[發明專利]一種能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板及其應用方法

在審

• 申請號: 202111001172.7
• 申請日: 2021-08-30
• 公開（公告）號: CN113637940A
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發明（設計）人: 王宏宇;羅雪春
• 申請（專利權）人: 重慶翰博顯示科技研發中心有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 重慶上義眾和專利代理事務所(普通合伙) 50225
• 代理人: 孫人鵬

一種能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板，包括有OLED顯示基板與掩模板本體，所述掩模板本體包括有掩模板上板和掩模板下板，所述掩模板上板與掩模板下板之間設置有安裝腔體層，所述OLED顯示基板緊密安裝在該安裝腔體層中，所述掩模板上板上還開設有像素開口區，在所述掩模板本體內部滑動設置有局部掩膜板機構；在所述掩模板本體與局部掩膜板機構之間設置有定位機構，所述掩模板上板活動扣接在掩模板下板上，且在所述掩模板上板與掩模板下板之間設置有微調升降機構，在所述安裝腔體層開口處還設置有密封機構。本發明在對同顏色的像素的蒸鍍過程中不需要更換掩模板，從而像素之間不會產生位置偏差，且極大地提高了OLED蒸鍍效率和品質。

技術領域

本發明涉及顯示面板制造的技術領域，具體涉及一種能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板及其應用方法。

背景技術

掩模板，又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，承載有設計圖形，光線透過它，把設計圖形投射在光刻膠上。光學掩模板在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構。掩膜版應用十分廣泛，在涉及光刻工藝的領域都需要使用掩膜版，如IC(集成電路)、FPD(平板顯示器)、PCB(印刷電路板)、MEMS(微機電系統)等。掩模板的性能直接決定了光刻和蒸鍍工藝的質量。

有機發光二級管顯示器(Organic Light Emitting Diode,OLED)是一種極具發展前景的平板顯示技術，它具有十分優異的顯示性能，特別是具有自發光、結構簡單、超輕薄、響應速度快、寬視角、低功耗及可實現柔性顯示等特性。

然而，蒸鍍作為OLED的核心工藝步驟之一，是OLED制造工藝五大步驟的第二個階段，是實現高精度，大容量OLED微單元彩色圖案化的唯一方法。蒸鍍需要在LTPS基板下面放置掩模板(FMM)，當利用有機材料對OLED進行蒸鍍時，有機材料只能沉積在掩模板設定的位置。如果不使用掩模板，將會造成像素混亂，例如有綠色和藍色沉積在紅色(R)像素上，這樣將無法獲得純色。因此，在蒸鍍過程中需要在不同的時間使用RGB相應位置和形狀的不同掩模板，這樣反復更換掩模板不僅效率低下，且更換一次掩模板即需要重新定位，會讓像素顏色之間的位置產生一定的偏差，導致生產的OLED品質不高。

發明內容

本發明為彌補顯示面板制造設備技術方面的不足，提出一種結構簡單，使用穩定可靠，在對同顏色的像素的蒸鍍過程中不需要更換掩模板，從而像素之間不會產生位置偏差，且極大地提高了OLED蒸鍍效率的能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板及其應用方法。

具體技術方案如下：

第一方面，本發明提供了一種能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板，包括有OLED顯示基板與掩模板本體，所述掩模板本體包括有掩模板上板和掩模板下板，所述掩模板上板與掩模板下板之間設置有安裝腔體層，該安裝腔體層整個內壁覆蓋有石墨烯層，石墨烯層防止了OLED顯示基板在裝入安裝腔體層的過程中被劃傷，所述OLED顯示基板緊密安裝在該安裝腔體層中，所述掩模板上板上還開設有像素開口區，在所述掩模板本體內部滑動設置有局部掩膜板機構；在所述掩模板本體與局部掩膜板機構之間設置有定位機構，所述掩模板上板活動扣接在掩模板下板上，且在所述掩模板上板與掩模板下板之間設置有微調升降機構，在所述安裝腔體層開口處還設置有密封機構。