[發(fā)明專利]一種同步濺射雙面AR玻璃蓋板功能膜系疊置方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110984788.4 | 申請日： | 2021-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN113791464B | 公開（公告）日： | 2023-09-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張池;楊飛;沈江民 | 申請（專利權(quán)）人： | 河南卓金光電科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B1/115 | 分類號： | G02B1/115 |
| 代理公司： | 鄭州芝麻知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 41173 | 代理人： | 王林娜 |
| 地址： | 471000 河*** | 國省代碼： | 河南;41 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 同步 濺射 雙面 ar 玻璃 蓋板 功能 膜系疊置 方法 | ||
1.一種同步濺射雙面AR玻璃蓋板功能膜系疊置方法，其特征在于：包括功能膜系薄膜層結(jié)構(gòu)疊置方法和薄膜層光學(xué)膜厚設(shè)置方法，所述功能膜系薄膜層結(jié)構(gòu)疊置方法是采用高透射率薄膜材料二氧化硅和高折射率薄膜材料五氧化二鈮疊加疊置的雙面膜系結(jié)構(gòu)，所述薄膜層光學(xué)膜厚設(shè)置方法包括高透射率薄膜材料二氧化硅單薄膜層膜厚設(shè)置和高折射率薄膜材料五氧化二鈮單薄膜層膜厚設(shè)置；
所述功能膜系薄膜層結(jié)構(gòu)疊置方法，包括如下步驟：
依玻璃基板空氣面(9)和玻璃基板錫面(10)兩個表面的第一層均疊置第一層高透射率材料二氧化硅薄膜打底層(1)；
依玻璃基板空氣面(9)和玻璃基板錫面(10)兩個表面的第二層均疊置第二層高折射率材料五氧化二鈮薄膜層(2)；
依玻璃基板空氣面(9)和玻璃基板錫面(10)兩個表面的第三層均疊置第三層高折射率材料五氧化二鈮薄膜層(3)；
依玻璃基板空氣面(9)和玻璃基板錫面(10)兩個表面的第四層均疊置第四層高透射率材料二氧化硅薄膜層(4)；
依玻璃基板空氣面(9)和玻璃基板錫面(10)兩個表面的第五層均疊置第五層高透射率材料二氧化硅薄膜層(5)；
依玻璃基板空氣面(9)和玻璃基板錫面(10)兩個表面的第六層均疊置第六層高折射率薄膜材料五氧化二鈮薄膜層(6)；
依玻璃基板空氣面(9)和玻璃基板錫面(10)兩個表面的第七層均疊置第七層高折射率薄膜材料五氧化二鈮薄膜層(7)；
依玻璃基板空氣面(9)和玻璃基板錫面(10)兩個表面的第八層均疊置第八層高透射率材料二氧化硅薄膜覆蓋層(8)；
所述第一層高透射率材料二氧化硅薄膜打底層(1)的光學(xué)膜厚為23nm，所述第二層高折射率材料五氧化二鈮薄膜層(2)和所述第七層高折射率薄膜材料五氧化二鈮薄膜層(7)的光學(xué)膜厚均為20nm，所述第三層高折射率材料五氧化二鈮薄膜層(3)和所述第六層高折射率薄膜材料五氧化二鈮薄膜層(6)的光學(xué)膜厚均為26nm，所述第四層高透射率材料二氧化硅薄膜層(4)的光學(xué)膜厚為10nm，所述第五層高透射率材料二氧化硅薄膜層(5)的光學(xué)膜厚為13nm，所述第八層高透射率材料二氧化硅薄膜覆蓋層(8)的光學(xué)膜厚為25nm。
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