[發明專利]一種掩膜板結構及其制備方法

在審

• 申請號: 202110993039.8
• 申請日: 2021-08-25
• 公開（公告）號: CN113502450A
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 沈志昇
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 福州君誠知識產權代理有限公司 35211
• 代理人: 戴雨君

本發明公開一種掩膜板結構及其制備方法，其包括掩膜板主體，所述的掩膜板主體上嵌設有金屬部件，所述掩膜板主體采用陶瓷或大理石成型，掩膜板主體上對應各金屬部件分別設有安裝槽，安裝槽至少一端為敞口，所述金屬部件的橫截面形狀與安裝槽的橫截面形狀相適配且均為上小下大的形狀，金屬部件由安裝槽的敞口滑入并嵌設于安裝槽內，且金屬部件連接有限制其在安裝槽內橫移的限位件。本發明能夠提高金屬掩膜板的抗形變能力并確保開孔位置的精度。

技術領域

本發明涉及掩膜板領域，尤其涉及一種掩膜板結構及其制備方法。

背景技術

OLED顯示面板具有厚度薄，功耗低，可彎曲及柔性顯示等優勢，近年來成為下一代面板顯示器的發展趨勢。

現有的 OLED面板是在真空環境下利用蒸發源將有機材料加熱后蒸發，有機材料透過金屬掩膜板上開孔位置定義玻璃上形成薄膜位置，成膜位置需是基板上被指定的發光位置，基板的電流才能有效傳入OLED器件發光，所以金屬掩膜板開孔位置的精度極為重要。而金屬掩膜板上開孔位置的精準度（一般手機屏幕的位置精度為＋/- 3μm），主要取決于金屬掩膜板的組裝精度和金屬掩膜片（一般一塊掩膜板由6～8掩膜板片組成）的開孔精度。金屬掩膜板組裝時需要經歷“上掩膜板框/上掩膜片/拉伸膜片/對位/將掩膜片焊于掩膜板框”的重復動作，將金屬掩膜片一片一片組裝上；但當將拉伸的掩膜片被焊于掩膜板框時同時也發生拉力被轉移至金屬掩膜板框上的情況，亦導致金屬掩膜板框受力形變，從而導致金屬掩膜板片上開孔位置向金屬掩膜框的中心位置偏移，因此，如何解決金屬掩膜框的受力形變是OLED金屬掩膜板張網的難題。

一般金屬掩膜框材質為Invar36，采用該材質主要是因為其具有低熱膨脹系數，在蒸鍍工藝過程中，張網后的金屬掩膜板不會受溫度影響導致膨脹，從而保證了開孔位置的精度，且金屬材質便于金屬掩膜片與金屬掩膜框之間的焊接，保證其牢固性，但Invar36也有其缺點，該材質強度較小，易受力影響產生形變。

發明內容

為了克服現有技術中的不足之處，本發明提出一種能夠提高金屬掩膜板的抗形變能力并確保開孔位置的精度的掩膜板結構及其制備方法。

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種掩膜板結構，其包括掩膜板主體，所述的掩膜板主體上嵌設有金屬部件，所述掩膜板主體采用陶瓷或大理石成型，掩膜板主體上對應各金屬部件分別設有安裝槽，安裝槽至少一端為敞口，所述金屬部件的橫截面形狀與安裝槽的橫截面形狀相適配且均為上小下大的形狀，金屬部件由安裝槽的敞口滑入并嵌設于安裝槽內，且金屬部件連接有限制其在安裝槽內橫移的限位件。

進一步的，所述限位件為限位螺絲，所述金屬部件的側部上開有限位螺紋孔，所述掩膜板主體對應限位螺紋孔位置設有同軸設置的通孔，所述限位螺絲穿過掩膜板主體上的通孔后與金屬部件上的限位螺紋孔螺紋連接。

進一步的，所述金屬部件由Invar36材質成型。

進一步的，所述金屬部件位于安裝槽敞口的一端面上開有螺紋抽拉孔，該螺紋抽拉孔用于與抽拉工具螺紋連接，以將金屬部件從對應的安裝槽中取出。

本發明一種掩膜板結構的制備方法，其包括以下步驟：

1）根據設計要求，采用陶瓷或大理石制造掩膜板主體；

2）根據設計要求，采用Invar36制造金屬部件；

3）根據金屬部件的形狀與構造，在掩膜板主體上進行開槽，得到用于安裝金屬部件的安裝槽，同時在掩膜板主體上鉆出限位件穿過的通孔；

4）在金屬部件上鉆出限位螺紋孔和螺紋抽拉孔；

5）將金屬部件安裝入掩膜板主體對應的安裝槽中，然后用限位件鎖緊固定。

本發明采用以上技術方案，具有以下技術效果：