[發明專利]一種具有回收結構的晶圓片清洗機

在審

• 申請號: 202111038268.0
• 申請日: 2021-09-06
• 公開（公告）號: CN113894082A
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;童建
• 申請（專利權）人: 無錫亞電智能裝備有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/08;B08B3/14;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

1.一種具有回收結構的晶圓片清洗機，其特征在于：包括機殼(1)、清洗機構(2)、液體回收機構(3)、抓取機構(4)，所述機殼(1)上方設置有所述液體回收機構(3)，所述液體回收機構(3)上方設置有所述清洗機構(2)，所述清洗機構(2)上方設置有所述抓取機構(4)；

所述機殼(1)包括支撐柱(101)、連接板(102)、底部支架(103)、下箱體(104)、倉門(105)、把手(106)、支撐板(107)、上殼(108)，所述支撐柱(101)上方設置有所述連接板(102),所述支撐柱(101)一側設置有所述底部支架(103)，所述底部支架(103)上方設置有所述下箱體(104)，所述下箱體(104)前部設置有所述倉門(105)、所述倉門(105)一側設置有所述把手(106)，所述下箱體(104)上方設置有所述支撐板(107)，所述支撐板(107)上方設置有所述上殼(108)；

所述清洗機構(2)包括散熱架(201)、驅動電機(202)、變速箱(203)、旋轉盤(204)、定位塊(205)、液體防濺盤(206)、收集倉(207)、收集軟管(208)、放置盤(209)、步進電機(210)、旋轉柱(211)、連接頭(212)、支撐臂(213)、噴頭(214)，所述底部支架(103)上方設置有所述散熱架(201)，所述散熱架(201)上方設置有所述驅動電機(202)，所述驅動電機(202)上方設置有所述變速箱(203)，所述變速箱(203)上方設置有所述旋轉盤(204)，所述旋轉盤(204)上方設置有所述定位塊(205)，所述旋轉盤(204)外部設置有所述液體防濺盤(206)，所述液體防濺盤(206)下方設置有所述收集倉(207)，所述收集倉(207)下方設置有所述收集軟管(208)，所述液體防濺盤(206)一側設置有所述放置盤(209)，所述液體防濺盤(206)前部設置有所述旋轉柱(211)，所述旋轉柱(211)下方設置有所述步進電機(210)，所述旋轉柱(211)上方設置有所述連接頭(212)，所述連接頭(212)后部設置有所述支撐臂(213)，所述支撐臂(213)下方設置有所述噴頭(214)；

所述液體回收機構(3)包括過濾箱(301)、過濾網(302)、排泄閥(303)、第一泵體(304)、第一抽取管道(305)、密閉蒸餾倉(306)、冷凝管(307)、純凈液體儲藏箱(308)、第二泵體(309)、第二抽取管道(310)、加熱絲(311)，所述底部支架(103)上方設置有所述過濾箱(301)，所述過濾箱(301)內部設置有所述第一泵體(304)和所述過濾網(302)，所述過濾箱(301)一側設置有所述排泄閥(303)，所述第一泵體(304)上方設置有所述第一抽取管道(305),所述第一抽取管道(305)一側設置有所述密閉蒸餾倉(306)，所述密閉蒸餾倉(306)內部設置有所述加熱絲(311)，所述密閉蒸餾倉(306)一側設置有所述冷凝管(307)，所述冷凝管(307)下方設置有所述純凈液體儲藏箱(308)，所述純凈液體儲藏箱(308)內部設置有所述第二泵體(309)，所述第二泵體(309)上方設置有所述第二抽取管道(310)。

2.根據權利要求1所述的一種具有回收結構的晶圓片清洗機，其特征在于：所述抓取機構(4)包括第一伺服電機(401)、第一滾珠絲桿(402)、第一光軸(403)、底座(404)、氣推桿(405)、抓取頭(406)，所述上殼(108)內部并位于上方設置有所述第一滾珠絲桿(402)，所述第一滾珠絲桿(402)一側設置有所述第一伺服電機(401)，所述第一滾珠絲桿(402)后部設置有所述第一光軸(403)，所述第一光軸(403)和所述第一滾珠絲桿(402)外部設置有所述底座(404)，所述底座(404)下方設置有所述氣推桿(405)，所述氣推桿(405)下方設置有所述抓取頭(406)。