[發明專利]機臺聯動性的監控方法及監控系統

在審

• 申請號: 202111006801.5
• 申請日: 2021-08-30
• 公開（公告）號: CN113723923A
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發明（設計）人: 張峰;賈宇;程杰;管維康;張嘉炯
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06Q10/10
• 分類號: G06Q10/10;G06Q50/04;H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 周耀君

本發明的機臺聯動性的監控方法及監控系統中，機臺聯動性的監控方法包括：選擇半導體有生產工藝時間限制的工藝路線中預定線路上的多個機臺，并獲取各個機臺的可利用時間率；基于各個機臺的可利用時間率，根據相關系數理論計算任意兩個機臺之間的相關系數；根據相關系數與預設條件判斷相關系數關聯的兩個機臺的可利用時間率是否需要調整，以及是否同步調整剩余的機臺的可利用時間率，使得根據各個機臺調整后的可利用時間率計算得到的相關系數滿足預設條件。如上配置，可以加強預定線路上機臺的可利用時間率的聯動性、提高各個機臺的利用率、加快芯片的流通速度、減少預定線路上芯片的堆積量，使整個半導體工藝路線生產更加均衡，增加車間的產量。

技術領域

本發明涉及半導體制造技術領域，特別涉及一種機臺聯動性的監控方法及監控系統。

背景技術

隨著半導體技術的發展，芯片的集成度越來越高，半導體工藝也越來越復雜，工藝的跟蹤等待時間的限制也越來越多，導致生產計劃的調控也越來越困難，工工藝的跟蹤等待時間可理解為，在芯片上一個工藝完成的一定時間內(比如8小時)，必須完成芯片在下一個工藝的處理。在實際生產作業中，在整個工藝路線的某一段線路上，既要保證芯片加工過程中不超過相應的工藝的跟蹤等待時間，即此線路上不能堆積太多的芯片，又要充分提高此線路上各個機臺的利用率，增大此線路上的產出量，這就需要加強此線路上各個機臺之間的維護和保養的聯動性，調整各個機臺的作業時間，從而實現此線路下貨更平衡、芯片加工流通速度得到加快、機臺的整體利用率得到提高。但是，目前的生產車間中，在上述選定的整個工藝路線的某一線路上的機臺維護和保養的聯動性不是很好，且沒有一種較為科學和合理的方法來監控各個機臺之間維護和保養的聯動性，進而聯動調整各個機臺可供作業的時間。

發明內容

為解決如背景技術所言的技術問題，本發明提供一種機臺的聯動性的監控方法及監控系統。

基于本發明的一個方面，本發明提供一種機臺聯動性的監控方法，其應用于半導體工藝路線，所述機臺聯動性的監控方法包括：

選擇有生產工藝時間限制的所述半導體工藝路線中預定線路上的多個機臺，并獲取各個所述機臺的可利用時間率；

基于各個所述機臺的可利用時間率，根據相關系數理論計算任意兩個所述機臺之間的相關系數；

根據所述相關系數判斷與預設條件來判斷所述相關系數關聯的兩個所述機臺的可利用時間率是否需要調整，以及是否同步調整剩余的所述機臺的可利用時間率，使得根據各個所述機臺調整后的可利用時間率計算得到的相關系數滿足所述預設條件。

可選的，所述預設條件包括任意兩個所述機臺之間的相關系數大于零。

可選的，所述相關系數小于或等于零時，調整與所述相關系數關聯的兩個所述機臺的可利用時間率，并同步調整剩余的所述機臺的可利用時間率。

可選的，所述機臺聯動性的監控方法還包括：將計算得到的各個所述機臺之間的相關系數形成相關系數矩陣。

可選的，計算任意兩個所述機臺之間的相關系數之前，所述機臺聯動性的監控方法還包括：計算任意兩個所述機臺各自關于可利用時間率的方差，進而計算協方差。

基于本發明的另一個方面，本發明還提供一種機臺聯動性的監控系統，其應用于半導體工藝路線，所述機臺聯動性的監控系統包括：

數據獲取模塊，其被配置為選擇有生產工藝時間限制的所述半導體工藝路線中預定線路上的多個機臺，并獲取各個所述機臺的可利用時間率；

數據處理模塊，其被配置為基于各個所述機臺的可利用時間率，根據相關系數理論計算任意兩個所述機臺之間的相關系數；

數據調整模塊，其被配置為根據所述相關系數與預設條件來判斷所述相關系數關聯的兩個所述機臺的可利用時間率是否需要調整，以及是否同步調整剩余的所述機臺的可利用時間率，使得根據各個所述機臺調整后的可利用時間率計算得到的相關系數滿足預設條件。