[發明專利]一種同步濺射雙面AR玻璃蓋板功能膜系疊置方法

有效

• 申請號: 202110984788.4
• 申請日: 2021-08-24
• 公開（公告）號: CN113791464B
• 公開（公告）日: 2023-09-01
• 發明（設計）人: 張池;楊飛;沈江民
• 申請（專利權）人: 河南卓金光電科技股份有限公司
• 主分類號: G02B1/115
• 分類號: G02B1/115
• 代理公司: 鄭州芝麻知識產權代理事務所(普通合伙) 41173
• 代理人: 王林娜

本發明提供了一種同步濺射雙面AR玻璃蓋板功能膜系疊置方法，包括功能膜系薄膜層結構疊置方法和薄膜層光學膜厚設置方法，所述功能膜系薄膜層結構疊置方法是采用高透射率薄膜材料二氧化硅和高折射率薄膜材料五氧化二鈮疊加疊置的雙面膜系結構，所述薄膜層光學膜厚設置方法包括高透射率薄膜材料二氧化硅單薄膜層膜厚設置和高折射率薄膜材料五氧化二鈮單薄膜層膜厚設置。通過采用上述不同材料薄膜層疊加疊置方法和單薄膜層光學膜厚為所構成的雙面AR玻璃蓋板膜系功能膜系，比傳統的單面AR玻璃可見光透過率可提高到或超過99％。雙面AR玻璃蓋板可使視頻圖像色彩更加清淅逼真。

技術領域

本發明屬于電子顯示玻璃蓋板技術領域，特別是涉及一種同步濺射雙面AR玻璃蓋板功能膜系疊置方法。

背景技術

隨著電子顯示技術的快速發展，人們對電子顯示屏圖像清晰度也提出了新的更高的要求，目前有鍍膜企業在單面AR玻璃基礎上將其背面二次加工成雙面AR玻璃，該二次鍍膜加工工藝過程不僅會給單面AR功能膜層表面帶來損傷、而且它在差異濺射氣氛中所沉積的雙面AR膜系可見光透過率很難達到理想值。

發明內容

為了克服上述問題，本發明提供了一種同步濺射雙面AR玻璃蓋板功能膜系疊置方法，使AR玻璃蓋板可見光透過率提高≥99％；通過采用同步濺射雙面AR玻璃蓋板功能膜系疊置方法，不僅相對老工藝方法在產能上成倍增長，而且功能膜系質量也得到了很大提高，同時可見光透過率也明顯優于前者。

本發明所采用的技術方案是：

一種同步濺射雙面AR玻璃蓋板功能膜系疊置方法，包括功能膜系薄膜層結構疊置方法和薄膜層光學膜厚設置方法，所述功能膜系薄膜層結構疊置方法是采用高透射率薄膜材料二氧化硅和高折射率薄膜材料五氧化二鈮疊加疊置的雙面膜系結構，所述薄膜層光學膜厚設置方法包括高透射率薄膜材料二氧化硅單薄膜層膜厚設置和高折射率薄膜材料五氧化二鈮單薄膜層膜厚設置；

所述功能膜系薄膜層結構疊置方法，包括如下步驟：

依玻璃基板空氣面和玻璃基板錫面兩個表面的第一層均疊置第一層高透射率材料二氧化硅薄膜打底層；

依玻璃基板空氣面和玻璃基板錫面兩個表面的第二層均疊置第二層高折射率材料五氧化二鈮薄膜層；

依玻璃基板空氣面和玻璃基板錫面兩個表面的第三層均疊置第三層高折射率材料五氧化二鈮薄膜層；

依玻璃基板空氣面和玻璃基板錫面兩個表面的第四層均疊置第四層高透射率材料二氧化硅薄膜層；

依玻璃基板空氣面和玻璃基板錫面兩個表面的第五層均疊置第五層高透射率材料二氧化硅薄膜層；

依玻璃基板空氣面和玻璃基板錫面兩個表面的第六層均疊置第六層高折射率薄膜材料五氧化二鈮薄膜層；

依玻璃基板空氣面和玻璃基板錫面兩個表面的第七層均疊置第七層高折射率薄膜材料五氧化二鈮薄膜層；

依玻璃基板空氣面和玻璃基板錫面兩個表面的第八層均疊置第八層高透射率材料二氧化硅薄膜覆蓋層。

其中，第一層高透射率材料二氧化硅薄膜打底層的光學膜厚為23nm。

其中，第二層高折射率材料五氧化二鈮薄膜層和所述第七層高折射率薄膜材料五氧化二鈮薄膜層的光學膜厚均為20nm。

其中，第三層高折射率材料五氧化二鈮薄膜層和所述第六層高折射率薄膜材料五氧化二鈮薄膜層的光學膜厚均為26nm。

其中，第四層高透射率材料二氧化硅薄膜層的光學膜厚為10nm。

其中，第五層高透射率材料二氧化硅薄膜層的光學膜厚為13nm。

其中，第八層高透射率材料二氧化硅薄膜覆蓋層的光學膜厚為25nm。