[發明專利]轉角平臺機構

在審

• 申請號: 202111001004.8
• 申請日: 2021-08-30
• 公開（公告）號: CN113764311A
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 劉明坤;梁吉來;姜博;王云峰
• 申請（專利權）人: 大連佳峰自動化股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 大連優路智權專利代理事務所(普通合伙) 21249
• 代理人: 宋春昕

1.轉角平臺機構，其特征在于：基板(17)上安裝支撐環(14)，支撐環(14)沿直徑方向設有孔，孔內通過卡架(13)上下排布安裝銷栓(12)和頂出軸(15)，卡架(13)中部與支撐環(14)內壁之間設有彈簧(11)；基板(17)上位于支撐環(14)的外側安裝大齒輪(9)，銷栓(12)位置與大齒輪(9)內緣的輪齒位置匹配；基板(17)上位于大齒輪(9)外側安裝切換氣缸(2)，切換氣缸(2)的活塞桿連接插軸(8)，插軸(8)與頂出軸(15)位置相對應；大齒輪(9)外緣安裝同步帶(3)，同步帶(3)連接驅動電機(1)；支撐環(14)上通過升降螺母(20)安裝升降驅動齒輪(10)，升降螺母(20)內部螺紋連接螺桿(21)，壓板(6)安裝于螺桿(21)上部，升降驅動齒輪(10)與大齒輪(9)嚙合安裝。

2.根據權利要求1所述的轉角平臺機構，其特征在于：所述基板(17)上位于支撐環(14)的外側均勻分布安裝四個壓輪部(22)，壓輪部(22)內側配合安裝上擋圈(23)，上擋圈(23)下側安裝大齒輪(9)，大齒輪(9)通過四個壓輪部(22)安裝在基板(17)上。

3.根據權利要求1所述的轉角平臺機構，其特征在于：所述升降螺母(20)通過升降螺母軸承(19)安裝于支撐環(14)上。

4.根據權利要求1所述的轉角平臺機構，其特征在于：所述螺桿(21)上端連接鋼圈(18)，壓板(6)安裝于鋼圈(18)上部。

5.根據權利要求1所述的轉角平臺機構，其特征在于：所述支撐環(14)內緣安裝用于與壓板(6)配合完成晶圓擴膜的支撐圈(7)。

6.根據權利要求1所述的轉角平臺機構，其特征在于：所述支撐環(14)下部通過支撐環軸承(16)安裝于基板(17)上。