[發(fā)明專利]一種晶圓勻膠顯影裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110994779.3
• 申請(qǐng)日: 2021-08-27
• 公開（公告）號(hào): CN113721425A
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪鋼;袁創(chuàng)迪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16;G03F7/26
• 代理公司: 浙江中桓凱通專利代理有限公司 33376
• 代理人: 劉瀟

1.一種晶圓勻膠顯影裝置，其特征在于，包括：

固定板；

晶圓勻膠顯影單元，所述晶圓勻膠顯影單元設(shè)于所述固定板；

支架，所述支架設(shè)有至少一個(gè)安裝開口；

其中，所述固定板與所述支架滑動(dòng)連接，所述晶圓勻膠顯影單元能夠隨所述固定板從所述安裝開口滑出或裝入所述支架。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓勻膠顯影裝置，其特征在于，所述支架包括兩個(gè)側(cè)支撐架和滑動(dòng)組件，兩個(gè)所述側(cè)支撐架設(shè)于所述固定板相對(duì)的兩側(cè)，所述側(cè)支撐架通過所述滑動(dòng)組件與所述固定板連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓勻膠顯影裝置，其特征在于，所述滑動(dòng)組件包括：滑動(dòng)連接的第一滑動(dòng)件和第二滑動(dòng)件；

所述側(cè)支撐架與所述第一滑動(dòng)件連接；

所述固定板與所述第二滑動(dòng)件連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓勻膠顯影裝置，其特征在于，所述第一滑動(dòng)件設(shè)有第一支撐部，所述第一支撐部位于所述第一滑動(dòng)件遠(yuǎn)離所述第二滑動(dòng)件的一側(cè)；

所述側(cè)支撐架包括第一底梁，所述第一支撐部設(shè)于所述第一底梁上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓勻膠顯影裝置，其特征在于，所述第二滑動(dòng)件設(shè)有第二支撐部，所述第二支撐部位于所述第二滑動(dòng)件遠(yuǎn)離所述第一滑動(dòng)件的一側(cè)；

所述固定板設(shè)于所述第二支撐部上方。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓勻膠顯影裝置，其特征在于，所述晶圓勻膠顯影裝置還包括：鎖定組件，設(shè)于所述晶圓勻膠顯影單元和所述側(cè)支撐架之間；

其中，所述鎖定組件包括第一鎖定件，所述第一鎖定件連接所述晶圓勻膠顯影單元或連接所述固定板，所述第一鎖定件向所述側(cè)支撐架延伸，能夠阻礙所述固定板相對(duì)所述側(cè)支撐架滑動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓勻膠顯影裝置，其特征在于，所述鎖定組件還包括第二鎖定件，所述第二鎖定件連接所述側(cè)支撐架，所述第二鎖定件與所述第一鎖定件在所述固定板的滑動(dòng)方向上部分重疊，所述第二鎖定件與所述第一鎖定件可拆卸連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓勻膠顯影裝置，其特征在于，在所述固定板的滑動(dòng)方向上，所述第一鎖定件與所述側(cè)支撐架部分重疊，所述第一鎖定件與所述側(cè)支撐架可拆卸連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的晶圓勻膠顯影裝置，其特征在于，所述晶圓勻膠顯影裝置還包括定位組件，所述定位組件包括相互配合的第一定位塊和第二定位塊；

其中，所述第一定位塊連接所述固定板遠(yuǎn)離所述安裝開口的一側(cè)，所述第二定位塊連接所述支架。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓勻膠顯影裝置，其特征在于，所述定位組件還包括：銷軸，所述銷軸的軸線與所述固定板的滑動(dòng)方向平行；

其中，所述銷軸固定于所述第一定位塊和所述第二定位塊的其中一個(gè)上，并與所述第一定位塊和所述第二定位塊的另一個(gè)插接，或通過緊固件鎖定。