[發(fā)明專利]濺鍍膜和干膜的壓合方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110980065.7 | 申請日: | 2021-08-25 |
| 公開(公告)號: | CN113427887A | 公開(公告)日: | 2021-09-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 楊勝吉 | 申請(專利權(quán))人: | 常州欣盛半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司 |
| 主分類號: | B32B37/12 | 分類號: | B32B37/12;B32B37/10;B32B37/06;H01L21/56 |
| 代理公司: | 常州至善至誠專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32409 | 代理人: | 王穎 |
| 地址: | 213000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 鍍膜 方法 | ||
1.一種濺鍍膜和干膜的壓合方法,其特征在于,包括:下熱壓輪(1)和上熱壓輪(2),所述上熱壓輪(2)和所述下熱壓輪(1)呈上下設(shè)置;所述下熱壓輪(1)的內(nèi)部中空,所述上熱壓輪(2)的內(nèi)部中空,所述上熱壓輪(2)的外表面沿其周向環(huán)設(shè)有第一凹槽(21)和第二凹槽(22),所述第一凹槽(21)和所述第二凹槽(22)之間的距離為S,干膜(4)的寬度為L,所述寬度L與所述距離S相等;當(dāng)濺鍍膜(3)和干膜(4)進(jìn)行壓合時,具體包括以下步驟:
S1:在所述濺鍍膜(3)和所述干膜(4)之間涂覆粘合劑,所述濺鍍膜(3)覆蓋在所述干膜(4)下方;
S2:將經(jīng)過步驟S1處理的所述濺鍍膜(3)和干膜(4)一起送入所述上熱壓輪(2)和下熱壓輪(1)之間,此時,所述濺鍍膜(3)靠近所述下熱壓輪(1),所述干膜(4)靠近所述上熱壓輪(2),所述干膜(4)位于所述第一凹槽(21)和所述第二凹槽(22)之間;
S3:所述上熱壓輪(2)和下熱壓輪(1)對所述濺鍍膜(3)和干膜(4)進(jìn)行壓合處理。
2.如權(quán)利要求1所述的濺鍍膜和干膜的壓合方法,其特征在于,所述第一凹槽(21)的內(nèi)壁與所述上熱壓輪(2)的軸線垂直,所述第二凹槽(22)的內(nèi)壁與所述上熱壓輪(2)的軸線垂直。
3.如權(quán)利要求2所述的濺鍍膜和干膜的壓合方法,其特征在于,所述濺鍍膜(3)的寬度大于所述干膜(4)的寬度。
4.如權(quán)利要求1所述的濺鍍膜和干膜的壓合方法,其特征在于,所述第一凹槽(21)的寬度d1為0.9-1.1mm,所述第一凹槽(21)的深度h1為0.9-1.1mm。
5.如權(quán)利要求1所述的濺鍍膜和干膜的壓合方法,其特征在于,所述第二凹槽(22)的寬度d2為0.9-1.1mm,所述第二凹槽(22)的深度h2為0.9-1.1mm。
6.如權(quán)利要求1所述的濺鍍膜和干膜的壓合方法,其特征在于,所述上熱壓輪(2)內(nèi)設(shè)有加熱棒(5),所述下熱壓輪(1)內(nèi)設(shè)有加熱棒(5)。
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