[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體產(chǎn)品加工機(jī)及加工方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111056163.8
• 申請(qǐng)日: 2021-09-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113687764A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 婁鋒
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥鈦柯精密機(jī)械有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G06F3/0488
• 分類(lèi)號(hào): G06F3/0488;G06F9/451;G06T7/00;G06T7/73
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 王燕

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品加工機(jī)及加工方法，其中，加工機(jī)包括：圖像識(shí)別裝置，用于采集加工工件的當(dāng)前圖像；對(duì)射式傳感器，用于檢測(cè)刀具尖端所處位置的實(shí)際坐標(biāo)；全自動(dòng)調(diào)教機(jī)臺(tái)，用于基于預(yù)設(shè)的零位坐標(biāo)生成目標(biāo)加工動(dòng)作，抬高主軸位置，控制加工工件執(zhí)行目標(biāo)加工動(dòng)作，并且在完成半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工后，基于當(dāng)前圖像和/或?qū)嶋H坐標(biāo)將加工工件的位置重新調(diào)教到零位坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的位置。由此，解決了相關(guān)技術(shù)中通過(guò)手動(dòng)加工半導(dǎo)體產(chǎn)品及調(diào)節(jié)主軸偏差，導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品精度、良品率及生產(chǎn)效率較低等問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品加工機(jī)及加工方法。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的日益發(fā)展，行業(yè)內(nèi)對(duì)半導(dǎo)體材料加工過(guò)程的生產(chǎn)效率及加精度的要求越來(lái)越高。然而，相關(guān)技術(shù)中通常是手動(dòng)控制伺服驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)馬達(dá)進(jìn)行半導(dǎo)體產(chǎn)品加工及主軸偏差調(diào)節(jié)，導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品加工的精度及良品率低，大大降低生產(chǎn)效率。

申請(qǐng)內(nèi)容

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N半導(dǎo)體產(chǎn)品加工機(jī)及加工方法，以解決相關(guān)技術(shù)中通過(guò)手動(dòng)加工半導(dǎo)體產(chǎn)品及調(diào)節(jié)主軸偏差，導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品精度、良品率及生產(chǎn)效率較低等問(wèn)題。

本申請(qǐng)第一方面實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體產(chǎn)品加工機(jī)，包括：圖像識(shí)別裝置，用于采集加工工件的當(dāng)前圖像；對(duì)射式傳感器，用于檢測(cè)刀具尖端所處位置的實(shí)際坐標(biāo)；全自動(dòng)調(diào)教機(jī)臺(tái)，用于基于預(yù)設(shè)的零位坐標(biāo)生成目標(biāo)加工動(dòng)作，抬高主軸位置，控制所述加工工件執(zhí)行所述目標(biāo)加工動(dòng)作，并且在完成半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工后，基于所述當(dāng)前圖像和/或所述實(shí)際坐標(biāo)將所述加工工件的位置重新調(diào)教到所述零位坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的位置。

進(jìn)一步地，所述全自動(dòng)調(diào)教機(jī)臺(tái)具體用于根據(jù)所述當(dāng)前圖像計(jì)算X軸和Y軸的第一調(diào)試偏差，基于所述第一調(diào)試偏差和所述零位坐標(biāo)生成第一坐標(biāo)調(diào)教值，和/或根據(jù)所述實(shí)際坐標(biāo)計(jì)算Z軸的第二調(diào)試偏差，基于所述第二調(diào)試偏差和所述零位坐標(biāo)生成第二坐標(biāo)調(diào)教值。

進(jìn)一步地，還包括：交互界面，所述交互界面具有顯示區(qū)域、多個(gè)功能按鍵，其中，所述顯示區(qū)域顯示所述半導(dǎo)體產(chǎn)品加工機(jī)的當(dāng)前參數(shù)及當(dāng)前工作模式，所述功能按鍵包括開(kāi)關(guān)機(jī)功能按鍵。

進(jìn)一步地，還包括：控制器，所述控制器用于在判斷所述開(kāi)關(guān)機(jī)功能按鍵被觸發(fā)后，根據(jù)用戶(hù)輸入的手勢(shì)動(dòng)作控制所述全自動(dòng)調(diào)教機(jī)臺(tái)進(jìn)入所述手勢(shì)動(dòng)作對(duì)應(yīng)的工作模式。

進(jìn)一步地，所述手勢(shì)動(dòng)作接觸于所述交互界面或非接觸于所述交互界面。

本申請(qǐng)第二方面實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體產(chǎn)品加工方法，所述方法應(yīng)用于上述實(shí)施例所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品加工機(jī)，包括以下步驟：獲取圖像識(shí)別裝置采集的加工工件的當(dāng)前圖像；獲取對(duì)射式傳感器檢測(cè)的刀具尖端所處位置的實(shí)際坐標(biāo)；基于預(yù)設(shè)的零位坐標(biāo)生成目標(biāo)加工動(dòng)作，抬高主軸位置，控制所述加工工件執(zhí)行所述目標(biāo)加工動(dòng)作，并且在完成半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工后，基于所述當(dāng)前圖像和/或所述實(shí)際坐標(biāo)將所述加工工件的位置重新調(diào)教到所述零位坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的位置。

進(jìn)一步地，基于所述當(dāng)前圖像和所述實(shí)際坐標(biāo)將所述加工工件的位置重新調(diào)教到所述零位坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的位置，包括：于根據(jù)所述當(dāng)前圖像計(jì)算X軸和Y軸的第一調(diào)試偏差，基于所述第一調(diào)試偏差和所述零位坐標(biāo)生成第一坐標(biāo)調(diào)教值；和/或，根據(jù)所述實(shí)際坐標(biāo)計(jì)算Z軸的第二調(diào)試偏差，基于所述第二調(diào)試偏差和所述零位坐標(biāo)生成第二坐標(biāo)調(diào)教值。

進(jìn)一步地，還包括：通過(guò)交互界面顯示所述半導(dǎo)體產(chǎn)品加工機(jī)的當(dāng)前參數(shù)及當(dāng)前工作模式。

進(jìn)一步地，還包括：通過(guò)控制器判斷開(kāi)關(guān)機(jī)功能按鍵被觸發(fā)后，根據(jù)所述用戶(hù)輸入的手勢(shì)動(dòng)作進(jìn)入對(duì)應(yīng)的工作模式。

進(jìn)一步地，所述手勢(shì)動(dòng)作接觸于所述交互界面或非接觸于交互界面。

由此，本申請(qǐng)至少具有如下有益效果：