[發明專利]一種具有回收結構的晶圓片清洗機

在審

• 申請號: 202111038268.0
• 申請日: 2021-09-06
• 公開（公告）號: CN113894082A
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;童建
• 申請（專利權）人: 無錫亞電智能裝備有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/08;B08B3/14;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

本發明屬于晶圓片清洗領域，具體為一種具有回收結構的晶圓片清洗機，包括機殼、清洗機構、液體回收機構、抓取機構，所述機殼上方設置有所述液體回收機構，所述液體回收機構上方設置有所述清洗機構，所述清洗機構上方設置有所述抓取機構；所述機殼包括支撐柱、連接板、底部支架、下箱體、倉門、把手、支撐板、上殼，所述支撐柱上方設置有所述連接板,所述支撐柱一側設置有所述底部支架，所述底部支架上方設置有所述下箱體，所述下箱體前部設置有所述倉門、所述倉門一側設置有所述把手，利用清洗機構對晶體進行清洗，利用液體回收機構對廢液進行回收再利用，利用抓取機構對晶體抓取避免二次污染，減少清洗劑的使用，降低成本，提高效率。

技術領域

本發明屬于晶圓片清洗領域，具體是涉及一種具有回收結構的晶圓片清洗機。

背景技術

硅晶片又稱晶圓片，是由硅錠加工而成的，通過專門的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數以百萬計的晶體管，被廣泛應用于集成電路的制造，元素硅是一種灰色、易碎、四價的非金屬化學元素。地殼成分中27.8％是硅元素構成的，僅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比較富的元素。在石英、瑪瑙、燧石和普通的灘石中就可以發現硅元素。硅晶片又稱晶圓片，是由硅錠加工而成的，通過專門的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數以百萬計的晶體管，被廣泛應用于集成電路的制造，拋光后，晶圓片要通過一系列清洗槽的清洗，這一過程是為去除表面顆粒、金屬劃痕和殘留物，一般的清洗機對于清洗劑的使用浪費嚴重，導致成本增加。

發明內容

本發明的目的就在于提供一種具有回收結構的晶圓片清洗機。

本發明所采用的技術方案如下：

一種具有回收結構的晶圓片清洗機，包括機殼、清洗機構、液體回收機構、抓取機構，所述機殼上方設置有所述液體回收機構，所述液體回收機構上方設置有所述清洗機構，所述清洗機構上方設置有所述抓取機構；所述機殼包括支撐柱、連接板、底部支架、下箱體、倉門、把手、支撐板、上殼，所述支撐柱上方設置有所述連接板,所述支撐柱一側設置有所述底部支架，所述底部支架上方設置有所述下箱體，所述下箱體前部設置有所述倉門、所述倉門一側設置有所述把手，所述下箱體上方設置有所述支撐板，所述支撐板上方設置有所述上殼；所述清洗機構包括散熱架、驅動電機、變速箱、旋轉盤、定位塊、液體防濺盤、收集倉、收集軟管、放置盤、步進電機、旋轉柱、連接頭、支撐臂、噴頭，所述底部支架上方設置有所述散熱架，所述散熱架上方設置有所述驅動電機，所述驅動電機上方設置有所述變速箱，所述變速箱上方設置有所述旋轉盤，所述旋轉盤上方設置有所述定位塊，所述旋轉盤外部設置有所述液體防濺盤，所述液體防濺盤下方設置有所述收集倉，所述收集倉下方設置有所述收集軟管，所述液體防濺盤一側設置有所述放置盤，所述液體防濺盤前部設置有所述旋轉柱，所述旋轉柱下方設置有所述步進電機，所述旋轉柱上方設置有所述連接頭，所述連接頭后部設置有所述支撐臂，所述支撐臂下方設置有所述噴頭；所述液體回收機構包括過濾箱、過濾網、排泄閥、第一泵體、第一抽取管道、密閉蒸餾倉、冷凝管、純凈液體儲藏箱、第二泵體、第二抽取管道、加熱絲，所述底部支架上方設置有所述過濾箱，所述過濾箱內部設置有所述第一泵體和所述過濾網，所述過濾箱一側設置有所述排泄閥，所述第一泵體上方設置有所述第一抽取管道,所述第一抽取管道一側設置有所述密閉蒸餾倉，所述密閉蒸餾倉內部設置有所述加熱絲，所述密閉蒸餾倉一側設置有所述冷凝管，所述冷凝管下方設置有所述純凈液體儲藏箱，所述純凈液體儲藏箱內部設置有所述第二泵體，所述第二泵體上方設置有所述第二抽取管道。

優選地：所述抓取機構包括第一伺服電機、第一滾珠絲桿、第一光軸、底座、氣推桿、抓取頭，所述上殼內部并位于上方設置有所述第一滾珠絲桿，所述第一滾珠絲桿一側設置有所述第一伺服電機，所述第一滾珠絲桿后部設置有所述第一光軸，所述第一光軸和所述第一滾珠絲桿外部設置有所述底座，所述底座下方設置有所述氣推桿，所述氣推桿下方設置有所述抓取頭。

如此設置，所述第一伺服電機帶動所述第一滾珠絲桿旋轉。