[發(fā)明專利]MEMS揚(yáng)聲器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110997247.5
• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113630703B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 但強(qiáng);程詩陽;周一葦;李楊
• 申請（專利權(quán)）人: 瑞聲開泰科技(武漢)有限公司;瑞聲聲學(xué)科技（深圳）有限公司
• 主分類號: H04R19/02
• 分類號: H04R19/02;H04R17/00;B81B7/00;B81B7/02
• 代理公司: 深圳三用知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44859
• 代理人: 金晶

1.一種MEMS揚(yáng)聲器，其特征在于，包括：

襯底，所述襯底具有相對設(shè)置的頂壁和底壁，以及自所述頂壁至所述底壁貫穿所述襯底的空腔；

耦合件，所述耦合件包括固定于所述頂壁的本體部、由所述本體部向所述空腔延伸的懸臂梁以及與所述懸臂梁遠(yuǎn)離所述本體部一端連接的質(zhì)量塊；

振膜，所述振膜固定于所述耦合件遠(yuǎn)離所述頂壁一側(cè)并與所述耦合件共同圍合形成振動(dòng)面，所述振動(dòng)面沿所述振膜的振動(dòng)方向封閉所述空腔；

驅(qū)動(dòng)器，所述驅(qū)動(dòng)器固定于所述耦合件并驅(qū)動(dòng)所述振動(dòng)面振動(dòng)發(fā)聲；

其中，所述懸臂梁包括多個(gè)，所述耦合件還包括自所述懸臂梁遠(yuǎn)離所述本體部的一端延伸的連接部，所述質(zhì)量塊通過所述連接部與所述懸臂梁連接，多個(gè)所述懸臂梁通過所述連接部共同懸置所述質(zhì)量塊，所述振膜包括固定于所述連接部的第一固定部、固定于所述本體部的第二固定部以及連接所述第一固定部和所述第二固定部的折環(huán)部，所述折環(huán)部朝向遠(yuǎn)離所述耦合件的方向彎折，所述質(zhì)量塊設(shè)有貫穿其上的內(nèi)腔，每個(gè)所述驅(qū)動(dòng)器包括間隔設(shè)置的外驅(qū)動(dòng)器以及內(nèi)驅(qū)動(dòng)器，每個(gè)所述外驅(qū)動(dòng)器固定于對應(yīng)的所述多個(gè)懸臂梁遠(yuǎn)離所述空腔的一側(cè)，每個(gè)所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)器固定于所述連接部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS揚(yáng)聲器，其特征在于，所述第一固定部包括固定于所述連接部的第一彎折部、由所述第一彎折部向遠(yuǎn)離所述連接部延伸的第二彎折部、由所述第二彎折部向靠近所述第二固定部延伸的第三彎折部；所述第二固定部包括固定于所述本體部的第四彎折部、由所述第四彎折部向遠(yuǎn)離所述耦合件延伸的第五彎折部、由所述第五彎折部向靠近所述第三彎折部延伸的第六彎折部；所述第六彎折部與所述第三彎折部間隔設(shè)置，所述折環(huán)部的一側(cè)與所述第三彎折部連接，另一側(cè)與所述第六彎折部連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS揚(yáng)聲器，其特征在于，所述質(zhì)量塊包括加強(qiáng)框架和加強(qiáng)骨架，所述加強(qiáng)骨架位于所述加強(qiáng)框架內(nèi)且與所述加強(qiáng)框架連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS揚(yáng)聲器，其特征在于，每個(gè)所述懸臂梁包括間隔設(shè)置的外懸臂梁與內(nèi)懸臂梁，所述連接部包括外連接部與內(nèi)連接部，每個(gè)所述外懸臂梁一端與所述本體部連接，另一端與所述外連接部連接，每個(gè)所述內(nèi)懸臂梁的一端與所述外連接部遠(yuǎn)離所述外懸臂梁一端連接，另一端與所述內(nèi)連接部連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS揚(yáng)聲器，其特征在于，所述質(zhì)量塊包括外質(zhì)量塊與內(nèi)質(zhì)量塊，所述外質(zhì)量塊與所述外連接部連接，所述內(nèi)質(zhì)量塊與所述內(nèi)連接部連接，所述外質(zhì)量塊與內(nèi)質(zhì)量塊間隔設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MEMS揚(yáng)聲器，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)器包括外驅(qū)動(dòng)器以及內(nèi)驅(qū)動(dòng)器，所述外驅(qū)動(dòng)器固定于對應(yīng)的所述外懸臂梁遠(yuǎn)離所述空腔的一側(cè)，所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)器固定于對應(yīng)的所述內(nèi)懸臂梁遠(yuǎn)離所述空腔的一側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的MEMS揚(yáng)聲器，其特征在于，所述振膜包括外振膜以及與所述外振膜連接的內(nèi)振膜，所述外振膜固定于所述本體部與所述外連接部，所述內(nèi)振膜固定于所述外連接部與所述內(nèi)連接部。