[發(fā)明專利]描畫裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110987294.1
• 申請(qǐng)日: 2021-08-26
• 公開（公告）號(hào): CN114253085A
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藤田雄也;原望;福田浩士;早川直人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社斯庫林集團(tuán)
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;向勇

1.一種描畫裝置，對(duì)基板進(jìn)行描畫，其中，具備：

圖案描畫部，對(duì)在下方水平移動(dòng)的基板的上側(cè)主面照射光來描畫圖案；

第一基板保持部；

第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在所述圖案描畫部的下方在基板移動(dòng)方向上水平移動(dòng)所述第一基板保持部；

第二基板保持部，與所述第一基板保持部相鄰地配置；

第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在與所述基板移動(dòng)方向交叉的方向上與所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)并排配置，在所述圖案描畫部的下方在所述基板移動(dòng)方向上水平移動(dòng)所述第二基板保持部；

框架，支撐所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)；

配重，在與所述基板移動(dòng)方向交叉的配重移動(dòng)方向上可移動(dòng)地安裝于所述框架；

配重移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在所述配重移動(dòng)方向上移動(dòng)所述配重；以及

配重移動(dòng)控制部，基于所述基板移動(dòng)方向上的所述第一基板保持部和所述第二基板保持部的位置控制所述配重移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使得所述配重配置于抑制因所述第一基板保持部和所述第二基板保持部的重量導(dǎo)致的所述框架的變形的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的描畫裝置，其中，

所述配重移動(dòng)方向與所述基板移動(dòng)方向垂直。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的描畫裝置，其中，

所述配重的重心在上下方向上位于比所述第一基板保持部的上表面和所述第二基板保持部的上表面更靠下側(cè)的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的描畫裝置，其中，

所述配重的上端在上下方向上位于比所述第一基板保持部的所述上表面和所述第二基板保持部的所述上表面更靠下側(cè)的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的描畫裝置，其中，

所述框架具備機(jī)架部，所述機(jī)架部橫跨所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)并且支撐所述圖案描畫部，

所述機(jī)架部從所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述基板移動(dòng)方向上的中央部的上方向所述基板移動(dòng)方向的一側(cè)延伸，

所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)從所述機(jī)架部向所述基板移動(dòng)方向的另一側(cè)突出，

所述配重相對(duì)于所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)在所述基板移動(dòng)方向的另一側(cè)相鄰地配置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的描畫裝置，其中，

所述框架的剛性按照所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述基板移動(dòng)方向上的一側(cè)的端部、中央部和另一側(cè)的端部的順序變低，

所述配重相對(duì)于所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)在所述基板移動(dòng)方向的所述另一側(cè)相鄰地配置，

在所述第一基板保持部位于由所述圖案描畫部進(jìn)行描畫的位置的狀態(tài)下，在所述第二基板保持部位于所述基板移動(dòng)方向上的所述一側(cè)的端部時(shí)，所述配重位于所述配重移動(dòng)方向上的所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的中央的基準(zhǔn)位置，在所述第二基板保持部位于所述基板移動(dòng)方向上的所述中央部時(shí)，所述配重位于比所述基準(zhǔn)位置更靠所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)的第一位置，在所述第二基板保持部位于所述基板移動(dòng)方向上的所述另一側(cè)的端部時(shí)，所述配重位于比所述第一位置更靠所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)的第二位置，

在所述第二基板保持部位于由所述圖案描畫部進(jìn)行描畫的位置的狀態(tài)下，在所述第一基板保持部位于所述基板移動(dòng)方向上的所述一側(cè)的端部時(shí)，所述配重位于所述基準(zhǔn)位置，在所述第一基板保持部位于所述基板移動(dòng)方向上的所述中央部時(shí)，所述配重位于比所述基準(zhǔn)位置更靠所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的第三位置，在所述第一基板保持部位于所述基板移動(dòng)方向上的所述另一側(cè)的端部時(shí)，所述配重位于比所述第三位置更靠所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的第四位置。