[發明專利]一種控制硅烷上線的方法制備方法

在審

• 申請號: 202111056684.3
• 申請日: 2021-09-09
• 公開（公告）號: CN113685724A
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發明（設計）人: 郭海濤
• 申請（專利權）人: 天合光能（宿遷）光電有限公司
• 主分類號: F17C7/00
• 分類號: F17C7/00;F17C13/04
• 代理公司: 深圳市蘭鋒盛世知識產權代理有限公司 44504
• 代理人: 羅炳鋒

本發明公開了一種控制硅烷上線的方法，涉及特殊氣體技術領域，包括三通閥、ISO管束氣動閥、蓮花盤氣源以及手動氣源控制所述三通閥用于對硅烷氣體在ISO管束氣動閥和蓮花盤氣源進行通氣，所述ISO管束氣動閥用于對硅烷車輛中的硅烷進行輸出，所述蓮花盤氣源用于對管路中的壓力進行控制。本發明手動控制壓力提升，對系統的安全有好的控制作用，使用三通閥及軟管，將蓮花盤接口接至三通一側，將ISO車氣動閥管路接到三通一側，系統通氣，由于壓力較高(120kg)手動控制將ISO車管束內閥門緩慢打開，實時檢測管道內壓力，逐步提升，解決了系統沖壓的危險，保護各閥門的狀態，使閥門得到了緩沖；更好的控制整個系統的穩定。

技術領域

本發明涉及特殊氣體技術領域，具體為一種控制硅烷上線的方法制備方法。

背景技術

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業，用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層，并且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的高科技應用還在不斷出現,包括用于制造先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術、新材料、新器件的基礎；硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱；硅烷有非常寬的自發著火范圍和極強的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。

針對現有技術存在以下問題：

1、硅烷ISO車輛滿車，系統默認每次硅烷上線瞬間打開，存在嚴重的安全風險；

2、硅烷ISO車輛滿車，針對硅烷上線系統的安全系數低，不能及時規避現場安全及財產損失。

發明內容

本發明的目的是提供一種控制硅烷上線的方法制備方法，具備手動控制壓力提升，對系統的安全有好的控制作用的優點，解決了上述背景技術中提到安全風險的問題。

本發明為解決上述技術問題，提供如下技術方案：一種控制硅烷上線的方法，包括三通閥、ISO管束氣動閥、蓮花盤氣源以及手動氣源控制。

所述三通閥用于對硅烷氣體在ISO管束氣動閥和蓮花盤氣源進行通氣。

所述ISO管束氣動閥用于對硅烷車輛中的硅烷進行輸出。

所述蓮花盤氣源用于對管路中的壓力進行控制。

所述手動氣源控制用于對壓力的提升起到安全控制的作用。

進一步的，所述蓮花盤氣源、接ISO管束氣動閥配合軟管分別與三通閥的接口連接，且管路串通，所述三通閥的剩余一個接口連接在常開管道上。

進一步的，所述軟管包括ISO管束氣動閥管和蓮花盤氣源管。

進一步的，該控制硅烷上線的方法包括自動控制和手動控制，其自動控制包括以下步驟：

A1、打開硅烷上線的氣動閥安全鎖；

A2、將硅烷氣體管插進啟動閥內，形成壓力；

A3、系統控制開關；

其手動控制包括以下步驟：

B1、首先將所有管道連接，

B2、手動控制常開管道進行緩慢打開ISO管束氣動閥。

進一步的，所述將硅烷氣體管插進啟動閥內，形成壓力的方法為：在ISO管束氣動閥處于打開時常開管道被封堵，此時蓮花盤氣源、接ISO管束氣動閥串通，且形成壓力進行打開閥門。

進一步的，所述手動控制過程中的B步驟在打開ISO管束氣動閥時，使硅烷氣體緩慢通過，減小硅烷氣體的供給量。