[發明專利]一種環件凸臺的檢具及其檢測方法與用途

在審

• 申請號: 202110953838.2
• 申請日: 2021-08-19
• 公開（公告）號: CN113587768A
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;楊其垚
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: G01B5/00
• 分類號: G01B5/00;G01B5/06;G01B5/08
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

本發明提供了一種環件凸臺的檢具及其檢測方法與用途，所述的環件凸臺的檢具包括底座和模具、所述的模具包括上模組件和下模組件，所述的下模組件固定于底座表面，將環件凸臺置于所述上模組件內，再將上模組件與下模組件扣合，當上模組件完全覆蓋下模組件，表明環件凸臺檢測合格。本發明提供的一種環件凸臺的檢具結構簡單，加工容易，能夠同時檢測多個環件凸臺是否符合標準，檢測效率高，并通過檢具全檢和卡尺抽檢一枚的方式，可節約檢測工時，節省了人力成本，同時能夠保障準確度。

技術領域

本發明屬于檢測技術領域，涉及環件凸臺的檢具，尤其涉及一種環件凸臺的檢具及其檢測方法與用途。

背景技術

在半導體物理氣相沉積生產過程中采用的環件設置有7個或5個凸起，用于安裝在濺射機臺上，同時也起到通電作用。加工后需要對環件上凸起進行檢測尺寸，批量產品對檢測工序造成較大生產壓力，造成了生產瓶頸。機械加工領域常采用三坐標測量機對零部件的尺寸進行檢測，但采用三坐標測量機對零部件進行檢測時必須保證部件本身的形狀不變，且需對每一個凸起進行分別測量，再記錄數據形成三坐標檢測報告，延長了檢測工時，增加了工作量。

CN212228005U公開了一種帶有輔助定位裝置的新型三坐標檢測機，包括三坐標檢測機，所述三坐標檢測機的上表面后側固接有擋塊，所述三坐標檢測機(1)的上表面前側開有滑槽，所述滑槽的下方開有滑腔，所述滑腔的內壁兩端均開有滑道，所述滑道內部前后兩側分別滑動連接有滑桿和滑板，所述滑板的一側固接有壓縮彈簧；所述滑桿的外壁套接有頂塊，所述頂與滑槽滑動相連，所述頂塊的外壁螺紋連接有卡桿，所述卡桿貫穿頂與滑腔的內壁緊密貼合。

CN206855298U公開了三坐標測量夾具，包括夾具底座，所述夾具底座上設置磁性座，所述磁性座由磁性開關控制啟閉磁性；沿所述夾具底座的外周開設內凹槽，安裝座的一端嵌入所述內凹槽并通過緊固件固接，所述安裝座的另一端套接彈性座套，所述彈性座套的一端套接彈性定位頭，所述彈性座套的另一端套接彈性底座，于所述彈性座套內、在所述彈性定位頭及彈性底座之間還設置彈簧，所述彈性定位頭、彈性座套、彈簧及彈性底座構成彈性座。

CN110906893A公開了一種環件三坐標檢具，所述檢具包括底座，所述底座上設置有與待測環件相匹配的圓形凹腔，在所述底座上，沿圓形凹腔的外周設置有供三坐標測量機測針伸入的凹槽。其測量方法為將待測環件置于檢具的圓形凹腔中，使待測環件的凸塊置于圓形凹腔外周的底座上，再利用三坐標測量機測量待測環件的尺寸。即將三坐標測量機的測針伸入凹槽，檢測待測環件的側壁和/或底部。

現有采用三坐標測量方法對批量部件進行測量，需分別測量每一個環件凸臺的尺寸，記錄數據形成三坐標檢測報告，延長了檢測工時，增加了工作量，降低了工作效率，因此，需要開發一種環件凸臺進行測量的檢具及方法，提高環件的檢測效率。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本發明的目的在于一種環件凸臺的檢具及其檢測方法與用途，能夠減少環件凸臺的檢測時間，每組環件凸臺可節約檢測工時50％，從而提高生產效率。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

第一方面，本發明提供了一種環件凸臺的檢具，所述環件凸臺的檢具包括底座和模具、所述的模具包括上模組件和下模組件，所述的下模組件固定于底座表面，將環件凸臺置于所述上模組件內，再將上模組件與下模組件扣合，當上模組件完全覆下模組件，表明環件凸臺檢測合格。

作為本發明一個優選技術方案，所述的下模組件為環形凸臺結構，所述的下模組件設置對稱的兩個開口。

優選地，所述開口的寬度小于下模組件的內徑。

優選地，所述下模組件與底座的連接處設置墊層，所述墊層的直徑大于下模組件的外徑。

作為本發明一個優選技術方案，所述上模組件的中心設置貫通的容納腔室，所述上模組件的一側表面開設相互垂直的兩個限位槽。