[發(fā)明專利]一種用于光學(xué)玻璃表面的復(fù)合膜層及其制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110958000.2
• 申請日: 2021-08-20
• 公開（公告）號: CN113480193A
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃錫剛;沈小華
• 申請（專利權(quán)）人: 重慶東玲光學(xué)元件有限公司
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34
• 代理公司: 重慶以知共創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 50226
• 代理人: 鐘亮

1.一種用于光學(xué)玻璃表面的復(fù)合膜層，包括光學(xué)玻璃(1)，其特征在于，所述光學(xué)玻璃(1)的頂部設(shè)置有碳化鉻層(2)，所述碳化鉻層(2)的頂部設(shè)置有碳化鈦層(3)，所述碳化鈦層(3)的頂部設(shè)置有抗紫外線層(4)，所述抗紫外線層(4)的頂部設(shè)置有防霧層(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光學(xué)玻璃表面的復(fù)合膜層，其特征在于，所述碳化鉻層(2)的厚度為4-5um，碳化鈦層(3)的厚度為5-6um。

3.一種如權(quán)利要求1-2任一項所述的用于光學(xué)玻璃表面的復(fù)合膜層的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：光學(xué)玻璃(1)清洗：將光學(xué)玻璃(1)加入到超聲波清洗機中進(jìn)行清洗；

S2：光學(xué)玻璃(1)烘干：將清洗后的光學(xué)玻璃(1)加入到烘干機中進(jìn)行烘干處理；

S3：鍍碳化鉻層(2)：在光學(xué)玻璃(1)的表面鍍碳化鉻層(2)；

S4：鍍碳化鈦層(3)：在碳化鉻層(2)表面鍍碳化鈦層(3)；

S5：鍍抗紫外線層(4)：在碳化鈦層(3)表面鍍抗紫外線層(4)；

S6：鍍防霧層(5)：在抗紫外線層(4)表面鍍防霧層(5)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于光學(xué)玻璃表面的復(fù)合膜層的制備方法，其特征在于，所述S1中，超聲波清洗機中添加適量清洗劑，光學(xué)玻璃(1)在超聲波清洗機中清洗時間設(shè)置為8-10min，光學(xué)玻璃(1)在超聲波清洗機中清洗完成后使用清水對光學(xué)玻璃(1)進(jìn)行沖洗。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于光學(xué)玻璃表面的復(fù)合膜層的制備方法，其特征在于，所述S2中，烘干機的烘干溫度設(shè)置為40-50℃，烘干時間設(shè)置為30-40min，在烘干前后使用無塵手套對光學(xué)玻璃(1)進(jìn)行操作。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于光學(xué)玻璃表面的復(fù)合膜層的制備方法，其特征在于，所述S3中，在惰性環(huán)境下對光學(xué)玻璃(1)表面進(jìn)行等離子束轟擊，形成碳化鉻層(2)沉積，碳化鉻層(2)沉積時間設(shè)置為50-60min，惰性環(huán)境下的氣壓設(shè)置為0.5-0.6Pa。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于光學(xué)玻璃表面的復(fù)合膜層的制備方法，其特征在于，所述S4中，在惰性環(huán)境下對碳化鉻層(2)表面進(jìn)行等離子束轟擊，形成碳化鈦層(3)沉積，碳化鈦層(3)沉積時間設(shè)置為20-30min，惰性環(huán)境下的氣壓設(shè)置為0.2-0.3Pa。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于光學(xué)玻璃表面的復(fù)合膜層的制備方法，其特征在于，所述S5中，采用電子束蒸發(fā)鍍膜在碳化鈦層(3)上鍍抗紫外線層(4)，然后在抗紫外線層(4)上鍍防霧層(5)。