[發明專利]執行裝置及執行方法

在審

• 申請號: 202111048364.3
• 申請日: 2021-09-08
• 公開（公告）號: CN114167142A
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 薄優斗;畑中貴之
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01R27/26
• 分類號: G01R27/26;H01L21/67
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種執行裝置，其被輸送至設置于半導體制造裝置中的輸送裝置以執行規定動作，所述執行裝置具備：

動作裝置，用于執行所述規定動作；

加速度傳感器，能夠測量對所述執行裝置施加的加速度；及

運算裝置，測量由所述加速度傳感器進行測量的所述加速度成為基準范圍內的值之后的經過時間，在所述加速度保持所述基準范圍內的值的狀態下經過了規定時間時，判定為所述執行裝置載置于所述半導體制造裝置的載置臺上，并使所述動作裝置執行所述規定動作。

2.根據權利要求1所述的執行裝置，其中，

在從所述經過時間的測量開始起在所述規定時間內所述加速度超過了所述基準范圍的情況下，所述運算裝置停止所述經過時間的測量，并且返回至初始狀態。

3.根據權利要求1或2所述的執行裝置，其中，

所述加速度傳感器包括：

第1加速度傳感器，能夠測量沿水平方向的第1方向上的第1加速度；及

第2加速度傳感器，能夠測量沿水平方向的與所述第1方向正交的第2方向上的第2加速度，

所述加速度為所述第1加速度與所述第2加速度的合成值。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的執行裝置，其中，

在通過所述運算裝置使所述動作裝置執行規定動作之后，所述加速度超過了所述基準范圍的情況下，所述運算裝置判定為所述執行裝置從所述半導體制造裝置的載置臺搬出，并使所述動作裝置停止所述規定動作。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的執行裝置，其中，

所述基準范圍為-0.005m/s²至0.005m/s²之間的范圍。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的執行裝置，其中，

所述規定時間為60s以上。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的執行裝置，其中，

所述規定動作為靜電電容的測定。

8.一種執行方法，其使被輸送至設置于半導體制造裝置中的輸送裝置的執行裝置執行規定動作，所述執行方法具備：

通過測量對所述執行裝置施加的加速度來測量對所述執行裝置施加的所述加速度成為基準范圍內的值之后的經過時間的工序；及

在從所述經過時間的測量開始起在所述加速度不超過所述基準范圍的狀態下經過了規定時間時，判定為所述執行裝置載置于所述半導體制造裝置的載置臺上，并執行所述規定動作的工序。

9.根據權利要求8所述的執行方法，其還包括如下工序：

在從所述經過時間的測量開始起在所述規定時間內所述加速度超過了所述基準范圍的情況下，停止所述經過時間的測量，并且返回至初始狀態。

10.根據權利要求8或9所述的執行方法，其中，

所述加速度為沿水平方向的第1方向上的第1加速度與沿水平方向的與所述第1方向正交的第2方向上的第2加速度的合成值。

11.根據權利要求8至10中任一項所述的執行方法，其還包括如下工序：

在所述執行裝置執行規定動作之后，所述加速度超過了所述基準范圍的情況下，判定為所述執行裝置從所述半導體制造裝置的載置臺搬出，并停止所述規定動作。

12.根據權利要求8至11中任一項所述的執行方法，其中，

所述基準范圍為-0.005m/s²至0.005m/s²之間的范圍。

13.根據權利要求8至12中任一項所述的執行方法，其中，

所述規定時間為60s以上。

14.根據權利要求8至13中任一項所述的執行方法，其中，

所述規定動作為靜電電容的測定。