[發明專利]一種可擴容晶圓分選機

有效

• 申請號: 202110965977.7
• 申請日: 2021-08-23
• 公開（公告）號: CN113649296B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 盧國強
• 申請（專利權）人: 深圳市優界科技有限公司
• 主分類號: B07C5/02
• 分類號: B07C5/02;B07C5/34;B07C5/36;B07C5/38
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 黃勇

1.一種可擴容晶圓分選機，其特征在于：包括箱體（1），箱體（1）中設置有放置臺（11），放置臺（11）上設置有用于分選晶粒的分選機構（13），放置臺（11）上設置有用于夾持和移動晶圓的夾持機構（14），放置臺（11）上設置有安裝臺（2），安裝臺（2）上設置有多個已分類空/滿盤料匣（5）和若干未分類片料匣（6），安裝臺（2）上設置有多個限位板（3），限位板（3）長度方向互相平行，已分類空/滿盤料匣（5）設置在限位板（3）之間；所述限位板（3）上焊接或一體成型有多個卡塊（31），卡塊（31）的長度方向與限位板（3）長度方向垂直，多個卡塊（31）沿限位板（3）長度方向等距間隔設置，已分類空/滿盤料匣（5）設置在相鄰兩個卡塊（31）之間，卡塊（31）用于抵接在已分類空/滿盤料匣（5）外壁上，多個已分類空/滿盤料匣（5）沿直線方向間隔設置在安裝臺（2）上；所述安裝臺（2）上設置有若干側卡板（4），所述側卡板（4）設置在相鄰兩個限位板（3）之間，所述側卡板（4）的長度方向與限位板（3）長度方向垂直，側卡板（4）用于抵接在已分類空/滿盤料匣（5）上且能夠沿靠近和遠離已分類空/滿盤料匣（5）的方向滑動；所述安裝臺（2）下側表面設有多個用于抵接在放置臺（11）上并支撐安裝臺（2）的支架（7），所述支架（7）遠離安裝臺（2）的一端設置有重力傳感器（8），所述重力傳感器（8）上設置有控制器（91），多個所述重力傳感器（8）均與同一控制器（91）的輸入端通信連接，控制器（91）的輸出端上通信連接有用戶終端（92），所述用戶終端（92）設置在箱體（1）外。

2.根據權利要求1所述的一種可擴容晶圓分選機，其特征在于：所述安裝臺（2）上開設有多個安裝孔（21），限位板（3）上開設有多個固定孔（32），固定孔（32）開設為直槽口，直槽口的長度方向與限位板（3）的長度方向垂直，限位板（3）通過螺栓固定在安裝臺（2）上，螺栓插入固定孔（32）和安裝孔（21）中。

3.根據權利要求2所述的一種可擴容晶圓分選機，其特征在于：所述側卡板（4）上開設有多個連接孔（41），連接孔（41）沿側卡板（4）長度方向間隔開設，連接孔（41）開設為直槽口，連接孔（41）的長度方向與側卡板（4）長度方向垂直，側卡板（4）通過螺栓固定在安裝臺（2）上，螺栓插入安裝孔（21）和連接孔（41）中。

4.根據權利要求1所述的一種可擴容晶圓分選機，其特征在于：所述已分類空/滿盤料匣（5）上兩個相對的內側壁上開設有多個卡槽（51），卡槽（51）沿直線方向等距間隔開設，卡槽（51）用于使晶圓插入。

5.根據權利要求4所述的一種可擴容晶圓分選機，其特征在于：所述已分類空/滿盤料匣（5）上轉動連接有把手（52），已分類空/滿盤料匣（5）的開口方向與把手（52）相對已分類空/滿盤料匣（5）形成的轉動軸線平行。

6.根據權利要求1-5任一項所述的一種可擴容晶圓分選機，其特征在于：所述箱體（1）上開設有開口，箱體（1）上轉動連接有門體（12），門體（12）用于轉動并封堵開口，門體（12）使用透明材質制成。