[發(fā)明專利]一種銅鈀銀合金鍵合引線及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110986678.1
• 申請日: 2021-08-26
• 公開（公告）號: CN113699408B
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發(fā)明（設計）人: 彭庶瑤;彭曉飛
• 申請（專利權(quán)）人: 江西藍微電子科技有限公司
• 主分類號: C22C9/00
• 分類號: C22C9/00;C21D9/52;C22C1/02;C22F1/02;C22F1/08;C25D3/50;C25D7/06;H01L23/49;H01L21/48
• 代理公司: 東莞市神州眾達專利商標事務所(普通合伙) 44251
• 代理人: 周松強

1.一種銅鈀銀合金鍵合引線制備方法，所述銅鈀銀合金鍵合引線包括引線本體，所述引線本體表面設置有鍍鈀保護層，所述引線本體直徑為0.015毫米－0.05毫米，所述鍍鈀保護層厚度為0.2微米－0.6微米，其特征在于：所述方法使用銅鈀銀合金鍵合引線制備設備實現(xiàn)，所述銅鈀銀合金鍵合引線制備設備包括設備臺(1)，所述設備臺(1)頂部左側(cè)固定設置有爐體組件(2)，所述爐體組件(2)頂部左側(cè)固定設置有驅(qū)動機構(gòu)(3)，所述爐體組件(2)中的延伸爐體(22)內(nèi)部設置有儲料機構(gòu)(4)，所述儲料機構(gòu)(4)豎直方向上可升降的設置在驅(qū)動機構(gòu)(3)中的第一往復絲桿(34)外側(cè)，所述爐體組件(2)中的延伸爐體(22)兩側(cè)均固定嵌套設置有隔斷機構(gòu)(5)，所述驅(qū)動機構(gòu)(3)中的第一錐齒輪(33)驅(qū)動隔斷機構(gòu)(5)水平方向上左右位移，兩個所述隔斷機構(gòu)(5)中的隔斷板(52)相組合，爐體組件(2)中的延伸爐體(22)內(nèi)部空間進行密封隔斷，所述爐體組件(2)中的主爐體(21)內(nèi)部以及儲料機構(gòu)(4)中的放置座(43)外側(cè)共同固定設置有攪拌機構(gòu)(6)，所述攪拌機構(gòu)(6)中的攪拌桿(69)對儲料機構(gòu)(4)中的坩堝(44)內(nèi)部的原料進行攪拌，所述爐體組件(2)中的主爐體(21)內(nèi)壁上固定設置有多個加熱管(7)，多個所述加熱管(7)均對儲料機構(gòu)(4)中的坩堝(44)進行加熱。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅鈀銀合金鍵合引線制備方法，其特征在于：所述爐體組件(2)包括主爐體(21)、延伸爐體(22)、氮氣輸入管(23)、氮氣回收管(24)、抽真空管(25)和密封門(26)，所述主爐體(21)固定設置于設備臺(1)頂部左側(cè)，且主爐體(21)內(nèi)部保持真空狀態(tài)，所述延伸爐體(22)固定嵌套設置于主爐體(21)頂部，所述氮氣輸入管(23)與氮氣回收管(24)均固定貫穿設置于主爐體(21)左側(cè)頂部，所述抽真空管(25)固定貫穿設置于延伸爐體(22)頂部右側(cè)，所述密封門(26)通過合頁轉(zhuǎn)動設置于延伸爐體(22)正面右側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種銅鈀銀合金鍵合引線制備方法，其特征在于：所述驅(qū)動機構(gòu)(3)包括驅(qū)動電機(31)、主動軸(32)、第一錐齒輪(33)、第一往復絲桿(34)和第二錐齒輪(35)，所述驅(qū)動電機(31)固定設置于延伸爐體(22)頂部左側(cè)，所述主動軸(32)頂端與驅(qū)動電機(31)傳動連接，且其底端貫穿延伸爐體(22)并延伸至延伸爐體(22)內(nèi)部，所述第一錐齒輪(33)固定套接設置于主動軸(32)外側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種銅鈀銀合金鍵合引線制備方法，其特征在于：所述儲料機構(gòu)(4)包括升降滑塊(41)、L形連接臂(42)、放置座(43)和坩堝(44)，所述升降滑塊(41)套接設置于第一往復絲桿(34)外側(cè)并與第一往復絲桿(34)螺紋連接，所述L形連接臂(42)固定設置于升降滑塊(41)右側(cè)，所述放置座(43)固定設置于L形連接臂(42)頂端，所述坩堝(44)放置于放置座(43)頂部，所述升降滑塊(41)頂部后側(cè)豎直方向上滑動貫穿設置有導向桿，所述導向桿頂端與延伸爐體(22)內(nèi)壁固定連接以及底端與主爐體(21)內(nèi)壁固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種銅鈀銀合金鍵合引線制備方法，其特征在于：所述隔斷機構(gòu)(5)包括密封框(51)、隔斷板(52)、驅(qū)動板(53)、第二往復絲桿(54)、從動軸(55)和第三錐齒輪(56)，所述密封框(51)固定嵌套設置于延伸爐體(22)側(cè)壁上，所述隔斷板(52)水平方向上滑動設置于密封框(51)內(nèi)側(cè)，所述驅(qū)動板(53)固定設置于隔斷板(52)頂部，所述第二往復絲桿(54)水平方向上貫穿驅(qū)動板(53)并與驅(qū)動板(53)螺紋連接，所述從動軸(55)通過超越離合器傳動設置于第二往復絲桿(54)端部，所述從動軸(55)貫穿延伸爐體(22)外壁并延伸至延伸爐體(22)內(nèi)部，所述第三錐齒輪(56)固定設置于從動軸(55)端部，所述第三錐齒輪(56)與第一錐齒輪(33)嚙合，兩個所述隔斷板(52)靠近彼此的一側(cè)均開設有第一容納槽與第二容納槽，所述第一往復絲桿(34)位于兩個第一容納槽內(nèi)側(cè)，所述導向桿位于兩個第二容納槽內(nèi)側(cè)。