[發明專利]一種硅片檢測裝置

在審

• 申請號: 202110997705.5
• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113758930A
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 盧亞賓;曹深深;云宏霞;張聰;梁坤
• 申請（專利權）人: 博眾精工科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/89;G01N21/84
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王亞瓊

本發明涉及硅片檢測技術領域，公開了一種硅片檢測裝置。硅片檢測裝置包括傳送單元、采集件、紅外光源和調節組件。傳送單元用于沿傳送方向傳送硅片；采集件和紅外光源分別置于傳送單元垂直于傳送方向的兩側，紅外光源發出的光線能夠穿過硅片后到達采集件的采集端；調節組件設置有兩個，兩個調節組件分別連接于采集件和紅外光源，調節組件能夠調整采集件或紅外光源的角度。本發明擴大了采集件與紅外光源之間的相對角度的調節范圍，保證了成像效果，提高了硅片上的隱裂等缺陷在采集到的圖像上的清晰程度，保證了檢測結果的準確度。

技術領域

本發明涉及硅片檢測技術領域，尤其涉及一種硅片檢測裝置。

背景技術

隨著科技的發展，帶來全球光伏行業的興起。其中硅片是光伏產業重要材料之一，作為太陽能電池片的載體，硅片的質量的好壞決定了太陽能電池片轉換效率的高低，因此檢測硅片上的隱裂等缺陷是制作電池片的重要環節。

隨著工業技術的發展，硅片生產線的速度不斷提升，人工檢測在速度上存在限制，無法跟上生產線的速度。因此機器視覺檢測代替人工檢測勢在必行，利用高速觸發攝像機對生產線上的硅片進行攝像，通過圖像處理技術進行分析，檢測出帶有缺陷的硅片。現有技術中，用于檢測硅片隱裂的裝置成像效果較差，不能清晰的在圖像上顯示，不能保證硅片檢測結果的準確性。

基于此，亟需一種硅片檢測裝置用來解決如上提到的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種硅片檢測裝置，擴大了采集件與紅外光源之間的相對角度的調節范圍，保證了成像效果，提高了硅片上的隱裂等缺陷在采集到的圖像上的清晰程度，保證了檢測結果的準確度。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一種硅片檢測裝置，包括：

傳送單元，用于沿傳送方向傳送硅片；

采集件；

紅外光源，所述采集件和所述紅外光源分別置于所述傳送單元垂直于所述傳送方向的兩側，所述紅外光源發出的光線能夠穿過所述硅片后到達所述采集件的采集端；

調節組件，設置有兩個，兩個所述調節組件分別連接于所述采集件和所述紅外光源，所述調節組件能夠調整所述采集件或所述紅外光源的角度。

作為一種硅片檢測裝置的可選技術方案，所述調節組件包括基座和轉動件，所述采集件或所述紅外光源連接于所述轉動件上，所述轉動件上設置有轉軸，所述轉軸轉動穿設于所述基座，所述轉動件上開設有弧形槽，所述弧形槽的圓心位于所述轉軸的軸線上，所述基座朝向所述轉動件的一側設置有凸起，所述凸起至少部分位于所述弧形槽內，且所述凸起能夠沿所述弧形槽滑動。

作為一種硅片檢測裝置的可選技術方案，至少一個所述調節組件包括滑座，所述轉動件上開設有滑槽，所述滑槽沿所述弧形槽的徑向方向延伸，對應的所述采集件或所述紅外光源連接于所述滑座，所述滑座能夠沿所述滑槽滑動，以使對應的所述采集件或所述紅外光源能夠靠近或遠離所述傳送單元。

作為一種硅片檢測裝置的可選技術方案，所述硅片檢測裝置還包括移動組件，所述移動組件設置有兩個，兩個所述移動組件與兩個所述調節組件一一對應可拆卸連接，所述移動組件能夠帶動所述采集件或所述紅外光源靠近或遠離所述傳送單元。

作為一種硅片檢測裝置的可選技術方案，所述移動組件包括滑軌、移動板和驅動件，所述滑軌垂直于所述傳送方向設置，所述移動板與所述滑軌滑動配合，所述驅動件連接于所述移動板，所述驅動件能夠驅動所述移動板沿所述滑軌滑動，所述移動板連接于所述調節組件。

作為一種硅片檢測裝置的可選技術方案，所述采集件和所述硅片之間的成像光路與所述紅外光源發出的光源光路之間呈夾角設置，且所述成像光路、所述光源光路以及所述硅片能夠相交于同一點。