[發(fā)明專利]一種能夠提高蒸鍍品質(zhì)的OLED蒸鍍用掩膜板及其應(yīng)用方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111001172.7
• 申請(qǐng)日: 2021-08-30
• 公開（公告）號(hào): CN113637940A
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王宏宇;羅雪春
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶翰博顯示科技研發(fā)中心有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 重慶上義眾和專利代理事務(wù)所(普通合伙) 50225
• 代理人: 孫人鵬

一種能夠提高蒸鍍品質(zhì)的OLED蒸鍍用掩膜板，包括有OLED顯示基板與掩模板本體，所述掩模板本體包括有掩模板上板和掩模板下板，所述掩模板上板與掩模板下板之間設(shè)置有安裝腔體層，所述OLED顯示基板緊密安裝在該安裝腔體層中，所述掩模板上板上還開設(shè)有像素開口區(qū)，在所述掩模板本體內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)置有局部掩膜板機(jī)構(gòu)；在所述掩模板本體與局部掩膜板機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有定位機(jī)構(gòu)，所述掩模板上板活動(dòng)扣接在掩模板下板上，且在所述掩模板上板與掩模板下板之間設(shè)置有微調(diào)升降機(jī)構(gòu)，在所述安裝腔體層開口處還設(shè)置有密封機(jī)構(gòu)。本發(fā)明在對(duì)同顏色的像素的蒸鍍過程中不需要更換掩模板，從而像素之間不會(huì)產(chǎn)生位置偏差，且極大地提高了OLED蒸鍍效率和品質(zhì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示面板制造的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種能夠提高蒸鍍品質(zhì)的OLED蒸鍍用掩膜板及其應(yīng)用方法。

背景技術(shù)

掩模板，又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，承載有設(shè)計(jì)圖形，光線透過它，把設(shè)計(jì)圖形投射在光刻膠上。光學(xué)掩模板在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu)。掩膜版應(yīng)用十分廣泛，在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版，如IC(集成電路)、FPD(平板顯示器)、PCB(印刷電路板)、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))等。掩模板的性能直接決定了光刻和蒸鍍工藝的質(zhì)量。

有機(jī)發(fā)光二級(jí)管顯示器(Organic Light Emitting Diode,OLED)是一種極具發(fā)展前景的平板顯示技術(shù)，它具有十分優(yōu)異的顯示性能，特別是具有自發(fā)光、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、超輕薄、響應(yīng)速度快、寬視角、低功耗及可實(shí)現(xiàn)柔性顯示等特性。

然而，蒸鍍作為OLED的核心工藝步驟之一，是OLED制造工藝五大步驟的第二個(gè)階段，是實(shí)現(xiàn)高精度，大容量OLED微單元彩色圖案化的唯一方法。蒸鍍需要在LTPS基板下面放置掩模板(FMM)，當(dāng)利用有機(jī)材料對(duì)OLED進(jìn)行蒸鍍時(shí)，有機(jī)材料只能沉積在掩模板設(shè)定的位置。如果不使用掩模板，將會(huì)造成像素混亂，例如有綠色和藍(lán)色沉積在紅色(R)像素上，這樣將無法獲得純色。因此，在蒸鍍過程中需要在不同的時(shí)間使用RGB相應(yīng)位置和形狀的不同掩模板，這樣反復(fù)更換掩模板不僅效率低下，且更換一次掩模板即需要重新定位，會(huì)讓像素顏色之間的位置產(chǎn)生一定的偏差，導(dǎo)致生產(chǎn)的OLED品質(zhì)不高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為彌補(bǔ)顯示面板制造設(shè)備技術(shù)方面的不足，提出一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用穩(wěn)定可靠，在對(duì)同顏色的像素的蒸鍍過程中不需要更換掩模板，從而像素之間不會(huì)產(chǎn)生位置偏差，且極大地提高了OLED蒸鍍效率的能夠提高蒸鍍品質(zhì)的OLED蒸鍍用掩膜板及其應(yīng)用方法。

具體技術(shù)方案如下：

第一方面，本發(fā)明提供了一種能夠提高蒸鍍品質(zhì)的OLED蒸鍍用掩膜板，包括有OLED顯示基板與掩模板本體，所述掩模板本體包括有掩模板上板和掩模板下板，所述掩模板上板與掩模板下板之間設(shè)置有安裝腔體層，該安裝腔體層整個(gè)內(nèi)壁覆蓋有石墨烯層，石墨烯層防止了OLED顯示基板在裝入安裝腔體層的過程中被劃傷，所述OLED顯示基板緊密安裝在該安裝腔體層中，所述掩模板上板上還開設(shè)有像素開口區(qū)，在所述掩模板本體內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)置有局部掩膜板機(jī)構(gòu)；在所述掩模板本體與局部掩膜板機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有定位機(jī)構(gòu)，所述掩模板上板活動(dòng)扣接在掩模板下板上，且在所述掩模板上板與掩模板下板之間設(shè)置有微調(diào)升降機(jī)構(gòu)，在所述安裝腔體層開口處還設(shè)置有密封機(jī)構(gòu)。