[發明專利]一種用于光學玻璃表面的復合膜層及其制備方法

在審

• 申請號: 202110958000.2
• 申請日: 2021-08-20
• 公開（公告）號: CN113480193A
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發明（設計）人: 黃錫剛;沈小華
• 申請（專利權）人: 重慶東玲光學元件有限公司
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34
• 代理公司: 重慶以知共創專利代理事務所(普通合伙) 50226
• 代理人: 鐘亮

本發明屬于真空鍍膜領域，尤其是一種用于光學玻璃表面的復合膜層及其制備方法，針對現有的復合膜層強度較差，并且耐磨性不足，在長時間使用后表面容易存在較多劃痕，同時復合膜層的抗紫外線性能和防霧性能均較差的問題，現提出如下方案，其用于光學玻璃表面的復合膜層包括光學玻璃，所述光學玻璃的頂部設置有碳化鉻層，所述碳化鉻層的頂部設置有碳化鈦層，所述碳化鈦層的頂部設置有抗紫外線層，所述抗紫外線層的頂部設置有防霧層，所述碳化鉻層的厚度為4?5um，碳化鈦層的厚度為5?6um。本發明復合膜層強度較好，并且耐磨性較好，在長時間使用后表面容易不會存在較多劃痕，同時復合膜層的抗紫外線性能和防霧性能均較好。

技術領域

本發明涉及真空鍍膜技術領域，尤其涉及一種用于光學玻璃表面的復合膜層及其制備方法。

背景技術

光學玻璃指能改變光的傳播方向，并能改變紫外、可見或紅外光的相對光譜分布的玻璃。狹義的光學玻璃是指無色光學玻璃；廣義的光學玻璃還包括有色光學玻璃、激光玻璃、石英光學玻璃、抗輻射玻璃、紫外紅外光學玻璃、纖維光學玻璃、聲光玻璃、磁光玻璃和光變色玻璃。光學玻璃可用于制造光學儀器中的透鏡、棱鏡、反射鏡及窗口等。由光學玻璃構成的部件是光學儀器中的關鍵性元件。

目前用于光學玻璃表面的復合膜層強度較差，并且耐磨性不足，在長時間使用后表面容易存在較多劃痕，同時復合膜層的抗紫外線性能和防霧性能均較差，不能夠滿足實際使用需要，因此提出了一種用于光學玻璃表面的復合膜層及其制備方法用于解決上述問題。

發明內容

本發明的目的是為了解決現有技術中存在復合膜層強度較差，并且耐磨性不足，在長時間使用后表面容易存在較多劃痕，同時復合膜層的抗紫外線性能和防霧性能均較差的缺點，而提出的一種用于光學玻璃表面的復合膜層及其制備方法。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：

一種用于光學玻璃表面的復合膜層，包括光學玻璃，所述光學玻璃的頂部設置有碳化鉻層，所述碳化鉻層的頂部設置有碳化鈦層，所述碳化鈦層的頂部設置有抗紫外線層，所述抗紫外線層的頂部設置有防霧層。

優選的，所述碳化鉻層的厚度為4-5um，碳化鈦層的厚度為5-6um。

一種上述的用于光學玻璃表面的復合膜層的制備方法，包括以下步驟：

S1：光學玻璃清洗：將光學玻璃加入到超聲波清洗機中進行清洗；

S2：光學玻璃烘干：將清洗后的光學玻璃加入到烘干機中進行烘干處理；

S3：鍍碳化鉻層：在光學玻璃的表面鍍碳化鉻層；

S4：鍍碳化鈦層：在碳化鉻層表面鍍碳化鈦層；

S5：鍍抗紫外線層：在碳化鈦層表面鍍抗紫外線層；

S6：鍍防霧層：在抗紫外線層表面鍍防霧層。

優選的，所述S1中，超聲波清洗機中添加適量清洗劑，光學玻璃在超聲波清洗機中清洗時間設置為8-10min，光學玻璃在超聲波清洗機中清洗完成后使用清水對光學玻璃進行沖洗。

優選的，所述S2中，烘干機的烘干溫度設置為40-50℃，烘干時間設置為30-40min，在烘干前后使用無塵手套對光學玻璃進行操作。

優選的，所述S3中，在惰性環境下對光學玻璃表面進行等離子束轟擊，形成碳化鉻層沉積，碳化鉻層沉積時間設置為50-60min，惰性環境下的氣壓設置為0.5-0.6Pa。

優選的，所述S4中，在惰性環境下對碳化鉻層表面進行等離子束轟擊，形成碳化鈦層沉積，碳化鈦層沉積時間設置為20-30min，惰性環境下的氣壓設置為0.2-0.3Pa。

優選的，所述S5中，采用電子束蒸發鍍膜在碳化鈦層上鍍抗紫外線層，然后在抗紫外線層上鍍防霧層。