[發明專利]一種光有源器件半導體襯底的數控拋光裝置及工藝

在審

• 申請號: 202111059983.2
• 申請日: 2021-09-10
• 公開（公告）號: CN113787451A
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發明（設計）人: 肖志宏
• 申請（專利權）人: 日禺光學科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/20;B24B37/34;B24B37/005;B24B49/00;B24B57/02;B24B41/02;B08B11/00;B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 上海領匠知識產權代理有限公司 31404
• 代理人: 李華

本發明公開了一種光有源器件半導體襯底的數控拋光裝置及工藝，涉及拋光裝置領域，包括工作臺，所述工作臺頂部兩側皆設置有安裝板，且工作臺內部底部安裝有真空泵，一塊所述安裝板內側壁一端滑動連接有第一滑塊，且另一塊安裝板內側壁遠離第一滑塊的一端滑動連接有第二滑塊，所述第一滑塊一端兩側皆安裝有第二氣缸。本發明通過在第四氣缸上安裝一組控制接料盤的第五氣缸，且在水箱上安裝水泵與熱風機，在襯底一面拋光完成后，接料盤擋在拋光墊與拋光臺之間，防止拋光墊上的拋光液滴落在襯底上，水泵與熱風機再將襯底拋光完成的一面清洗干燥，防止在拋光襯底另一面時襯底上的殘留物使襯底不平整降低拋光效果。

技術領域

本發明涉及拋光裝置領域，具體為一種光有源器件半導體襯底的數控拋光裝置及工藝。

背景技術

光有源器件是光通信系統中將電信號轉換成光信號或將光信號轉換成電信號的關鍵器件，是光傳輸系統的心臟。將電信號轉換成光信號的器件稱為光源，主要有半導體發光二極管(LED)和激光二極管(LD)，將光信號轉換成電信號的器件稱為光檢測器，主要有光電二極管(PIN)和雪崩光電二極管(APD)，光纖放大器成為光有源器件的新秀，當前大量應用的是摻鉺光纖放大器(EDFA)，很有應用前景的是拉曼光放大器。

現有的數控拋光裝置一般使用吸盤對襯底物料進行拿取，拋光時一般為通過氣缸推動帶有拋光墊的電機對其進行拋光。

通過吸盤對物料進行拿取時，襯底之間可能因靜電摩擦等原因導致兩片或三片吸附在一起，在拋光時會影響拋光過程，且在更換拋光面時，地面殘留的雜質可能導致襯底不夠平整，影響拋光效果。

發明內容

基于此，本發明的目的是提供一種光有源器件半導體襯底的數控拋光裝置及工藝，以解決現有的數控拋光裝置通過吸盤對物料進行拿取時，襯底之間可能因靜電摩擦等原因導致兩片或三片吸附在一起，在拋光時會影響拋光過程，且在更換拋光面時，地面殘留的雜質可能導致襯底不夠平整，影響拋光效果的技術問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種光有源器件半導體襯底的數控拋光裝置，包括工作臺，所述工作臺頂部兩側皆設置有安裝板，且工作臺內部底部安裝有真空泵，一塊所述安裝板內側壁一端滑動連接有第一滑塊，且另一塊安裝板內側壁遠離第一滑塊的一端滑動連接有第二滑塊，所述第一滑塊一端兩側皆安裝有第二氣缸，且第二氣缸輸出端連接有第一連接塊，所述第一連接塊底部兩側皆安裝有拉力感應器，且拉力感應器另一端連接有取料吸盤，所述第二滑塊一端兩側皆安裝有第三氣缸，且第三氣缸輸出端連接有第二連接塊，所述第二連接塊上轉動連接有翻轉吸盤，且第二連接塊一側安裝有輸出端與翻轉吸盤連接的第二電機，所述真空泵頂部靠近第一滑塊的一端連接有一組延伸至工作臺頂部的第一分料臺和第二分料臺，且真空泵頂部靠近第二滑塊的一端連接有延伸至工作臺頂部的第二拋光臺，所述真空泵頂部位于第二分料臺與第二拋光臺之間連接有延伸至工作臺頂部的第一拋光臺，且真空泵頂部位于第二拋光臺與第一拋光臺之間連接有延伸至工作臺頂部與翻轉吸盤配合的中轉臺，所述安裝板頂部位于第一拋光臺與第二拋光臺上方皆安裝有第四氣缸，且第四氣缸輸出端安裝有第三電機，所述第三電機輸出端連接有板網，且板網底面設置有拋光墊，所述第四氣缸兩側皆安裝有第五氣缸，且第五氣缸輸出端皆連接有位于拋光墊下方的接料盤。

通過采用上述技術方案，真空泵可用于抽真空吸附襯底，取料吸盤可吸取襯底，取料吸盤與拉力感應器和第分料臺皆第二分料臺可將重疊的襯底分開，第三電機可帶動拋光墊給襯底拋光，接料盤可防止拋光液滴落在第一拋光臺和第二拋光臺上。

本發明進一步設置為，所述第四氣缸輸出端邊緣連接有連接柱，且連接柱底部連接有套設在第三電機輸出端外位于板網頂部的拋光液框，所述安裝板頂部設置有拋光液箱，且拋光液箱兩側底部皆安裝有液泵，所述液泵輸出端分別于與兩個第四氣缸輸出端的一根連接柱連接，且液泵輸出端開口朝向拋光液框頂部。

通過采用上述技術方案，拋光液框可使拋光液均勻沁入拋光墊，拋光液箱可用于存放拋光液，液泵可將拋光液抽取到拋光液框內。