[發明專利]一種硅基微顯示器及其制備方法

有效

• 申請號: 202110995493.7
• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113611730B
• 公開（公告）日: 2023-10-27
• 發明（設計）人: 王衛衛;周文斌;馮峰;范國振;徐超;曹云嶺;張峰;孫劍;高裕弟
• 申請（專利權）人: 昆山夢顯電子科技有限公司
• 主分類號: H10K59/12
• 分類號: H10K59/12;H10K59/35;H10K71/00
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 范坤坤

本發明公開了一種硅基微顯示器及其制備方法，制備方法包括：提供驅動背板；在驅動背板的一側依次形成第一電極層、第一功能層、白光發光層、第二功能層和第二電極層；其中，第一功能層和第二功能層中的至少一層包括通過多次錯位蒸鍍方式形成的厚度不完全相同的微腔調節層；不同厚度的微腔調節層用于增強白光發光層發射的白光中不同顏色的光。通過在掩膜版的作用下，采用多次錯位蒸鍍的方式，實現形成厚度不完全相同的微腔調節層，使得可以實現紅色子像素、綠色子像素、藍色子像素對應的微腔厚度不一致。保證了RGB對應的子像素點發光時，白光光譜峰值最大時分別對應RGB的峰位，最終實現硅基微顯示器的亮度提升，改善了亮度提升困難的問題。

技術領域

本發明實施例涉及顯示技術領域，尤其涉及一種硅基微顯示器及其制備方法。

背景技術

隨著國內面板行業的蓬勃發展及半導體技術的日新月異，基于面板結合半導體技術的硅基微顯示技術也在飛速發展。

目前，硅基微顯示器受限于掩膜版制作精度和開口大小的限制，主要采用白光發光層結合彩色濾光片結構實現彩色化，但是，白光發光層發出的光經過彩色濾光片之后顯示器亮度損失較大，導致了硅基微顯示產品亮度降低；另外，由于紅綠藍三種顏色的光對應不同厚度的光學微腔，而單一光學厚度的頂發射結構的白色有機電致發光器件(Whiteorganic light-emitting device，WOLED)無法分別最大化紅、綠、藍三種顏色光的強度，因此，還存在亮度提升困難的問題。

發明內容

本發明實施例提供了一種硅基微顯示器及其制備方法，以提升硅基微顯示器的亮度，改善亮度提升困難的問題。

第一方面，本發明實施例提供了一種硅基微顯示器的制備方法，包括：

提供驅動背板；

在驅動背板的一側依次形成第一電極層、第一功能層、白光發光層、第二功能層和第二電極層；

其中，所述第一功能層和所述第二功能層中的至少一層包括通過多次錯位蒸鍍方式形成的厚度不完全相同的微腔調節層；不同厚度的微腔調節層用于增強所述白光發光層發射的白光中不同顏色的光。

可選的，所述微腔調節層包括厚度不同的第一微腔調節層、第二微腔調節層和第三微腔調節層；所述第一微腔調節層用于增強所述白光發光層發射的白光中的藍光；所述第二微腔調節層用于增強所述白光發光層發射的白光中的綠光；所述第三微腔調節層用于增強所述白光發光層發射的白光中的紅光；

所述通過多次錯位蒸鍍方式形成的厚度不完全相同的微腔調節層，包括：

基于第一掩膜版，在所述第一電極層遠離所述驅動背板的一側形成第一微腔材料層；

相對于所述第一微腔材料層，基于所述第一掩膜版錯位一個子像素長度蒸鍍第二微腔材料層；所述第二微腔材料層位于所述第一微腔材料層遠離所述驅動背板的一側；

相對于所述第二微腔材料層，基于所述第一掩膜版錯位一個子像素長度蒸鍍第三微腔材料層；所述第三微腔材料層位于所述第二微腔材料層遠離所述驅動背板的一側；

其中，單獨形成第一微腔材料層的位置以及單獨形成第三微腔材料層的位置對應形成所述第一微腔調節層，層疊形成第一微腔材料層和第二微腔材料層的位置以及層疊形成第三微腔材料層和第二微腔材料層的位置對應形成所述第二微腔調節層；層疊形成第一微腔材料層、第二微腔材料層和第三微腔材料層的位置對應形成所述第三微腔調節層。

可選的，所述第一微腔材料層的厚度等于所述第三微腔材料層的厚度；

沿錯位蒸鍍的方向上，三次蒸鍍工藝后形成依次排列的第一微腔調節層、第二微腔調節層、第三微腔調節層、第三微腔調節層、第二微腔調節層和第一微腔調節層。

可選的，所述白光發光層包括層疊設置的藍色發光材料層、綠色發光材料層和紅色發光材料層；