[發(fā)明專利]一種聲波器件及其制備方法

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• 申請日: 2021-08-26
• 公開（公告）號: CN113676149A
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發(fā)明（設計）人: 歐欣;鄭鵬程;房曉麗;張師斌;吳進波
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H3/02
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;賈允

1.一種聲波器件，其特征在于，包括由下至上依次層疊的支撐襯底(1)、壓電薄膜(3)和叉指電極結構(4)；

所述支撐襯底(1)上設有能量反射結構(2)；

所述叉指電極包括第一匯流條(41)、第二匯流條(43)、第一叉指電極(42)和第二叉指電極(44)；

所述第一叉指電極(42)包括第一圓弧段(451)；所述第一圓弧段(451)的一端與所述第一匯流條(41)連接；

所述第二叉指電極(44)包括第二圓弧段(461)；所述第二圓弧段(461)的第一端與所述第二匯流條(43)連接；

所述第一圓弧段(451)與所述第二圓弧段(461)共圓心。

2.根據(jù)權利要求1所述的聲波器件，其特征在于，所述第一叉指電極(42)包括至少兩個間隔設置的上叉指電極(45)；所述上叉指電極(45)包括所述第一圓弧段(451)；

所述第二叉指電極(44)包括至少兩個間隔設置的下叉指電極(46)；所述下叉指電極(46)包括所述第二圓弧段(461)；

相鄰的兩個所述上叉指電極(45)之間置有一個所述下叉指電極(46)；

相鄰的所述上叉指電極(45)與所述下叉指電極(46)之間的距離相等。

3.根據(jù)權利要求2所述的聲波器件，其特征在于，所述上叉指電極(45)還包括與所述第一圓弧段(451)連接的第三圓弧段(452)；

所述下叉指電極(46)還包括與所述第二圓弧段(461)連接的第四圓弧段(462)；

所述第三圓弧段(452)與所述第四圓弧段(462)共圓心；

所述第三圓弧段(452)與所述第四圓弧段(462)之間的距離相等。

4.根據(jù)權利要求3所述的聲波器件，其特征在于，所述上叉指電極(45)還包括第一直線段(453)和第二直線段(454)；

所述第一直線段(453)、所述第一圓弧段(451)、所述第三圓弧段(452)和所述第二直線段(454)依次連接；所述第一直線段(453)的端部與所述第一匯流條(41)連接；

所述下叉指電極(46)還包括第三直線段(463)和第四直線段(464)；

所述第三直線段(463)、所述第四圓弧段(462)、所述第二圓弧段(461)和所述第四直線段(464)依次連接；所述第三直線段(463)與所述第二匯流條(43)連接；

相鄰的所述第一直線段(453)與所述第四直線段(464)之間的距離相等，相鄰的所述第二直線段(454)與所述第三直線段(463)之間的距離相等。

5.根據(jù)權利要求1所述的聲波器件，其特征在于，所述能量反射結構(2)為設于所述支撐襯底(1)上的孔。

6.根據(jù)權利要求5所述的聲波器件，其特征在于，所述孔為埋孔；

所述埋孔的開口朝向所述壓電薄膜(3)；且所述壓電薄膜(3)上設有刻蝕通孔(5)；或者，所述埋孔的開口朝向為遠離所述壓電薄膜(3)的方向。

7.根據(jù)權利要求5所述的聲波器件，其特征在于，所述孔為通孔；

所述通孔與所述叉指電極結構(4)相對應，以使所述叉指電極結構(4)對應的所述壓電薄膜(3)的區(qū)域懸空。

8.根據(jù)權利要求1所述的聲波器件，其特征在于，所述能量反射結構(2)為布拉格反射層，且位于所述支撐襯底(1)和所述壓電薄膜(3)之間；

所述布拉格反射層包括交替層疊的低聲阻抗層(21)和高聲阻抗層(22)。

9.根據(jù)權利要求6所述的聲波器件，其特征在于，還包括介質(zhì)層；

所述介質(zhì)層位于所述支撐襯底(1)與所述壓電薄膜(3)之間，或者，所述介質(zhì)層位于所述叉指電極結構(4)上。

10.根據(jù)權利要求1所述的聲波器件，其特征在于，所述壓電薄膜(3)的晶體切型為Z切；

所述壓電薄膜(3)的材料包括鈮酸鋰或者鉭酸鋰。

11.一種聲波器件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供一壓電薄膜(3)結構；由下至上依次層疊的支撐襯底(1)、壓電薄膜(3)和叉指電極結構(4)；所述支撐襯底(1)上設有能量反射結構(2)；

在所述壓電薄膜(3)上制備叉指電極結構(4)，得到所述聲波器件，所述叉指電極包括第一匯流條(41)、第二匯流條(43)、第一叉指電極(42)和第二叉指電極(44)；所述第一叉指電極(42)包括第一圓弧段(451)；所述第一圓弧段(451)的一端與所述第一匯流條(41)連接；所述第二叉指電極(44)包括第二圓弧段(461)；所述第二圓弧段(461)的第一端與所述第二匯流條(43)連接；所述第一圓弧段(451)與所述第二圓弧段(461)共圓心；且所述第一圓弧段(451)與所述第二圓弧段(461)之間的距離相等。