[發明專利]一種晶圓勻膠顯影裝置

在審

• 申請號: 202110994779.3
• 申請日: 2021-08-27
• 公開（公告）號: CN113721425A
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發明（設計）人: 汪鋼;袁創迪
• 申請（專利權）人: 寧波潤華全芯微電子設備有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G03F7/26
• 代理公司: 浙江中桓凱通專利代理有限公司 33376
• 代理人: 劉瀟

本發明公開了一種晶圓勻膠顯影裝置，所述晶圓勻膠顯影裝置包括：固定板；晶圓勻膠顯影單元，所述晶圓勻膠顯影單元設于所述固定板；支架，所述支架設有至少一個安裝開口；其中，所述固定板與所述支架滑動連接，所述晶圓勻膠顯影單元能夠隨所述固定板從所述安裝開口滑出或裝入所述支架。本發明有效解決晶圓勻膠顯影單元不便于更換和維修的問題。

技術領域

本發明涉及半導體行業晶圓領域，尤其涉及一種晶圓勻膠顯影裝置。

背景技術

目前，在光刻膠顯影工藝中，光刻膠涂布至基板后進行曝光顯影，形成線路。現有的晶圓勻膠顯影裝置為固定式結構，無法快速拆裝，因此不便于觀察觀察單元內各部件情況，或清理、維修晶圓勻膠顯影裝置的內部結構。

發明內容

因此，本發明實施例提供一種晶圓勻膠顯影裝置，有效解決晶圓勻膠顯影單元不便于更換和維修的問題。

本發明實施例提供的一種晶圓勻膠顯影裝置，所述晶圓勻膠顯影裝置，包括：固定板；晶圓勻膠顯影單元，所述晶圓勻膠顯影單元設于所述固定板；支架，所述支架設有至少一個安裝開口；其中，所述固定板與所述支架滑動連接，所述晶圓勻膠顯影單元能夠隨所述固定板從所述安裝開口滑出或裝入所述支架。

與現有技術相比，采用該技術方案后所達到的技術效果：所述晶圓勻膠顯影單元安裝于所述固定板上，便于清晰地觀察各部件的情況；所述晶圓勻膠顯影單元隨所述固定板滑出或裝入，便于技術人員進行模塊化組裝和更換，使得所述晶圓勻膠顯影單元的管路系統和排風系統更加集中、簡潔，便于維修。

在本發明的一個實施例中，所述支架包括兩個側支撐架和滑動組件，兩個所述側支撐架設于所述固定板相對的兩側，所述側支撐架通過所述滑動組件與所述固定板連接。

采用該技術方案后所達到的技術效果：所述側支撐架通過所述滑動組件實現對所述固定板的支撐作用，實現所述固定板的穩定滑動。

在本發明的一個實施例中，所述滑動組件包括：滑動連接的第一滑動件和第二滑動件；所述側支撐架與所述第一滑動件連接；所述固定板與所述第二滑動件連接。

在本發明的一個實施例中，所述第一滑動件設有第一支撐部，所述第一支撐部位于所述第一滑動件遠離所述第二滑動件的一側；所述側支撐架包括第一底梁，所述第一支撐部設于所述第一底梁上方。

采用該技術方案后所達到的技術效果：所述滑動組件、所述固定板和所述晶圓勻膠顯影單元通過所述第一支撐部架設于相對的兩個所述第一底梁上，從而合理分配重量，提高所述固定板的承重能力，相比所述滑動組件直接固定于所述第一底梁的側面更加穩定；并且晶圓勻膠顯影裝置處于半懸掛狀態，便于技術人員對所述晶圓勻膠顯影裝置進行操作。

在本發明的一個實施例中，所述第二滑動件設有第二支撐部，所述第二支撐部位于所述第二滑動件遠離所述第一滑動件的一側；所述固定板設于所述第二支撐部上方。

采用該技術方案后所達到的技術效果：所述第二滑動件對所述固定板起到支撐作用，將所述固定板和所述晶圓勻膠顯影單元的重量分配至兩側，提高所述固定板和所述滑動組件的連接穩定性。

在本發明的一個實施例中，所述晶圓勻膠顯影裝置還包括：鎖定組件，設于所述晶圓勻膠顯影單元和所述側支撐架之間；其中，所述鎖定組件包括第一鎖定件，所述第一鎖定件連接所述晶圓勻膠顯影單元或連接所述固定板，所述第一鎖定件向所述側支撐架延伸，能夠阻礙所述固定板相對所述側支撐架滑動。

采用該技術方案后所達到的技術效果：在所述晶圓勻膠顯影單元裝入所述支架時，所述第一鎖定件向所述側支撐架延伸直到部分重合，能夠起到限位的作用，防止所述晶圓勻膠顯影單元滑出所述安裝開口；并且，所述第一鎖定件對所述晶圓勻膠顯影單元起到定位的作用，使所述晶圓勻膠顯影單元能夠高精度復位至目標位置，并提高所述晶圓勻膠顯影單元的精度，節省手動復位的時間。