[發明專利]一種能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板及其應用方法

在審

• 申請號: 202111001172.7
• 申請日: 2021-08-30
• 公開（公告）號: CN113637940A
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發明（設計）人: 王宏宇;羅雪春
• 申請（專利權）人: 重慶翰博顯示科技研發中心有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 重慶上義眾和專利代理事務所(普通合伙) 50225
• 代理人: 孫人鵬

1.一種能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于：包括有OLED顯示基板(1)與掩模板本體(2)，所述掩模板本體(2)包括有掩模板上板(21)和掩模板下板(22)，所述掩模板上板(21)與掩模板下板(22)之間設置有安裝腔體層(23)，該安裝腔體層(23)整個內壁覆蓋有石墨烯層(27)，所述OLED顯示基板(1)緊密安裝在該安裝腔體層(23)中，所述掩模板上板(21)上還開設有像素開口區(24)，在所述掩模板本體(2)內部滑動設置有局部掩膜板機構(3)；

在所述掩模板本體(2)與局部掩膜板機構(3)之間設置有定位機構(4)，所述掩模板上板(21)活動扣接在掩模板下板(22)上，且在所述掩模板上板(21)與掩模板下板(22)之間設置有微調升降機構(5)，在所述安裝腔體層(23)開口處還設置有密封機構(6)。

2.根據權利要求1所述的能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于：所述像素開口區(24)均勻密布有像素開口組(25)，該像素開口組(25)包括有至少三個像素開口(26)，所述像素開口組(25)中的像素開口(26)的大小以及排列組合方式均與OLED顯示基板(1)的像素大小以及排列組合方式一致；

所述局部掩膜板機構(3)設置有滑動掩膜板(31)，該滑動掩膜板(31)均勻開設有通孔(32)，且所述通孔(32)滑動到不同位置均與每組像素開口組(25)中的一個像素開口(26)重合，在所述滑動掩膜板(31)至少有一側部連接有推拉柄(33)，該推拉柄(33)從所述掩模板本體(2)側面伸出，在所述滑動掩膜板(31)滑動區域的內壁上還設置有密封層(35)。

3.根據權利要求2所述的能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于：所述定位機構(4)設置有定位孔(41)，該定位孔(41)設置在所述掩模板上板(21)上，在所述滑動掩膜板(31)上表面還均勻開設有至少三個定位槽(42)，所述定位孔(41)中還配合安裝有定位鍵(43)，該定位鍵(43)穿過定位孔(41)與所述定位槽(42)緊密配合。

4.根據權利要求2所述的能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于：所述微調升降機構(5)設置有氣閥口(51)，在所述掩模板下板(22)上開設有凹槽(52)，在所述掩模板上板(21)上設置有凸塊(53)，所述凹槽(52)與凸塊(53)密閉配合，所述氣閥口(51)設置在所述凹槽(52)底部。

5.根據權利要求2所述的能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于：所述密封機構(6)設置有密封板(61)，在所述掩模板本體(2)端面上設置有滑動扣槽(62)，該滑動扣槽(62)設置在所述安裝腔體層(23)開口端，且所述密封板(61)滑動安裝在該滑動扣槽(62)中，在所述掩模板本體(2)一棱角處還開設有倒角，該倒角緊靠所述滑動扣槽(62)開口處設置。

6.根據權利要求2所述的能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板，其特征在于：所述掩模板下板(22)具有掩模板上板(21)一樣的結構，即開設有像素開口區(24)。

7.一種權利要求2-6任一項所述的能夠提高蒸鍍品質的OLED蒸鍍用掩膜板的應用方法，其特征在于：所述掩膜板在OLED蒸鍍過程中使用，其蒸鍍過程包括以下步驟：

一、通過微調升降機構(5)調整安裝腔體層(23)的高度，使得安裝腔體層(23)的高度大于OLED顯示基板(1)厚度；

二、將OLED顯示基板(1)裝入安裝腔體層(23)中，再通過微調升降機構(5)調整安裝腔體層(23)的高度，使得安裝腔體層(23)內壁與OLED顯示基板(1)緊密貼合；

三、滑動調整局部掩膜板機構(3)的滑動掩膜板(31)位置，使得通孔(32)重合的像素開口(26)與即將蒸鍍的像素顏色相對應；

四、將掩模板本體(2)置入設備中對OLED顯示基板(1)進行真空蒸鍍。