[發(fā)明專利]套刻誤差的補(bǔ)償方法、補(bǔ)償裝置、光刻機(jī)及存儲介質(zhì)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110996234.6
• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113777893A
• 公開（公告）日: 2021-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曾健忠
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳天狼芯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414
• 代理人: 趙智博

1.一種套刻誤差的補(bǔ)償方法，晶圓上設(shè)置有N個對準(zhǔn)記號，N為大于1的整數(shù)，其特征在于，所述補(bǔ)償方法包括：

從N個所述對準(zhǔn)記號中，確定M個待插值記號組，M為大于零的整數(shù)，所述待插值記號組包括至少兩個對準(zhǔn)記號；

獲取N個所述對準(zhǔn)記號的套刻誤差；

對于第i個所述待插值記號組，第i個所述待插值記號組為M個所述待插值記號組中的任一所述待插值記號組，根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差；

根據(jù)N個所述對準(zhǔn)記號的套刻誤差和M個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差，對所述晶圓進(jìn)行誤差補(bǔ)償。

2.如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)償方法，其特征在于，所述對準(zhǔn)記號的套刻誤差包括所述對準(zhǔn)記號的套刻誤差的X分量和Y分量，套刻誤差的X分量是指套刻誤差在水平方向的分量，套刻誤差的Y分量是指套刻誤差在垂直方向的分量；根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差包括：

根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差的X分量，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的X分量；

根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差的Y分量，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的Y分量；

根據(jù)第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的X分量和Y分量，確定所述第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差。

3.如權(quán)利要求2所述的補(bǔ)償方法，其特征在于，在根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差之前，還包括：

獲取第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號分別與對應(yīng)的插值點(diǎn)的距離；

根據(jù)第i個所述待插值記號組中的第j個對準(zhǔn)記號與對應(yīng)的插值點(diǎn)的距離，確定第i個所述待插值記號組中的第j個對準(zhǔn)記號對應(yīng)的權(quán)重，第i個所述待插值記號組中的第j個對準(zhǔn)記號對應(yīng)的權(quán)重與第j個對準(zhǔn)記號與對應(yīng)的插值點(diǎn)的距離成反比，第i個所述待插值記號組中的第j個對準(zhǔn)記號為第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號中的任一對準(zhǔn)記號；

所述根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差的X分量，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的X分量包括：

根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差的X分量和對應(yīng)的權(quán)重，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的X分量；

所述根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差的Y分量，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的Y分量包括：

根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差的Y分量和對應(yīng)的權(quán)重，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的Y分量。

4.如權(quán)利要求3所述的補(bǔ)償方法，其特征在于，所述根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差的X分量和對應(yīng)的權(quán)重，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的X分量包括：

根據(jù)第一公式，計算第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的X分量；

其中，所述第一公式為Ax表示第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的X分量，q_j表示第i個所述待插值記號組中的第j個對準(zhǔn)記號對應(yīng)的權(quán)重，V_jx表示第i個所述待插值記號組中的第j個對準(zhǔn)記號的套刻誤差的X分量，H表示第i個所述待插值記號組中對準(zhǔn)記號的總數(shù)量；

所述根據(jù)第i個所述待插值記號組中的所有對準(zhǔn)記號的套刻誤差的Y分量和對應(yīng)的權(quán)重，確定第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的Y分量包括：

根據(jù)第二公式，計算第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的Y分量；

其中，所述第二公式為Ay表示第i個所述待插值記號組對應(yīng)的插值點(diǎn)的套刻誤差的Y分量，V_jy表示第i個所述待插值記號組中的第j個對準(zhǔn)記號的套刻誤差的Y分量。