[發明專利]一種鉬鈦靶坯的制備工藝

在審

• 申請號: 202110997152.3
• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113718212A
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;李建
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/04;B22F3/15;B22F3/24;C22C27/04
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種鉬鈦靶坯的制備工藝，其特征在于，所述制備工藝包括如下步驟：

(1)將鉬粉和鈦粉混合得到混粉料，將所述混粉料進行冷等靜壓得到壓坯；

(2)將所述壓坯進行脫氫處理，得到脫氫壓坯；

(3)將所述脫氫壓坯進行包套脫氣處理和熱等靜壓處理，處理后的樣品經過機加工得到鉬鈦靶坯。

2.根據權利要求1所述的制備工藝，其特征在于，步驟(1)所述鉬粉和鈦粉的混料比為(5-9):1，優選為(5.2-8.8):1；

優選地，步驟(1)所述混合的操作方式包括機械混合；

優選地，步驟(1)所述混合加入保護氣；

優選地，所述保護氣包括氬氣；

優選地，所述保護氣的純度為≥5N，優選為5N；

優選地，所述混合的壓力為0.03-0.06MPa，優選為0.035-0.055MPa；

優選地，步驟(1)所述混合的時間為24-48小時，優選為30-42小時。

3.根據權利要求1或2所述的制備工藝，其特征在于，步驟(1)所述鉬粉的鉬含量為≥99.5％，優選為99.5％；

優選地，步驟(1)所述鈦粉的鈦含量為≥99.5％，優選為99.5％；

優選地，步驟(1)所述鈦粉的氫含量為≤300ppm，優選為≤200ppm；

優選地，步驟(1)所述鈦粉的粒度為30-60μm，優選為35-55μm；

優選地，步驟(1)所述鉬粉的粒度為8-20μm，優選為10-15μm。

4.根據權利要求1-3任一項所述的制備工藝，其特征在于，步驟(1)所述冷等靜壓的升壓方式包括依次進行的一次升壓和二次升壓；

優選地，所述一次升壓的壓制壓力為120-140MPa，優選為125-135MPa；

優選地，所述一次升壓的壓制時間為5-10分鐘，優選為6-8分鐘；

優選地，所述二次升壓的壓制壓力為140-160MPa，優選為145-155MPa；

優選地，所述二次升壓的壓制時間為10-20分鐘，優選為14-17分鐘；

優選地，所述二次升壓的壓制壓力大于所述一次升壓的壓制壓力。

5.根據權利要求1-4任一項所述的制備工藝，其特征在于，步驟(1)所述混粉料放入冷等靜壓模具中進行冷等靜壓；

優選地，所述冷等靜壓模具的材質包括橡膠或塑料；

優選地，所述混粉料放入冷等靜壓模具中壓實；

優選地，所述壓實后的混粉料密度為5-8g/cm³，優選為6-7g/cm³。

6.根據權利要求1-5任一項所述的制備工藝，其特征在于，步驟(2)所述脫氫處理在容器中進行；

優選地，所述容器包括真空爐；

優選地，步驟(2)所述脫氫處理在氬氣氣氛下進行；

優選地，所述氬氣的純度為≥4N，優選為4N；

優選地，步驟(2)所述脫氫處理的溫度為900-1200℃，優選為1000-1100℃；

優選地，步驟(2)所述脫氫處理的時間為60-150分鐘，優選為90-120分鐘；

優選地，步驟(2)所述脫氫處理的壓力為0.01-0.02MPa，優選為0.013-0.015MPa。

7.根據權利要求1-6任一項所述的制備工藝，其特征在于，步驟(3)所述包套脫氣處理包括將所述脫氫壓坯放置于包套中；

優選地，所述包套的材質包括碳鋼或不銹鋼。