[發明專利]一種硅片檢測裝置

在審

• 申請號: 202110997705.5
• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113758930A
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 盧亞賓;曹深深;云宏霞;張聰;梁坤
• 申請（專利權）人: 博眾精工科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/89;G01N21/84
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王亞瓊

1.一種硅片檢測裝置，其特征在于，包括：

傳送單元，用于沿傳送方向傳送硅片(10)；

采集件(1)；

紅外光源(2)，所述采集件(1)和所述紅外光源(2)分別置于所述傳送單元垂直于所述傳送方向的兩側，所述紅外光源(2)發出的光線能夠穿過所述硅片(10)后到達所述采集件(1)的采集端；

調節組件(3)，設置有兩個，兩個所述調節組件(3)分別連接于所述采集件(1)和所述紅外光源(2)，所述調節組件(3)能夠調整所述采集件(1)或所述紅外光源(2)的角度。

2.根據權利要求1所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述調節組件(3)包括基座(31)和轉動件(32)，所述采集件(1)或所述紅外光源(2)連接于所述轉動件(32)上，所述轉動件(32)上設置有轉軸，所述轉軸轉動穿設于所述基座(31)，所述轉動件(32)上開設有弧形槽(321)，所述弧形槽(321)的圓心位于所述轉軸的軸線上，所述基座(31)朝向所述轉動件(32)的一側設置有凸起，所述凸起至少部分位于所述弧形槽(321)內，且所述凸起能夠沿所述弧形槽(321)滑動。

3.根據權利要求2所述的硅片檢測裝置，其特征在于，至少一個所述調節組件(3)包括滑座(33)，所述轉動件(32)上開設有滑槽(322)，所述滑槽(322)沿所述弧形槽(321)的徑向延伸，對應的所述采集件(1)或所述紅外光源(2)連接于所述滑座(33)，所述滑座(33)能夠沿所述滑槽(322)滑動，以使對應的所述采集件(1)或所述紅外光源(2)能夠靠近或遠離所述傳送單元。

4.根據權利要求1所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述硅片檢測裝置還包括移動組件，所述移動組件設置有兩個，兩個所述移動組件與兩個所述調節組件(3)一一對應可拆卸連接，所述移動組件能夠帶動所述采集件(1)或所述紅外光源(2)靠近或遠離所述傳送單元。

5.根據權利要求4所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述移動組件包括滑軌、移動板和驅動件，所述滑軌垂直于所述傳送方向設置，所述移動板與所述滑軌滑動配合，所述驅動件連接于所述移動板，所述驅動件能夠驅動所述移動板沿所述滑軌滑動，所述移動板連接于所述調節組件(3)。

6.根據權利要求1-5任一項所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述采集件(1)和所述硅片(10)之間的成像光路與所述紅外光源(2)發出的光源光路之間呈夾角設置，且所述成像光路、所述光源光路以及所述硅片(10)能夠相交于同一點。

7.根據權利要求6所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述紅外光源(2)發出的所述光源光路與所述傳送方向垂直設置，所述采集件(1)與所述硅片(10)之間的所述成像光路傾斜于所述傳送方向設置；或，

所述紅外光源(2)發出的所述光源光路傾斜于所述傳送方向設置，所述采集件(1)與所述硅片(10)之間的所述成像光路與所述傳送方向垂直設置。

8.根據權利要求1-5任一項所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述傳送單元包括沿所述傳送方向間隔設置的兩個傳送件(4)，所述傳送件(4)能夠沿所述傳送方向傳送所述硅片(10)，所述硅片(10)置于所述傳送件(4)背離所述紅外光源(2)的一側，兩個所述傳送件(4)之間形成檢測空間(41)，所述紅外光源(2)發出的光線能夠穿過所述檢測空間(41)到達所述硅片(10)。

9.根據權利要求1-5任一項所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述采集件(1)為短波紅外線陣相機；和/或，所述紅外光源(2)為線光源，且能夠發出短波紅外光。

10.根據權利要求1-5任一項所述的硅片檢測裝置，其特征在于，所述硅片檢測裝置還包括上料單元，所述上料單元能夠拾取所述硅片(10)并向所述傳送單元供給所述硅片(10)。