[發(fā)明專利]對準(zhǔn)裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111029230.7
• 申請日: 2021-09-02
• 公開（公告）號: CN114188259A
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 井浦惇
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社達(dá)誼恒
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 李逸雪

1.一種對準(zhǔn)裝置，其特征在于，具備：

具有支承工件的第1支承部以及用于使上述第1支承部繞著第1垂直軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的第1驅(qū)動源的第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)；

具有支承上述工件的第2支承部以及用于使上述第2支承部繞著第2垂直軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的第2驅(qū)動源的第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)；和

使被支承在上述第2支承部的上述工件上下活動的升降機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，

上述第1支承部具有載置上述工件的第1載置面，

上述升降機(jī)構(gòu)具有載置上述工件的第2載置面，并使該第2載置面在比上述第1載置面更下方的第1位置與比上述第1載置面更上方的第2位置之間上下活動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，

上述升降機(jī)構(gòu)包含水平方向上相互分離配置的多個升降缸，

上述各升降缸在其上端部具有第2載置面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，

上述第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有：與上述第1驅(qū)動源連結(jié)且沿水平面延伸的第1臂；通過上述第1驅(qū)動源旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的第1驅(qū)動滑輪；被支承成能以上述第1垂直軸為中心通過上述第1臂旋轉(zhuǎn)的第1從動滑輪；和繞掛在上述第1驅(qū)動滑輪以及上述第1從動滑輪的第1傳送帶，

上述第1支承部配置得比上述第1從動滑輪更為上方，且與上述第1從動滑輪連結(jié)，

上述第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有：與上述第2驅(qū)動源連結(jié)且沿水平面延伸的第2臂；通過上述第2驅(qū)動源旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的第2驅(qū)動滑輪；被支承成能以上述第2垂直軸為中心通過上述第2臂旋轉(zhuǎn)的第2從動滑輪；和繞掛在上述第2驅(qū)動滑輪以及上述第2從動滑輪的第2傳送帶，

上述第2支承部包含沿水平面延伸的工件支承用臂，

上述多個升降缸相互分離地被上述工件支承用臂支承。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，

上述第1驅(qū)動源相對于上述第1從動滑輪配置在沿水平面的第1方向的一側(cè)，

上述第2從動滑輪以及上述第2驅(qū)動源相對于上述第1從動滑輪配置在上述第1方向的另一側(cè)，

上述升降機(jī)構(gòu)由一對升降缸構(gòu)成，

該一對升降缸夾著上述第1垂直軸相互配置在相反側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，

具備多個第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)、多個第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及多個升降機(jī)構(gòu)，

上述多個第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)各自中的第1從動滑輪配置成在上下方向上相互隔開間隔且在俯視觀察下重疊，

上述多個第1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)各自中的第1驅(qū)動源以及第1驅(qū)動滑輪在俯視觀察下為在上述第1垂直軸的周向上隔開間隔配置，

上述多個第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)各自中的第2從動滑輪配置成在上下方向上相互隔開間隔且在俯視觀察下重疊，

上述多個第2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)各自中的第2驅(qū)動源以及第2驅(qū)動滑輪在俯視觀察下為在上述第2垂直軸的周向上隔開間隔配置。