[發(fā)明專利]一種亞納秒綠光激光器

有效

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• 申請日: 2021-08-04
• 公開（公告）號: CN113629482B
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發(fā)明（設計）人: 李高龍;馬英俊;楊陽;李悅萌;李永輝
• 申請（專利權）人: 安徽光智科技有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109;H01S3/10;H01S3/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 彭東威

本發(fā)明提供了一種亞納秒綠光激光器，包括：發(fā)射種子光的亞納秒種子源、對所述種子光進行多級放大的多級放大結構和對放大后的所述種子光進行倍頻轉換的倍頻轉換結構；所述多級放大結構包括第一級放大光路、第二級放大光路和第三級放大光路；所述第一級放大光路包括依次設置的第一種子光路、第一激光晶體、0°反射鏡和第一泵浦模塊；所述第二級放大光路包括依次設置的第二種子光路、第二激光晶體、0°反射鏡和第二泵浦模塊；所述第三級放大光路包括依次設置的第三種子光路、第三激光晶體、泵浦分光鏡和第三泵浦模塊。本發(fā)明提供的亞納秒綠光激光器，輸出的綠光激光具有重復頻率高、平均功率高、單脈沖能量高的特點，能滿足于市場應用需求。

技術領域

本發(fā)明涉及激光技術領域，尤其是涉及一種亞納秒綠光激光器。

背景技術

亞納秒綠光激光器具有輸出波長短、加工精度高等特點，在激光微加工、激光醫(yī)療、非線性光學等領域有著廣闊的應用場景。

傳統的全固體亞納秒綠光激光器，其重復頻率較低，不適用于市場應用。市場上也有全光纖的亞納秒綠光激光器，但其單脈沖能量很小，不具備切割效率和成本優(yōu)勢。因此，如何實現具有高重復頻率、高平均功率、高單脈沖能量的亞納秒綠光激光器成為亟需解決的問題。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是提供一種亞納秒綠光激光器，以解決現有技術中缺乏重復頻率高、平均功率高、單脈沖能量高的亞納秒綠光激光器的技術問題。

本發(fā)明的目的，可以通過如下技術方案實現：

一種亞納秒綠光激光器，包括：

發(fā)射種子光的亞納秒種子源、對所述種子光進行多級放大的多級放大結構和對放大后的所述種子光進行倍頻轉換的倍頻轉換結構；

所述多級放大結構包括對所述種子光進行一級放大的第一級放大光路、進行二級放大的第二級放大光路和進行三級放大的第三級放大光路；

所述第一級放大光路包括依次設置的第一種子光路、第一激光晶體、0°反射鏡和第一泵浦模塊；

所述第二級放大光路包括依次設置的第二種子光路、第二激光晶體、0°反射鏡和第二泵浦模塊；

所述第三級放大光路包括依次設置的第三種子光路、第三激光晶體、泵浦分光鏡和第三泵浦模塊。

可選地，

所述第一種子光路包括依次設置的準直鏡、45°反射鏡、第一平凸透鏡，第一平凹透鏡、隔離器、半波片、45°反射鏡和光學補償鏡。

可選地，

所述第一泵浦模塊包括依次設置的第一泵浦聚焦鏡、泵浦回光保護鏡、第一泵浦準直鏡和第一泵浦放大模塊。

可選地，

所述第二種子光路包括依次設置的45°反射鏡、第二平凸透鏡，第二平凹透鏡、隔離器、半波片、45°反射鏡和光學補償鏡。

可選地，

所述第二泵浦模塊包括依次設置的第二泵浦聚焦鏡、泵浦回光保護鏡、第二泵浦準直鏡和第二泵浦放大模塊。

可選地，

所述第三種子光路包括依次設置的45°反射鏡、第三平凸透鏡，第三平凹透鏡、45°反射鏡、隔離器和半波片。

可選地，

所述第三泵浦模塊包括依次設置的第三泵浦聚焦鏡、泵浦回光保護鏡、第三泵浦準直鏡和第三泵浦放大模塊。

可選地，

所述倍頻轉換結構包括轉換前光路、倍頻晶體和轉換后光路。

可選地，