[發(fā)明專利]一種光刻膠用改性酚醛樹脂及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110890081.7 | 申請日： | 2021-08-04 |
| 公開（公告）號： | CN113461884B | 公開（公告）日： | 2022-07-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王富成;蘇志強;趙鑫;馬錚 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江自立高分子化工材料有限公司 |
| 主分類號： | C08G8/24 | 分類號： | C08G8/24;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京中知星原知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11868 | 代理人： | 王維佳;艾變開 |
| 地址： | 312300 浙江省紹*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 光刻 改性 酚醛樹脂 及其 制備 方法 | ||
1.一種光刻膠用改性酚醛樹脂，其特征在于，是以包括以下原料縮聚制備得到：間甲酚，對甲酚，二甲酚，4,4’-二羥基二苯醚，2-羥基1-羥甲基萘，酚性多羥基化合物，甲醛；所述酚性多羥基化合物選自Trisp-PA、TrisP-SA、TrisP-HAP中的至少一種；
所述光刻膠用改性酚醛樹脂的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
(S1)加入對甲酚，甲醛總量的30-50%和堿，升溫50-55℃反應(yīng)2-3h，加入稀酸中和，產(chǎn)物水洗至中性備用；
(S2)將步驟(S1)所得產(chǎn)物，間甲酚，二甲酚，2-羥基1-羥甲基萘，剩余的甲醛，70-95%的酸性催化劑，溶劑混勻，繼續(xù)升溫至80-90℃反應(yīng)1-3h；
(S3)繼續(xù)升溫至90-95℃，緩慢加入4,4’-二羥基二苯醚和剩余酸性催化劑，反應(yīng)3-5h；
(S4)降溫至70-80℃，加入0.5-1份酚性多羥基化合物，反應(yīng)0.5-1h，最終所得產(chǎn)物水洗，真空干燥后得到改性酚醛樹脂。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠用改性酚醛樹脂，其特征在于，所述改性酚醛樹脂，是以包括以下重量份的原料縮聚制備得到：40-50份間甲酚，55-70份對甲酚，10-15份2-羥基1-羥甲基萘，5-8份二甲酚，3-6份4,4’-二羥基二苯醚，0.5-1份酚性多羥基化合物，100份甲醛和/或多聚甲醛。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光刻膠用改性酚醛樹脂，其特征在于，所述二甲酚選自2,4-二甲酚，2,6-二甲酚，2,5-二甲酚，3,5-二甲酚，3,4-二甲酚中的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠用改性酚醛樹脂，其特征在于，步驟(S1)中，堿包括氫氧化鈉，氫氧化鉀；酸包括鹽酸，硫酸，草酸，乙酸或苯甲酸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠用改性酚醛樹脂，其特征在于，步驟(S2)中，所述酸性催化劑為草酸，三氯乙酸，苯磺酸，丁二酸，酸性離子交換樹脂中的至少一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠用改性酚醛樹脂，其特征在于，步驟(S3)中，所述緩慢加入是將4,4’-二羥基二苯醚和剩余酸性催化劑溶于溶劑中，在0.5-1h內(nèi)加入。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠用改性酚醛樹脂，其特征在于，步驟(S4)中，所述水洗是除去雜質(zhì)，未反應(yīng)的酸和酚；真空干燥是在0.01-0.05MPa，60-80℃下干燥4-8h。
8.一種光刻膠組合物，包括權(quán)利要求1-7任一項所述的改性酚醛樹脂，光敏劑和溶劑。
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