[發明專利]一種亞納秒綠光激光器

有效

• 申請號: 202110892197.4
• 申請日: 2021-08-04
• 公開（公告）號: CN113629482B
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發明（設計）人: 李高龍;馬英俊;楊陽;李悅萌;李永輝
• 申請（專利權）人: 安徽光智科技有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109;H01S3/10;H01S3/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 彭東威

1.一種亞納秒綠光激光器，其特征在于，包括：

發射種子光的亞納秒種子源、對所述種子光進行多級放大的多級放大結構和對放大后的所述種子光進行倍頻轉換的倍頻轉換結構；

所述多級放大結構包括對所述種子光進行一級放大的第一級放大光路、進行二級放大的第二級放大光路和進行三級放大的第三級放大光路；

所述第一級放大光路包括依次設置的第一種子光路、第一激光晶體、0°反射鏡和第一泵浦模塊；

所述第一種子光路包括依次設置的準直鏡、45°反射鏡、第一平凸透鏡，第一平凹透鏡、隔離器、半波片、45°反射鏡和光學補償鏡；所述準直鏡的兩面鍍膜HT1064，利用準直鏡對種子光進行光束整形；所述45°反射鏡的單面鍍1064nm高反射膜，將光路折轉90°，能減小激光器的腔內空間；所述第一平凸透鏡和所述第一平凹透鏡雙面鍍1064nm高透膜，對種子源輸出的光束進行整形；所述隔離器的兩邊窗口鍍1064nm高透膜；

所述第二級放大光路包括依次設置的第二種子光路、第二激光晶體、0°反射鏡和第二泵浦模塊；

所述第二種子光路包括依次設置的45°反射鏡、第二平凸透鏡，第二平凹透鏡、隔離器、半波片、45°反射鏡和光學補償鏡，所述第二平凸透鏡和所述第二平凹透鏡雙面鍍1064nm高透膜，對經過所述第一級放大光路一級放大后的種子光進行整形；

所述第三級放大光路包括依次設置的第三種子光路、第三激光晶體、泵浦分光鏡和第三泵浦模塊；

所述第三種子光路包括依次設置的45°反射鏡、第三平凸透鏡，第三平凹透鏡、45°反射鏡、隔離器和半波片；

其中，所述第一級放大光路和所述第二級放大光路均采用同軸雙程放大的方式，所述第三級放大光路是對二級放大后的種子光進行單程放大。

2.根據權利要求1所述的亞納秒綠光激光器，其特征在于，所述第一泵浦模塊包括依次設置的第一泵浦聚焦鏡、泵浦回光保護鏡、第一泵浦準直鏡和第一泵浦放大模塊。

3.根據權利要求1所述的亞納秒綠光激光器，其特征在于，所述第二泵浦模塊包括依次設置的第二泵浦聚焦鏡、泵浦回光保護鏡、第二泵浦準直鏡和第二泵浦放大模塊。

4.根據權利要求1所述的亞納秒綠光激光器，其特征在于，所述第三泵浦模塊包括依次設置的第三泵浦聚焦鏡、泵浦回光保護鏡、第三泵浦準直鏡和第三泵浦放大模塊。

5.根據權利要求1所述的亞納秒綠光激光器，其特征在于，所述倍頻轉換結構包括轉換前光路、倍頻晶體和轉換后光路。

6.根據權利要求5所述的亞納秒綠光激光器，其特征在于，所述轉換前光路包括依次設置的第四平凸透鏡、第四平凹透鏡、45°反射鏡、取樣鏡、隔離器和半波片。

7.根據權利要求5所述的亞納秒綠光激光器，其特征在于，所述轉換后光路包括依次設置的532nm/1064nm分光鏡、1064吸附體、532nm/1064nm分光鏡、第五平凸透鏡、第五平凹透鏡、532nm/1064nm分光鏡和窗口鏡。