[發明專利]一種控制硅烷上線的方法制備方法在審
| 申請號： | 202111056684.3 | 申請日： | 2021-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN113685724A | 公開（公告）日： | 2021-11-23 |
| 發明（設計）人： | 郭海濤 | 申請（專利權）人： | 天合光能（宿遷）光電有限公司 |
| 主分類號： | F17C7/00 | 分類號： | F17C7/00;F17C13/04 |
| 代理公司： | 深圳市蘭鋒盛世知識產權代理有限公司 44504 | 代理人： | 羅炳鋒 |
| 地址： | 223800 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 控制 硅烷 上線 方法 制備 | ||
1.一種控制硅烷上線的方法，其特征在于：包括三通閥(3)、ISO管束氣動閥(2)、蓮花盤氣源(1)以及手動氣源控制；
所述三通閥(3)用于對硅烷氣體在ISO管束氣動閥(5)和蓮花盤氣源(6)進行通氣；
所述ISO管束氣動閥(2)用于對硅烷車輛中的硅烷進行輸出；
所述蓮花盤氣源(1)用于對管路中的壓力進行控制；
所述手動氣源控制用于對壓力的提升起到安全控制的作用。
2.根據權利要求1所述的一種控制硅烷上線的方法，其特征在于：所述蓮花盤氣源(1)、接ISO管束氣動閥(2)配合軟管分別與三通閥(3)的接口連接，且管路串通，所述三通閥(3)的剩余一個接口連接在常開管道(4)上。
3.根據權利要求2所述的一種控制硅烷上線的方法，其特征在于：所述軟管包括ISO管束氣動閥管(5)和蓮花盤氣源管(6)。
4.根據權利要求3所述的一種控制硅烷上線的方法，其特征在于：該控制硅烷上線的方法包括自動控制和手動控制，其自動控制包括以下步驟：
A1、打開硅烷上線的氣動閥安全鎖；
A2、將硅烷氣體管插進啟動閥內，形成壓力；
A3、系統控制開關；
其手動控制包括以下步驟：
B1、首先將所有管道連接，
B2、手動控制常開管道(4)進行緩慢打開ISO管束氣動閥(2)。
5.根據權利要求4所述的一種控制硅烷上線的方法，其特征在于：所述將硅烷氣體管插進啟動閥內，形成壓力的方法為：在ISO管束氣動閥(2)處于打開時常開管道(4)被封堵，此時蓮花盤氣源(1)、接ISO管束氣動閥(2)串通，且形成壓力進行打開閥門。
6.根據權利要求4所述的一種控制硅烷上線的方法，其特征在于：所述手動控制過程中的B2步驟在打開ISO管束氣動閥(2)時，使硅烷氣體緩慢通過，減小硅烷氣體的供給量。
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