[發明專利]一種掩膜板結構及其制備方法

在審

• 申請號: 202110993039.8
• 申請日: 2021-08-25
• 公開（公告）號: CN113502450A
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 沈志昇
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 福州君誠知識產權代理有限公司 35211
• 代理人: 戴雨君

1.一種掩膜板結構，其包括掩膜板主體，所述的掩膜板主體上嵌設有金屬部件，其特征在于：所述掩膜板主體采用陶瓷或大理石成型，掩膜板主體上對應各金屬部件分別設有安裝槽，安裝槽至少一端為敞口，所述金屬部件的橫截面形狀與安裝槽的橫截面形狀相適配且均為上小下大的形狀，金屬部件由安裝槽的敞口滑入并嵌設于安裝槽內，且金屬部件連接有限制其在安裝槽內橫移的限位件。

2.根據權利要求1所述的一種掩膜板結構，其特征在于：所述限位件為限位螺絲，所述金屬部件的側部上開有限位螺紋孔，所述掩膜板主體對應限位螺紋孔位置設有同軸設置的通孔，所述限位螺絲穿過掩膜板主體上的通孔后與金屬部件上的限位螺紋孔螺紋連接。

3.根據權利要求1所述的一種掩膜板結構，其特征在于：所述金屬部件由Invar36材質成型。

4.根據權利要求1所述的一種掩膜板結構，其特征在于：所述金屬部件位于安裝槽敞口的一端面上開有螺紋抽拉孔，該螺紋抽拉孔用于與抽拉工具螺紋連接，以將金屬部件從對應的安裝槽中取出。

5.采用權利要求1-4任一項所述的一種掩膜板結構的制備方法，其特征在于：其包括以下步驟：

1）根據設計要求，采用陶瓷或大理石制造掩膜板主體；

2）根據設計要求，采用Invar36制造金屬部件；

3）根據金屬部件的形狀與構造，在掩膜板主體上進行開槽，得到用于安裝金屬部件的安裝槽，同時在掩膜板主體上鉆出限位件穿過的通孔；

4）在金屬部件上鉆出限位螺紋孔和螺紋抽拉孔；

5）將金屬部件安裝入掩膜板主體對應的安裝槽中，然后用限位件鎖緊固定。