[發明專利]制造光纖用玻璃母材的制造方法、及制造光纖用玻璃母材的裝置

在審

• 申請號: 202111081206.8
• 申請日: 2021-09-15
• 公開（公告）號: CN114368900A
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 柏木佑介
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014;C03B37/018
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀鋒

本發明提供一種制造光纖用玻璃母材的制造方法，具備：第1工序，一邊使收容有光纖用多孔質母材的石英爐芯管內流通至少包含鹵素或氬的氣體，一邊對光纖用多孔質母材進行脫水；第2工序，在第1工序之后，使石英爐芯管內流通主成分為氦的氣體而將石英爐芯管內至少局部地換氣；以及第3工序，在第2工序之后，一邊使石英爐芯管內流通主成分為氦的氣體，一邊使光纖用多孔質母材透明玻璃化。

技術領域

本發明涉及一種制造光纖用玻璃母材的制造方法、及制造光纖用玻璃母材的裝置。

背景技術

專利文獻1中記載有，“光纖母材的制造方法具有：脫水工序，……對爐芯管11、11A內供給含有惰性氣體的脫水劑而對多孔質玻璃母材1、1A(多孔質灰粒體)進行脫水處理；及燒結工序，將經脫水處理后的多孔質玻璃母材1、1A燒結”(段落0022)，“作為與脫水劑混合的惰性氣體，使用氬氣，在脫水工序中使多孔質玻璃母材1、1A升溫之前，使具有比氬氣高的熱導率的氣體(以下，將其簡稱為“高熱導率氣體”)殘留在多孔質玻璃母材1、1A內”(段落0024)。

[先行技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第5298186號公報

附圖說明

圖1是表示本發明的第1實施方式中所使用的燒結裝置的概略情況的圖。

圖2是表示本發明的第2實施方式中所使用的燒結裝置的概略情況的圖。

具體實施方式

以下，通過發明的實施方式對本發明進行說明，以下的實施方式并不限定權利要求書所述的發明。另外，實施方式中所說明的特征的組合未必全部為發明的解決手段所必需的。

圖1是表示本發明中的第1實施方式中所使用的燒結裝置的概略情況的圖，(A)表示第1工序的一例的情況，一邊從上部向下方移動一邊進行脫水。(B)表示接在(A)工序之后的第2工序的一例的情況，進行內部氣體的換氣。此外，與開始第2工序同時地使光纖用多孔質母材(以下，有時簡稱為多孔質母材)02上升到在開始第3工序時需要的位置。(C)表示接在(B)工序之后的第3工序的一例的情況，一邊使多孔質母材02向下方移動一邊進行透明玻璃化。

第1實施方式的燒結裝置是制造光纖母材的裝置，具備石英爐芯管04及加熱裝置10。石英爐芯管04具有能夠收容多孔質母材02的容積V1。加熱裝置10配置在石英爐芯管04周圍。

燒結裝置也可以還具備移動機構，該移動機構使從石英爐芯管04的一端的開口部插入的多孔質母材02沿著石英爐芯管04的長度方向移動。多孔質母材02利用連接于移動機構的軸03，從石英爐芯管04上部的開口部沿著石英爐芯管04的長度方向插入。

燒結裝置通過執行第1工序，一邊使收容有多孔質母材02的石英爐芯管04內流通至少包含鹵素或氬的氣體，一邊利用加熱裝置10對多孔質母材02進行脫水。第1工序也可以一邊在石英爐芯管04內使多孔質母材02沿著多孔質母材02的延伸方向移動，一邊對多孔質母材02進行脫水。第1工序還可以通過使石英爐芯管04的內部升溫為1000℃～1300℃，對多孔質母材02進行脫水。

作為具體的一例，第1工序是在將多孔質母材02插入到石英爐芯管04內之后，關閉石英爐芯管04的上部的開口部之后開始。燒結裝置與開始第1工序同時地，將純鹵素氣體、或稀有氣體與鹵素氣體混合而成的混合氣體從氣體導入端口01向石英爐芯管04內流入。燒結裝置還為了將石英爐芯管04內的壓力保持為固定，而從氣體排出端口05排出固定量的氣體。燒結裝置從第1工序到第3工序，為了將石英爐芯管04內的壓力保持為固定，而從氣體排出端口05持續排出固定量的氣體。

燒結裝置還與開始第1工序同時地，利用加熱裝置10開始升溫，進行石英爐芯管04的加熱。此時，石英爐芯管04內部的溫度設為1100℃～1300℃在對多孔質母材02進行脫水的方面較為優選。在第1工序中，利用所述移動機構，使多孔質母材02從石英爐芯管04的上部向下方移動。