總輸出信號和第四總輸出信號；構建第二傳遞模型；根據所述第一傳遞模型和第二傳遞模型計算獲得所述校準矩陣的參數因子。本公開消除了第一傳輸鏈路和第二傳輸鏈路不對稱產生的影響，提高了近場探頭掃描的準確度。

技術領域

本公開涉及近場探頭校準技術領域，特別是涉及一種近場探頭的校準方法、裝置、系統、設備及存儲介質。

背景技術

隨著科技水平的高速發展，集成電路正在朝著更加小型化、高頻化和高密度化的方向發展。集成電路在給人們的生活帶來便利的同時，也提高了對其電磁可靠性的要求。針對上述問題，國際標準IEC61967中規定的近場掃描法是檢測電磁可靠性十分有效的診斷方法。近場探頭是近場掃描中最重要的組成部分之一，多端口電場或磁場近場探頭是近場探頭中十分具有優勢的探頭類型，但是多端口電場或磁場近場探頭在應用過程中往往面臨非對稱性的問題，使得多端口電場或磁場探頭的工作頻率應用范圍以及測量準確度大打折扣。

發明內容

基于此，針對上述技術問題，本公開提供了一種近場探頭的校準方法、裝置、系統、設備及存儲介質。其中，一種近場探頭的校準方法，所述近場探頭包括第一接頭和第二接頭，所述第一接頭用于與矢量分析儀的第一端口連接，所述第二接頭用于與矢量分析儀的第二端口連接，所述近場探頭的探測部與所述第一接頭、第一端口形成第一傳輸鏈路，所述近場探頭的探測部與所述第二接頭、第二端口形成第二傳輸鏈路，所述方法包括步驟：

對所述近場探頭施加近場，獲取所述近場探頭在第一角度條件下的所述近場的第一特征參數，以及所述近場探頭的第一總輸出信號和第二總輸出信號；所述第一總輸出信號為所述第一端口的輸入信號，所述第二總輸出信號為所述第二端口的輸入信號；

將所述第一總輸出信號和第二總輸出信號通過校準矩陣、所述第一特征參數進行表征，構建第一傳遞模型；

獲取所述近場探頭在第二角度條件下的所述近場的第二特征參數，以及所述近場探頭的第三總輸出信號和第四總輸出信號；所述第三總輸出信號為所述第一端口的輸入信號，所述第四總輸出信號為所述第二端口的輸入信號；所述第二角度不等于所述第一角度；

將所述第三總輸出信號和第四總輸出信號通過所述校準矩陣、所述第二特征參數進行表征，構建第二傳遞模型；

根據所述第一傳遞模型和第二傳遞模型計算獲得所述校準矩陣的參數因子，根據所述校準矩陣的參數因子對所述近場探頭進行校準。

在其中一個實施例中，所述方法還包括，根據所述第一傳輸鏈路和第二傳輸鏈路的散射參數，表征所述校準矩陣；所述校準矩陣包括所述參數因子，所述參數因子包括第一電場因子K_e1、第二電場因子K_e2、第一磁場因子K_h1、第二磁場因子K_h2，所述校準矩陣為

在其中一個實施例中，所述將所述第一總輸出信號和第二總輸出信號通過校準矩陣、所述第一特征參數進行表征，構建第一傳遞模型包括：

設定所述第一總輸出信號為b₃，設定所述第二總輸出信號b₂，所述第一特征參數包括電場和磁場所述第一傳遞模型表示為

在其中一個實施例中，所述將所述第三總輸出信號和第四總輸出信號通過所述校準矩陣、所述第二特征參數進行表征，構建第二傳遞模型包括：

設定所述第三總輸出信號為b′₃，設定所述第四總輸出信號b′₂，所述第二特征參數包括電場和磁場所述第二傳遞模型表示為