[發(fā)明專利]MEMS揚聲器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110997247.5
• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113630703B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 但強;程詩陽;周一葦;李楊
• 申請（專利權(quán)）人: 瑞聲開泰科技(武漢)有限公司;瑞聲聲學科技（深圳）有限公司
• 主分類號: H04R19/02
• 分類號: H04R19/02;H04R17/00;B81B7/00;B81B7/02
• 代理公司: 深圳三用知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44859
• 代理人: 金晶

本發(fā)明提供了一種MEMS揚聲器，MEMS揚聲器包括襯底，襯底具有相對設(shè)置的頂壁和底壁，以及自頂壁至底壁貫穿襯底的空腔；耦合件，耦合件包括固定于頂壁的本體部、由本體部向空腔延伸的懸臂梁以及與懸臂梁遠離本體部一端連接的質(zhì)量塊；振膜，振膜固定于耦合件遠離頂壁一側(cè)并與耦合件共同圍合形成振動面，振動面沿振膜的振動方向封閉空腔；驅(qū)動器，驅(qū)動器固定于耦合件并驅(qū)動振動面振動發(fā)聲。該MEMS揚聲器中振膜與耦合件共同圍合形成振動面，并通過固定于耦合件的驅(qū)動器直接驅(qū)動振動發(fā)聲，能夠獲得更好的發(fā)聲效果，此外，通過調(diào)節(jié)質(zhì)量塊的高度以及質(zhì)量，可以調(diào)節(jié)揚聲器的一階諧振，靈活的調(diào)整揚聲器的發(fā)聲效果。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及聲電轉(zhuǎn)換技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種MEMS揚聲器。

【背景技術(shù)】

揚聲器作為手機等移動終端的主要元器件之一，其主要將電信號轉(zhuǎn)換成聲音信號。

MEMS揚聲器（Micro-Electro-Mechanical?System），即微電機系統(tǒng)揚聲器，其相對傳統(tǒng)的音圈式揚聲器具有一致性好、功耗低、尺寸小、價格低等優(yōu)勢，現(xiàn)有的MEMS揚聲器中的振膜與驅(qū)動器的設(shè)計不合理，導致MEMS揚聲器的發(fā)聲性能差。

因此，有要提供一種改善上述問題的MEMS揚聲器。

【發(fā)明內(nèi)容】

本發(fā)明的目的在于提供一種發(fā)聲性能好的MEMS揚聲器。

為了達到上述目的，本發(fā)明提供了一種MEMS揚聲器，包括：襯底，所述襯底具有相對設(shè)置的頂壁和底壁、自所述頂壁至所述底壁貫穿所述襯底的空腔；耦合件，所述耦合件包括固定于所述頂壁的本體部、由所述本體部向所述空腔延伸的懸臂梁以及與所述懸臂梁遠離所述本體部一端連接的質(zhì)量塊；振膜，所述振膜固定于所述耦合件遠離所述頂壁一側(cè)并與所述耦合件共同圍合形成振動面，所述振動面沿所述振膜的振動方向封閉所述空腔；驅(qū)動器，所述驅(qū)動器固定于所述耦合件并驅(qū)動所述振動面振動發(fā)聲；其中，所述懸臂梁包括多個，所述耦合件還包括自所述懸臂梁遠離所述本體部的一端延伸的連接部，所述質(zhì)量塊通過所述連接部與所述懸臂梁連接，多個所述懸臂梁通過所述連接部共同懸置所述質(zhì)量塊，所述振膜包括固定于所述連接部的第一固定部、固定于所述本體部的第二固定部以及連接所述第一固定部和所述第二固定部的折環(huán)部，所述折環(huán)部朝向遠離所述耦合件的方向彎折，所述質(zhì)量塊設(shè)有貫穿其上的內(nèi)腔，每個所述驅(qū)動器包括間隔設(shè)置的外驅(qū)動器以及內(nèi)驅(qū)動器，每個所述外驅(qū)動器固定于對應(yīng)的所述多個懸臂梁遠離所述空腔的一側(cè)，每個所述內(nèi)驅(qū)動器固定于所述連接部。

優(yōu)選地，所述第一固定部包括固定于所述連接部的第一彎折部、由所述第一彎折部向遠離所述連接部延伸的第二彎折部、由所述第二彎折部向靠近所述第二固定部延伸的第三彎折部；所述第二固定部包括固定于所述本體部的第四彎折部、由所述第四彎折部向遠離所述耦合件延伸的第五彎折部、由所述第五彎折部向靠近所述第三彎折部延伸的第六彎折部；所述第六彎折部與所述第三彎折部間隔設(shè)置，所述折環(huán)部的一側(cè)與所述第三彎折部連接，另一側(cè)與所述第六彎折部連接。

優(yōu)選地，所述質(zhì)量塊包括加強框架和加強骨架，所述加強骨架位于所述加強框架內(nèi)且與所述加強框架連接。

優(yōu)選地，每個所述懸臂梁包括間隔設(shè)置的外懸臂梁與內(nèi)懸臂梁，所述連接部包括外連接部與內(nèi)連接部，每個所述外懸臂梁一端與所述本體部連接，另一端與所述外連接部連接，每個所述內(nèi)懸臂梁的一端與所述外連接部遠離所述外懸臂梁一端連接，另一端與所述內(nèi)連接部連接。

優(yōu)選地，所述質(zhì)量塊包括外質(zhì)量塊與內(nèi)質(zhì)量塊，所述外質(zhì)量塊與所述外連接部連接，所述內(nèi)質(zhì)量塊與所述內(nèi)連接部連接，所述外質(zhì)量塊與內(nèi)質(zhì)量塊間隔設(shè)置。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動器包括外驅(qū)動器以及內(nèi)驅(qū)動器，所述外驅(qū)動器固定于對應(yīng)的所述外懸臂梁遠離所述空腔的一側(cè)，所述內(nèi)驅(qū)動器固定于對應(yīng)的所述內(nèi)懸臂梁遠離所述空腔的一側(cè)。