[發(fā)明專利]一種光有源器件半導(dǎo)體襯底的數(shù)控拋光裝置及工藝

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111059983.2
• 申請(qǐng)日: 2021-09-10
• 公開（公告）號(hào): CN113787451A
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖志宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日禺光學(xué)科技（蘇州）有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/10
• 分類號(hào): B24B37/10;B24B37/20;B24B37/34;B24B37/005;B24B49/00;B24B57/02;B24B41/02;B08B11/00;B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 上海領(lǐng)匠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31404
• 代理人: 李華

1.一種光有源器件半導(dǎo)體襯底的數(shù)控拋光裝置，包括工作臺(tái)(1)，其特征在于：所述工作臺(tái)(1)頂部?jī)蓚?cè)皆設(shè)置有安裝板(2)，且工作臺(tái)(1)內(nèi)部底部安裝有真空泵(5)，一塊所述安裝板(2)內(nèi)側(cè)壁一端滑動(dòng)連接有第一滑塊(7)，且另一塊安裝板(2)內(nèi)側(cè)壁遠(yuǎn)離第一滑塊(7)的一端滑動(dòng)連接有第二滑塊(21)，所述第一滑塊(7)一端兩側(cè)皆安裝有第二氣缸(11)，且第二氣缸(11)輸出端連接有第一連接塊(12)，所述第一連接塊(12)底部?jī)蓚?cè)皆安裝有拉力感應(yīng)器(13)，且拉力感應(yīng)器(13)另一端連接有取料吸盤(14)，所述第二滑塊(21)一端兩側(cè)皆安裝有第三氣缸(23)，且第三氣缸(23)輸出端連接有第二連接塊(24)，所述第二連接塊(24)上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有翻轉(zhuǎn)吸盤(26)，且第二連接塊(24)一側(cè)安裝有輸出端與翻轉(zhuǎn)吸盤(26)連接的第二電機(jī)(25)，所述真空泵(5)頂部靠近第一滑塊(7)的一端連接有一組延伸至工作臺(tái)(1)頂部的第一分料臺(tái)(15)和第二分料臺(tái)(16)，且真空泵(5)頂部靠近第二滑塊(21)的一端連接有延伸至工作臺(tái)(1)頂部的第二拋光臺(tái)(19)，所述真空泵(5)頂部位于第二分料臺(tái)(16)與第二拋光臺(tái)(19)之間連接有延伸至工作臺(tái)(1)頂部的第一拋光臺(tái)(17)，且真空泵(5)頂部位于第二拋光臺(tái)(19)與第一拋光臺(tái)(17)之間連接有延伸至工作臺(tái)(1)頂部與翻轉(zhuǎn)吸盤(26)配合的中轉(zhuǎn)臺(tái)(18)，所述安裝板(2)頂部位于第一拋光臺(tái)(17)與第二拋光臺(tái)(19)上方皆安裝有第四氣缸(27)，且第四氣缸(27)輸出端安裝有第三電機(jī)(28)，所述第三電機(jī)(28)輸出端連接有板網(wǎng)(31)，且板網(wǎng)(31)底面設(shè)置有拋光墊(32)，所述第四氣缸(27)兩側(cè)皆安裝有第五氣缸(33)，且第五氣缸(33)輸出端皆連接有位于拋光墊(32)下方的接料盤(34)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光有源器件半導(dǎo)體襯底的數(shù)控拋光裝置，其特征在于：所述第四氣缸(27)輸出端邊緣連接有連接柱(29)，且連接柱(29)底部連接有套設(shè)在第三電機(jī)(28)輸出端外位于板網(wǎng)(31)頂部的拋光液框(30)，所述安裝板(2)頂部設(shè)置有拋光液箱(36)，且拋光液箱(36)兩側(cè)底部皆安裝有液泵(37)，所述液泵(37)輸出端分別于與兩個(gè)第四氣缸(27)輸出端的一根連接柱(29)連接，且液泵(37)輸出端開口朝向拋光液框(30)頂部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光有源器件半導(dǎo)體襯底的數(shù)控拋光裝置，其特征在于：所述安裝板(2)內(nèi)側(cè)壁分別設(shè)置有與第一滑塊(7)和第二滑塊(21)配合的第一限位滑軌(6)和第二限位滑軌(20)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光有源器件半導(dǎo)體襯底的數(shù)控拋光裝置，其特征在于：所述取料吸盤(14)頂部中間連接有穿過安裝板(2)和工作臺(tái)(1)與真空泵(5)連接的第一軟管(10)，且翻轉(zhuǎn)吸盤(26)中間連接有穿過安裝板(2)和工作臺(tái)(1)與真空泵(5)連接的第二軟管(22)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光有源器件半導(dǎo)體襯底的數(shù)控拋光裝置，其特征在于：所述真空泵(5)頂部位于第一拋光臺(tái)(17)與第二拋光臺(tái)(19)兩側(cè)皆安裝有第六氣缸(39)，且每組第六氣缸(39)輸出端皆連接有一個(gè)分別與第一拋光臺(tái)(17)和第二拋光臺(tái)(19)滑動(dòng)連接的水箱(40)，所述水箱(40)內(nèi)部設(shè)置有將水箱(40)分割成凈水箱與污水箱的隔板(41)，所述水箱(40)頂部安裝有輸出端延伸進(jìn)凈水箱的水泵(42)，且水箱(40)頂部另一側(cè)安裝有熱風(fēng)機(jī)(44)，所述水泵(42)與熱風(fēng)機(jī)(44)輸出端皆連接有彎管(43)，所述工作臺(tái)(1)頂部分別設(shè)置有包裹第一拋光臺(tái)(17)和第二拋光臺(tái)(19)的第三軟管(45)，且第三軟管(45)底部與污水箱連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光有源器件半導(dǎo)體襯底的數(shù)控拋光裝置，其特征在于：所述工作臺(tái)(1)靠近第一滑塊(7)的一端安裝有第一氣缸(3)，且第一氣缸(3)輸出端連接有載料板(4)。