[發(fā)明專利]晶圓搬運(yùn)裝置及晶圓搬運(yùn)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110996215.3
• 申請(qǐng)日: 2021-08-27
• 公開（公告）號(hào): CN113611646A
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳天堯;王昊;陳興隆;苗濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 上海恒銳佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31286
• 代理人: 黃海霞

本發(fā)明提供了一種晶圓搬運(yùn)裝置，包括第一支撐機(jī)構(gòu)和第二支撐機(jī)構(gòu)，所述第一支撐機(jī)構(gòu)和所述第二支撐機(jī)構(gòu)沿平移方向并排設(shè)置，所述第一支撐機(jī)構(gòu)和所述第二支撐機(jī)構(gòu)相對(duì)的兩個(gè)外側(cè)壁沿與所述平移方向垂直的伸縮方向均設(shè)置有取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)；第一取送機(jī)構(gòu)和第二取送機(jī)構(gòu)，分別活動(dòng)設(shè)置于所述第一支撐機(jī)構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)和所述第二支撐機(jī)構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)；所述第一取送機(jī)構(gòu)和所述第二取送機(jī)構(gòu)均包含末端執(zhí)行部，所述第一取送機(jī)構(gòu)的末端執(zhí)行部和所述第二取送機(jī)構(gòu)的末端執(zhí)行部沿升降方向相對(duì)設(shè)置，并朝向相反的方向，實(shí)現(xiàn)對(duì)兩個(gè)方向上的多片硅片進(jìn)行搬運(yùn)。本發(fā)明還提供了一種晶圓搬運(yùn)方法。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓搬運(yùn)裝置及晶圓搬運(yùn)方法。

背景技術(shù)

晶圓搬運(yùn)裝置可使晶圓在各個(gè)工位之間傳遞，是半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的核心運(yùn)動(dòng)部件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅猛發(fā)展，晶圓搬運(yùn)技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量。同時(shí)隨著光刻機(jī)產(chǎn)能的不斷提升，與其對(duì)接的涂膠顯影設(shè)備中的晶圓搬運(yùn)裝置的搬運(yùn)能力需要不斷提升、搬運(yùn)方式需要不斷優(yōu)化。

公告號(hào)為CN102763210B中國(guó)專利公開了一種能夠?qū)崿F(xiàn)雙向取送晶圓的處理系統(tǒng)。該系統(tǒng)用于取送晶圓的兩個(gè)滑動(dòng)叉上下布置，并一起設(shè)置在同一叉架上，一但叉架或下方滑動(dòng)叉出現(xiàn)故障需要維修或替換，另一個(gè)滑動(dòng)叉也需要進(jìn)行相應(yīng)的拆裝，延長(zhǎng)了設(shè)備的停機(jī)時(shí)間，不利于產(chǎn)能提高。

因此，有必要開發(fā)一種新型晶圓搬運(yùn)裝置及晶圓搬運(yùn)方法，以避免現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的第一目的在于提供一種晶圓搬運(yùn)裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)晶圓的雙向取送，且當(dāng)一個(gè)方向的取送機(jī)構(gòu)及其支撐機(jī)構(gòu)發(fā)生故障需要替換時(shí)，可以單獨(dú)替換，不受另一個(gè)方向上取送機(jī)構(gòu)及其支撐機(jī)構(gòu)的影響，有利于縮短維護(hù)時(shí)間，提高產(chǎn)能。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的晶圓搬運(yùn)裝置包括第一支撐機(jī)構(gòu)和第二支撐機(jī)構(gòu)，所述第一支撐機(jī)構(gòu)和所述第二支撐機(jī)構(gòu)沿平移方向并排設(shè)置，所述第一支撐機(jī)構(gòu)和所述第二支撐機(jī)構(gòu)相對(duì)的兩個(gè)外側(cè)壁沿與所述平移方向垂直的伸縮方向均設(shè)置有取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)；本發(fā)明提供的晶圓搬運(yùn)裝置還包括第一取送機(jī)構(gòu)和第二取送機(jī)構(gòu)，分別活動(dòng)設(shè)置于所述第一支撐機(jī)構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)和所述第二支撐機(jī)構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)；所述第一取送機(jī)構(gòu)和所述第二取送機(jī)構(gòu)均包含末端執(zhí)行部，所述第一取送機(jī)構(gòu)的末端執(zhí)行部和所述第二取送機(jī)構(gòu)的末端執(zhí)行部沿升降方向相對(duì)設(shè)置，并朝向相反的方向，所述升降方向垂直于所述平移方向和所述伸縮方向；本發(fā)明提供的晶圓搬運(yùn)裝置還包括取送驅(qū)動(dòng)部，所述取送驅(qū)動(dòng)部連接所述第一取送機(jī)構(gòu)和所述第二取送機(jī)構(gòu)，以帶動(dòng)所述第一取送機(jī)構(gòu)沿所述第一支撐機(jī)構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的設(shè)置方向運(yùn)動(dòng)，以及帶動(dòng)所述第二取送機(jī)構(gòu)沿所述第二支撐機(jī)構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的設(shè)置方向運(yùn)動(dòng)。

本發(fā)明的所述搬運(yùn)裝置的有益效果在于：所述第一支撐機(jī)構(gòu)和所述第二支撐機(jī)構(gòu)沿平移方向并排設(shè)置，所述第一取送機(jī)構(gòu)和所述第二取送機(jī)構(gòu)均包含末端執(zhí)行部，所述第一取送機(jī)構(gòu)的末端執(zhí)行部和所述第二取送機(jī)構(gòu)的末端執(zhí)行部沿升降方向相對(duì)設(shè)置，并朝向相反的方向，所述取送驅(qū)動(dòng)部連接所述第一取送機(jī)構(gòu)和所述第二取送機(jī)構(gòu)，以帶動(dòng)所述第一取送機(jī)構(gòu)沿所述第一支撐機(jī)構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的設(shè)置方向運(yùn)動(dòng)，以及帶動(dòng)所述第二取送機(jī)構(gòu)沿所述第二支撐機(jī)構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的設(shè)置方向運(yùn)動(dòng)，有利于在實(shí)現(xiàn)相反方向取送晶圓的基礎(chǔ)上，兩個(gè)取送機(jī)構(gòu)分別安裝在兩個(gè)支撐機(jī)構(gòu)上，當(dāng)一個(gè)方向的取送機(jī)構(gòu)及其支撐機(jī)構(gòu)發(fā)生故障需要替換時(shí)，可以單獨(dú)替換，不受另一個(gè)方向上取送機(jī)構(gòu)及其支撐機(jī)構(gòu)的影響，有利于縮短維護(hù)時(shí)間，提高產(chǎn)能。

優(yōu)選的，所述的晶圓搬運(yùn)裝置還包括平移驅(qū)動(dòng)部和沿所述平移方向設(shè)置的平移機(jī)構(gòu)；所述第一支撐機(jī)構(gòu)和所述第二支撐機(jī)構(gòu)滑動(dòng)設(shè)置于所述平移機(jī)構(gòu)的頂面；所述平移驅(qū)動(dòng)部連接所述第一支撐機(jī)構(gòu)和所述第二支撐機(jī)構(gòu)，以帶動(dòng)所述第一支撐機(jī)構(gòu)和所述第二支撐機(jī)構(gòu)沿所述平移方向運(yùn)動(dòng)。其有益效果在于：實(shí)現(xiàn)支撐機(jī)構(gòu)向目標(biāo)晶圓相對(duì)應(yīng)的取送位置在平移方向上的移動(dòng)。