[發明專利]執行裝置及執行方法

在審

• 申請號: 202111048364.3
• 申請日: 2021-09-08
• 公開（公告）號: CN114167142A
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 薄優斗;畑中貴之
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01R27/26
• 分類號: G01R27/26;H01L21/67
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

示例性實施方式所涉及的執行裝置具備動作裝置、加速度傳感器及運算裝置。動作裝置為用于執行規定動作的裝置。加速度傳感器能夠測量對執行裝置施加的加速度。運算裝置測量由加速度傳感器進行測量的加速度成為基準范圍內的值之后的經過時間，在加速度保持基準范圍內的值的狀態下經過了規定時間時，使動作裝置執行規定動作。

技術領域

本發明的示例性實施方式涉及一種執行裝置及執行方法。

背景技術

在日本特開2017-183683號公報中記載有執行測定靜電電容等動作的測定器。該測定器具備基座基板、第1傳感器、第2傳感器及電路板。第1傳感器具有沿基座基板上表面的邊緣設置的第1電極。第2傳感器具有固定于基座基板底面上的第2電極。電路板搭載于基座基板上，并且與第1傳感器及第2傳感器連接。電路板向第1電極及第2電極施加高頻信號，從第1電極中的電壓振幅獲取與靜電電容對應的第1測定值，并從第2電極中的電壓振幅獲取與靜電電容對應的第2測定值。

發明內容

在一個示例性實施方式中，提供一種執行裝置，其被輸送至設置于半導體制造裝置中的輸送裝置以執行規定動作。執行裝置具備動作裝置、加速度傳感器及運算裝置。動作裝置為用于執行規定動作的裝置。加速度傳感器能夠測量對執行裝置施加的加速度。運算裝置根據由加速度傳感器進行測量的加速度來使動作裝置執行規定動作。運算裝置測量由加速度傳感器進行測量的加速度成為閾值以下之后的經過時間，在加速度不超過閾值的狀態下經過了規定時間時，判定為執行裝置載置于半導體制造裝置的載置臺上，并使動作裝置執行規定動作。

附圖說明

圖1是例示處理系統的圖。

圖2是例示對準器的立體圖。

圖3是表示等離子體處理裝置的一例的圖。

圖4是從上表面側觀察表示一例測定器的俯視圖。

圖5是從底面側觀察表示一例測定器的俯視圖。

圖6是表示第1傳感器的一例的立體圖。

圖7是沿圖6的VII-VII線剖切的剖視圖。

圖8是圖5的第2傳感器的放大圖。

圖9是例示測定器的電路板的結構的圖。

圖10是用于說明一例執行裝置的加速度傳感器的示意圖。

圖11是表示電源控制系統的電路的一例的框圖。

圖12是表示執行裝置的動作方法的一例的流程圖。

具體實施方式

以下，對各種示例性實施方式進行說明。

在一個示例性實施方式中，提供一種執行裝置，其被輸送至設置于半導體制造裝置中的輸送裝置以執行規定動作。執行裝置具備動作裝置、加速度傳感器及運算裝置。動作裝置為用于執行規定動作的裝置。加速度傳感器能夠測量對執行裝置施加的加速度。運算裝置測量由加速度傳感器進行測量的加速度成為基準范圍內的值之后的經過時間，在加速度保持基準范圍內的值的狀態下經過了規定時間時，判定為執行裝置載置于半導體制造裝置的載置臺上，并使動作裝置執行規定動作。

在上述實施方式的執行裝置中，可以通過設置于執行裝置中的加速度傳感器來檢測對執行裝置施加的加速度。例如，在執行裝置被輸送至半導體制造裝置的輸送裝置的情況下，根據速度變化對執行裝置施加加速度。并且，在執行裝置載置于載置臺上的狀態下，執行裝置靜止，并且沒有對執行裝置施加加速度。運算裝置能夠判定是否對執行裝置施加通過基于輸送裝置的移動而產生的加速度。在加速度不超過基準范圍的狀態即由移動產生的加速度沒有施加到執行裝置的狀態下經過了規定時間時，運算裝置能夠判斷為執行裝置載置于載置臺上。根據該判斷，運算裝置使動作裝置執行規定動作。因此，能夠使動作裝置自動執行規定動作。