[發明專利]一種聲波器件及其制備方法

在審

• 申請號: 202110987489.6
• 申請日: 2021-08-26
• 公開（公告）號: CN113676149A
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發明（設計）人: 歐欣;鄭鵬程;房曉麗;張師斌;吳進波
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H3/02
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;賈允

本發明涉及微電子器件技術領域，本發明公開了一種聲波器件及其制備方法。該聲波器件包括由下至上依次層疊的支撐襯底、壓電薄膜和叉指電極結構；該支撐襯底上設有能量反射結構；該叉指電極包括第一匯流條、第二匯流條、第一叉指電極和第二叉指電極；該第一叉指電極包括第一圓弧段；該第一圓弧段的一端與該第一匯流條連接；該第二叉指電極包括第二圓弧段；該第二圓弧段的第一端與該第二匯流條連接；該第一圓弧段與該第二圓弧段共圓心。從而使得該聲波器件在有效獲得高階蘭姆波的模式的基礎上，抑制其他雜散模式。

技術領域

本發明涉及微電子器件技術領域，特別涉及一種聲波器件及其制備方法。

背景技術

隨著移動通信技術的發展，5G時代所使用的電磁波頻段將繼續向著高頻、大帶寬發展。

聲波諧振器是聲波濾波器的基本單元，現有技術中的聲波器件，能夠利用壓電薄板中具有較高聲速和較大機電耦合系數的板波模式，可制備高頻大帶寬的聲學濾波器，因此受到了廣泛關注。但現有技術中的聲波器件仍存在雜散模式(例如零階水平剪切波、零階對稱型蘭姆波)響應大，進而影響主模式(例如，一階反對稱型蘭姆波)，造成無法更好地實現目標聲學模式。

發明內容

本發明要解決的是現有技術中的聲波器件的雜散模式響應大的技術問題。

為解決上述技術問題，本申請在一方面公開了一種聲波器件，其包括由下至上依次層疊的支撐襯底、壓電薄膜和叉指電極結構；

該支撐襯底上設有能量反射結構；

該叉指電極包括第一匯流條、第二匯流條、第一叉指電極和第二叉指電極；

該第一叉指電極包括第一圓弧段；該第一圓弧段的一端與該第一匯流條連接；

該第二叉指電極包括第二圓弧段；該第二圓弧段的第一端與該第二匯流條連接；

該第一圓弧段與該第二圓弧段共圓心。

可選的，該第一叉指電極包括至少兩個間隔設置的上叉指電極；該上叉指電極包括該第一圓弧段；

該第二叉指電極包括至少兩個間隔設置的下叉指電極；該下叉指電極包括該第二圓弧段；

相鄰的兩個該上叉指電極之間置有一個該下叉指電極；

相鄰的該上叉指電極與該下叉指電極之間的距離相等。

可選的，該上叉指電極還包括與該第一圓弧段連接的第三圓弧段；

該下叉指電極還包括與該第二圓弧段連接的第四圓弧段；

該第三圓弧段與該第四圓弧段共圓心；

該第三圓弧段與該第四圓弧段之間的距離相等。

可選的，該上叉指電極還包括第一直線段和第二直線段；

該第一直線段、該第一圓弧段、該第三圓弧段和該第二直線段依次連接；該第一直線段的端部與該第一匯流條連接；

該下叉指電極還包括第三直線段和第四直線段；

該第三直線段、該第四圓弧段、該第二圓弧段和該第四直線段依次連接；該第三直線段與該第二匯流條連接；

相鄰的該第一直線段與該第四直線段之間的距離相等，相鄰的該第二直線段與該第三直線段之間的距離相等。

可選的，能量反射結構為設于所述支撐襯底上的孔。

可選的，該孔為埋孔；

該埋孔的開口朝向該壓電薄膜；或者，該埋孔的開口朝向為遠離該壓電薄膜的方向。

可選的，該孔為通孔；