[發(fā)明專利]機臺聯(lián)動性的監(jiān)控方法及監(jiān)控系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111006801.5
• 申請日: 2021-08-30
• 公開（公告）號: CN113723923A
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張峰;賈宇;程杰;管維康;張嘉炯
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06Q10/10
• 分類號: G06Q10/10;G06Q50/04;H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 周耀君

1.一種機臺聯(lián)動性的監(jiān)控方法，應(yīng)用于半導體工藝路線，其特征在于，包括：

選擇有生產(chǎn)工藝時間限制的所述半導體工藝路線中預定線路上的多個機臺，并獲取各個所述機臺的可利用時間率；

基于各個所述機臺的可利用時間率，根據(jù)相關(guān)系數(shù)理論計算任意兩個所述機臺之間的相關(guān)系數(shù)；

根據(jù)所述相關(guān)系數(shù)與預設(shè)條件來判斷所述相關(guān)系數(shù)關(guān)聯(lián)的兩個所述機臺的可利用時間率是否需要調(diào)整，以及是否同步調(diào)整剩余的所述機臺的可利用時間率，使得根據(jù)各個所述機臺調(diào)整后的可利用時間率計算得到的相關(guān)系數(shù)滿足所述預設(shè)條件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機臺聯(lián)動性的監(jiān)控方法，其特征在于，所述預設(shè)條件包括任意兩個所述機臺之間的相關(guān)系數(shù)大于零。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機臺聯(lián)動性的監(jiān)控方法，其特征在于，所述相關(guān)系數(shù)小于或等于零時，調(diào)整與所述相關(guān)系數(shù)關(guān)聯(lián)的兩個所述機臺的可利用時間率，并同步調(diào)整剩余的所述機臺的可利用時間率。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機臺聯(lián)動性的監(jiān)控方法，其特征在于，所述機臺聯(lián)動性的監(jiān)控方法還包括：將計算得到的各個所述機臺之間的相關(guān)系數(shù)形成相關(guān)系數(shù)矩陣。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機臺聯(lián)動性的監(jiān)控方法，其特征在于，計算任意兩個所述機臺之間的相關(guān)系數(shù)之前，所述機臺聯(lián)動性的監(jiān)控方法還包括：計算任意兩個所述機臺關(guān)于各自可利用時間率的方差，進而計算協(xié)方差。

6.一種機臺聯(lián)動性的監(jiān)控系統(tǒng)，應(yīng)用于半導體工藝路線，其特征在于，包括：

數(shù)據(jù)獲取模塊，其被配置為選擇有生產(chǎn)工藝時間限制的所述半導體工藝路線中預定線路上的多個機臺，并獲取各個所述機臺的可利用時間率；

數(shù)據(jù)處理模塊，其被配置為基于各個所述機臺的可利用時間率，根據(jù)相關(guān)系數(shù)理論計算任意兩個所述機臺之間的相關(guān)系數(shù)；

數(shù)據(jù)調(diào)整模塊，其被配置為根據(jù)所述相關(guān)系數(shù)與預設(shè)條件來判斷所述相關(guān)系數(shù)關(guān)聯(lián)的兩個所述機臺的可利用時間率是否需要調(diào)整，以及是否同步調(diào)整剩余的所述機臺的可利用時間率，使得根據(jù)各個所述機臺調(diào)整后的可利用時間率計算得到的相關(guān)系數(shù)滿足所述預設(shè)條件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機臺聯(lián)動性的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)調(diào)整模塊包括條件配置單元，所述條件配置單元用于配置所述預設(shè)條件，使得所述預設(shè)條件包括任意兩個所述機臺之間的相關(guān)系數(shù)大于零。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的機臺聯(lián)動性的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)調(diào)整模塊包括判斷調(diào)整單元，所述判斷調(diào)整單元用于在所述相關(guān)系數(shù)小于或等于零時，調(diào)整與所述相關(guān)系數(shù)關(guān)聯(lián)的兩個所述機臺的可利用時間率，并同步調(diào)整剩余的所述機臺的可利用時間率。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機臺聯(lián)動性的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理模塊包括矩陣形成單元，所述矩陣形成單元用于根據(jù)計算得到的各個所述機臺之間的相關(guān)系數(shù)形成相關(guān)系數(shù)矩陣。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機臺聯(lián)動性的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理模塊預處理單元，所述預處理單元用于計算任意兩個所述機臺關(guān)于各自可利用時間率的方差，進而計算協(xié)方差。