[發(fā)明專利]晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法

在審

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• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113611646A
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳天堯;王昊;陳興隆;苗濤
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 上海恒銳佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31286
• 代理人: 黃海霞

1.一種晶圓搬運裝置，其特征在于，包括：

第一支撐機構(gòu)和第二支撐機構(gòu)，所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)沿平移方向并排設(shè)置，所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)相對的兩個外側(cè)壁沿與所述平移方向垂直的伸縮方向均設(shè)置有取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)；

第一取送機構(gòu)和第二取送機構(gòu)，分別活動設(shè)置于所述第一支撐機構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)；

所述第一取送機構(gòu)和所述第二取送機構(gòu)均包含末端執(zhí)行部，所述第一取送機構(gòu)的末端執(zhí)行部和所述第二取送機構(gòu)的末端執(zhí)行部沿升降方向相對設(shè)置，并朝向相反的方向，所述升降方向垂直于所述平移方向和所述伸縮方向；

取送驅(qū)動部，連接所述第一取送機構(gòu)和所述第二取送機構(gòu)，以帶動所述第一取送機構(gòu)沿所述第一支撐機構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的設(shè)置方向運動，以及帶動所述第二取送機構(gòu)沿所述第二支撐機構(gòu)的取送導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的設(shè)置方向運動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，還包括平移驅(qū)動部和沿所述平移方向設(shè)置的平移機構(gòu)；

所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)滑動設(shè)置于所述平移機構(gòu)的頂面；

所述平移驅(qū)動部連接所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)，以帶動所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)沿所述平移方向運動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，還包含相互連接的平移調(diào)整驅(qū)動部和平移調(diào)整機構(gòu)，所述平移調(diào)整機構(gòu)沿所述平移方向活動設(shè)置于所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)，并與所述平移機構(gòu)的側(cè)壁相對，以在所述平移調(diào)整驅(qū)動部的控制下調(diào)整所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)沿所述平移方向相對于所述平移機構(gòu)的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述平移調(diào)整機構(gòu)包含沿所述平移方向設(shè)置的兩個子平移調(diào)整機構(gòu)，每個所述子平移調(diào)整機構(gòu)分別沿所述平移方向活動設(shè)置于所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)，并均與所述平移機構(gòu)的側(cè)壁相對。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)沿所述平移方向之間具有間隙，以防止在運行過程中發(fā)生碰撞。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述平移調(diào)整機構(gòu)還包含與所述平移機構(gòu)的側(cè)壁相對設(shè)置的收容腔體，所述兩個子平移調(diào)整機構(gòu)活動設(shè)置于所述收容腔體內(nèi)，所述收容腔體朝向所述平移機構(gòu)的側(cè)壁，并與平移機構(gòu)側(cè)壁之間留有間隙。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述第一取送機構(gòu)的數(shù)目至少為2，至少2個所述第一取送機構(gòu)的所有末端執(zhí)行部沿所述升降方向順次設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述取送驅(qū)動部包括與至少2個所述第一取送機構(gòu)一一對應(yīng)連接的若干子取送驅(qū)動部，以實現(xiàn)對每個所述第一取送機構(gòu)的獨立控制。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述第二取送機構(gòu)的數(shù)目至少為2，至少2個所述第二取送機構(gòu)的所有末端執(zhí)行部沿所述升降方向順次設(shè)置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述取送驅(qū)動部包括與至少2個所述第二取送機構(gòu)一一對應(yīng)連接的若干子取送驅(qū)動部，以實現(xiàn)對每個所述第二取送機構(gòu)的獨立控制。

11.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，還包含升降驅(qū)動部以及沿所述升降方向設(shè)置的升降機構(gòu)；

所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)滑動設(shè)置于所述升降機構(gòu)的側(cè)面；

所述升降驅(qū)動部連接所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)，以帶動所述第一支撐機構(gòu)和所述第二支撐機構(gòu)沿所述升降方向進行運動。