[發(fā)明專利]一種可在線測厚的拋光載體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110964212.1
• 申請日: 2021-08-21
• 公開（公告）號: CN113752159B
• 公開（公告）日: 2022-11-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱亮;沈文杰;潘興興;黃金濤;謝龍輝;鄭猛;陳瑩
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司;晶盛機(jī)電日本株式會社
• 主分類號: B24B37/005
• 分類號: B24B37/005;B24B49/00;B24B37/30;B24B41/06;B24B7/22
• 代理公司: 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種可在線測厚的拋光載體，其特征在于，包括：

載體本體，所述載體本體用于連接拋片，所述載體本體包括：

第一座；

加壓組件，所述加壓組件包括氣囊，所述氣囊固定設(shè)置于所述第一座的一端，所述氣囊上開設(shè)有第一檢測通孔；

檢測通道，所述檢測通道開設(shè)于所述載體本體內(nèi)，檢測通道開設(shè)在第一座的旋轉(zhuǎn)中心線上，所述第一檢測通孔位于所述檢測通道下方；以及

測厚組件，所述測厚組件包括：

檢測器，所述檢測器固定連接在所述載體本體上，使得所述檢測器能夠通過所述檢測通道向拋片發(fā)出檢測信號以檢測拋片厚度并輸出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可在線測厚的拋光載體，其特征在于，所述檢測器包括：

光束發(fā)生器，所述光束發(fā)生器設(shè)置于所述檢測通道內(nèi)，用于向拋片發(fā)射光束；

光束接收器，所述光束接收器設(shè)置于所述檢測通道內(nèi)，用于接收拋片反射光束并輸出。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可在線測厚的拋光載體，其特征在于，所述檢測通道位于所述載體本體的旋轉(zhuǎn)中心上。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可在線測厚的拋光載體，其特征在于，所述加壓組件還包括：

第一檢測通孔，所述第一檢測通孔開設(shè)于氣囊上，使得所述檢測器能夠通過所述第一檢測通孔檢測拋片厚度，所述氣囊用于粘接拋片；

加壓腔，所述加壓腔開設(shè)于所述第一座內(nèi)，所述加壓腔內(nèi)的氣壓作用于所述氣囊上，通過調(diào)節(jié)加壓腔內(nèi)氣壓使得氣囊對拋片的作用力可調(diào)節(jié)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種可在線測厚的拋光載體，其特征在于，所述氣囊在所述第一檢測通孔的位置上設(shè)置有翻邊，所述翻邊與檢測通道內(nèi)壁貼合。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種可在線測厚的拋光載體，其特征在于，所述加壓腔設(shè)置有多個，所述第一座頂部設(shè)置多個接頭，每個所述加壓腔對應(yīng)于一個所述接頭，每個接頭向下與對應(yīng)的加壓腔連通，所述接頭用于與外部氣源連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種可在線測厚的拋光載體，其特征在于，所述加壓腔均勻分布于所述氣囊的圓周面上。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種可在線測厚的拋光載體，其特征在于，還包括吸附墊，所述吸附墊用于承載拋片，所述吸附墊包括：

吸附墊底，所述吸附墊底固定設(shè)置于所述氣囊底部，所述吸附墊底上開設(shè)有第二檢測通孔，所述第二檢測通孔位于所述第一檢測通孔下方，使得所述檢測器能夠通過所述第一檢測通孔、第二檢測通孔對拋片測厚；

吸附墊環(huán)，所述吸附墊環(huán)固定設(shè)置于所述吸附墊底上，使得所述吸附墊環(huán)內(nèi)部形成開口向下的承載腔，所述承載腔用于承載拋片。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種可在線測厚的拋光載體，其特征在于，所述拋光載體還包括：

第二座，所述第二座位于所述第一座上方，且與所述第一座連接；

調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件包括：

調(diào)節(jié)片，所述調(diào)節(jié)片可形變，所述調(diào)節(jié)片位于所述第一座與所述第二座之間，且所述調(diào)節(jié)片與所述第一座的頂部抵觸；

調(diào)節(jié)腔，所述調(diào)節(jié)腔開設(shè)于所述第二座內(nèi)，所述調(diào)節(jié)腔中的氣壓作用于所述調(diào)節(jié)片，通過調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)腔內(nèi)氣壓使得調(diào)節(jié)片對第一座的作用力可調(diào)節(jié)。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種拋光載體，其特征在于，所述第一座底部邊緣固定設(shè)置有保持環(huán)，所述氣囊包覆所述保持環(huán)及第一座的底部。