[發(fā)明專利]制造光纖用玻璃母材的制造方法、及制造光纖用玻璃母材的裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111081206.8
• 申請日: 2021-09-15
• 公開（公告）號: CN114368900A
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 柏木佑介
• 申請（專利權(quán)）人: 信越化學(xué)工業(yè)株式會社
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014;C03B37/018
• 代理公司: 深圳新創(chuàng)友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀鋒

1.一種制造光纖用玻璃母材的制造方法，具備：

第1工序，一邊使收容有光纖用多孔質(zhì)母材的石英爐芯管內(nèi)流通至少包含鹵素或氬的氣體，一邊對所述光纖用多孔質(zhì)母材進(jìn)行脫水；

第2工序，在所述第1工序之后，使所述石英爐芯管內(nèi)流通主成分為氦的氣體而將所述石英爐芯管內(nèi)至少局部地?fù)Q氣；以及

第3工序，在所述第2工序之后，一邊使所述石英爐芯管內(nèi)流通主成分為氦的氣體，一邊使所述光纖用多孔質(zhì)母材透明玻璃化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其中

在所述第2工序中，流通到所述石英爐芯管內(nèi)的主成分為氦的氣體的累計流量V2相對于所述石英爐芯管的容積V1滿足下述[數(shù)1]式，

[數(shù)1]

V2≧0.5×V1。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其中

所述第2工序中的所述氣體為純氦氣。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的制造方法，其中

所述第1工序中的所述至少包含鹵素或氬的氣體是主成分為鹵素的氣體或稀有氣體與鹵素氣體的混合氣體。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制造方法，其中

所述主成分為鹵素的氣體是包含氯及氟的至少一者作為主成分的氣體，所述稀有氣體與鹵素氣體的混合氣體是包含氯氣及氟氣的至少一者與氦氣及氬氣的至少一者的混合氣體。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的制造方法，其中

在所述第1工序中，流通到所述石英爐芯管內(nèi)的氣體的所有流量中稀有氣體的流量U1及鹵素的流量U2滿足下述[數(shù)2]式，

[數(shù)2]

0.2≦U2/(U1+U2)≦1.0。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的制造方法，其中

所述第1工序一邊在所述石英爐芯管內(nèi)使所述光纖用多孔質(zhì)母材沿著所述光纖用多孔質(zhì)母材的延伸方向移動，一邊對所述光纖用多孔質(zhì)母材進(jìn)行脫水。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的制造方法，其中

所述第3工序通過一邊在所述石英爐芯管內(nèi)使所述光纖用多孔質(zhì)母材沿著所述光纖用多孔質(zhì)母材的延伸方向朝向下方移動一邊進(jìn)行加熱，使所述光纖用多孔質(zhì)母材從下方的末端依次透明玻璃化。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造方法，其中

所述第3工序是在所述石英爐芯管內(nèi)部的溫度達(dá)到1400～1650℃之后，使所述光纖用多孔質(zhì)母材沿著所述延伸方向開始朝向下方移動。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的制造方法，其中

所述第1工序一邊在所述石英爐芯管內(nèi)使所述光纖用多孔質(zhì)母材沿著所述延伸方向朝向下方移動，一邊對所述光纖用多孔質(zhì)母材進(jìn)行脫水，

所述第2工序一邊使在所述第1工序中移動到下方的所述光纖用多孔質(zhì)母材上升一邊將所述石英爐芯管內(nèi)至少局部地?fù)Q氣，以能夠通過在后續(xù)的所述第3工序中使所述光纖用多孔質(zhì)母材沿著所述延伸方向開始朝向下方移動來將所述光纖用多孔質(zhì)母材從下方的末端依次透明玻璃化。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項所述的制造方法，其中

所述第1工序通過將所述光纖用多孔質(zhì)母材整體加熱，來對所述光纖用多孔質(zhì)母材進(jìn)行脫水。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的制造方法，其中

所述第1工序使用以沿著所述光纖用多孔質(zhì)母材的延伸方向的方式排列配置在所述石英爐芯管周圍的多個加熱裝置，將所述光纖用多孔質(zhì)母材整體加熱。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制造方法，其中

所述第3工序通過使用所述多個加熱裝置的一部分來使在所述第1工序中已升溫的所述石英爐芯管內(nèi)部的溫度進(jìn)一步升溫，來使所述光纖用多孔質(zhì)母材透明玻璃化。